通过本发明可克服上述的诸多缺点并实现许多的优点,本发明涉及一系统 和方法,其用来从一结晶的或多结晶的材料(例如,硅)制造手术刀片,它借 助于各种手段,以任何要求的斜角或刀片结构,提供在结晶或多结晶晶片中的 加工技术。加工的结晶或多结晶晶片然后浸没在一
各向同性蚀刻溶液中,溶液 均匀地去除晶片材料的一层又一层的分子,以便形成均匀半径的切割刀刃,和 用于软组织手术应用中的足够的质量。本发明的系统和方法提供一非常便宜的 手段来制造这样高质量的手术刀片。
因此,本发明的一个目的是提供一制造手术刀片的方法,其包括如下诸步 骤:将一硅或其它结晶或多结晶的晶片安装在一安装组件上,在结晶或多结晶 晶片的第一面上加工出一个或多个槽,蚀刻结晶或多结晶晶片的第一面以形成 一个或多个手术刀片,分成单个的手术刀片,并组装多个的手术刀片。
本发明的还有一目的是提供一制造手术刀片的方法,其包括如下诸步骤: 将一结晶或多结晶的晶片安装在一安装组件上,在结晶或多结晶晶片的第一面 上加工出一个或多个槽,用一涂层涂敷结晶或多结晶晶片的第一面,从安装组 件上拆卸结晶或多结晶晶片,重新将结晶或多结晶晶片的第一面安装在安装组 件上,加工结晶或多结晶晶片的第二面,蚀刻结晶或多结晶晶片的第二面以形 成一个或多个手术刀片,分成单个的手术刀片,并组装多个的手术刀片。
本发明的还有一目的是提供一制造手术刀片的方法,其包括如下诸步骤: 将一结晶或多结晶的晶片安装在一安装组件上,在结晶或多结晶晶片的第一面 上加工出一个或多个槽,从安装组件上拆卸结晶或多结晶晶片,去除安装组件 上的结晶或多结晶晶片的第一面,加工结晶或多结晶晶片的第二面,蚀刻结晶 或多结晶晶片的第二面以形成一个或多个手术刀片,转化结晶或多结晶材料的 一层以形成一硬化的表面,分成单个的手术刀片,并组装多个的手术刀片。
附图的简要说明
如果结合附图阅读,则通过参照以下对优选
实施例的详细的描述,将可最 好地理解本发明的新颖的特征和优点,在诸附图中:
图1示出根据本发明的第一实施例从硅制造一双斜面的手术刀片的方法的
流程图;
图2示出根据本发明的第二实施例从硅制造一单斜面的手术刀片的方法的 流程图;
图3示出根据本发明的第三实施例从硅制造一单斜面的手术刀片的方法的 流程图;
图4是示出一安装在安装组件上的硅晶片的俯视图;
图5是示出一安装在带有带的安装组件上的硅晶片的侧视图;
图6示出根据本发明的一实施例使用一激光
水注射法,其用来预切割一硅 晶片,以帮助在硅晶片上加工诸槽;
图7A-7D示出根据本发明的一实施例用来加工硅晶片内诸槽的切割锯刀片 结构;
图8示出根据本发明的一实施例的一切割锯刀片通过安装在支承背衬上的 一硅晶片的切割操作;
图8A-8C示出当用按照本发明的实施例的切割锯刀片加工在硅晶片里的 槽时狭缝的用途;
图9示出根据本发明的一实施例的加工一呈带安装的硅晶片内的槽的切割 锯刀片的截面图;
图10A和10B分别示出根据本发明的一实施例制造的带有单斜面切割刃的 硅手术刀片,以及带有双斜面切割刃的硅手术刀片;
图11示出根据本发明的一实施例的用来加工硅晶片内的槽的一激光系统 的方
框图;
图12示出根据本发明的一实施例的用来加工硅晶片内的槽的一
超声波加 工系统的方框图;
图13示出根据本发明的一实施例的用来在硅晶片内形成槽的一
热锻系统 的结构图;
图14示出根据本发明的一实施例的一硅晶片,其具有一单一加工的槽和涂 敷在加工面上的涂层;
图15示出根据本发明的一实施例的加工一呈带安装的硅晶片内的第二槽 的切割锯刀片的截面图;
图16示出根据本发明的一实施例已在其两面上加工凹槽的硅晶片的截面 图;
图17A和17B示出根据本发明的一实施例在两面上已加工槽的硅晶片上实 施的各向同性的蚀刻过程;
图18A和18B示出根据本发明的一实施例在两面上已加工槽的硅晶片上实 施的各向同性的蚀刻过程,以及在一面上的涂层;
图19示出示出根据本发明的一实施例制造的在一面上带有涂层的双斜面 硅手术刀片的合成的切割刃;
图20A-20G示出根据本发明的方法制造的手术刀片的各种实施例;
图21A和21B分别示出根据本发明的一实施例制造的硅手术刀片的刀刃的 侧视图,以及一5000X放大的不锈钢手术刀片;
图22A和22B分别示出根据本发明的一实施例制造的硅手术刀片的刀刃的 俯视图,以及一10000X放大的不锈钢手术刀片;
图23A和23B示出根据本发明的另一实施例的在一面上带有加工的槽的硅 晶片上进行的各向同性的蚀刻过程,以及在相对面上的一涂层;
图24示出一
手柄的后槽组件和根据本发明的一实施例制造的手术刀片;以 及
图25A和25B示出由一结晶材料制成的刀片刀刃的剖面立体图,以及根据本发 明的一实施例的包括一层转变过程的结晶材料制成的刀片的刀刃的剖面立体图。
现将参照诸附图,来描述优选实施例的各种特征,其中,相同的零件用相 同的标号表示。以下对目前构思为实践本发明的最佳模式的描述,不应认为有 限制的意义,但提供其目的仅是为了描述本发明的一般原理。
本发明的系统和方法提供制造用于软组织切入的手术刀片。尽管优选的实 施例显示为一手术刀片,但根据下面详细讨论的方法也可制造许多种
切割器 械。因此,本发明的技术领域内的技术人员应该认识到,尽管在全部的讨论中 参照的是“手术刀片”,但也可制造许多种其它类型的切割器械,例如,包括 医用剃刀、柳叶刀、皮下针、
采样导管,以及其它医用锐器。
刀片制造用的优选的基材是带有优选的结晶定向的结晶硅。然而,硅的其 它的定向也适用,以及其它可各向同性地蚀刻的材料。例如,也可使用带有定 向<110>和<111>的硅晶片,以及以不同
电阻率和含氧量水平掺杂的硅晶片。还 有,可使用其它材料制成的晶片,例如,氮化硅和砷化镓。对于基材来说,晶 片的形式是较佳的格式。除了结晶材料之外,还可使用多结晶材料来制造手术 刀片。这些多结晶材料的实例包括
多晶硅。应该理解的是,本文中使用的术语 “结晶”将用来指结晶材料和多结晶材料。
因此,本发明的技术领域内的技术人员应该认识到,尽管在全部的讨论中 参照的是“硅晶片”,但根据本发明的各种实施例也可使用与各种定向组合的 上述材料中的任何的材料,以及其它可变得有用的合适的材料和定向。
图1示出根据本发明的第一实施例从硅制造一双斜面的手术刀片的方法的 流程图。图1、2和3的方法大致地描述了可用来制造根据本发明的硅手术刀 片的工艺过程。然而,图1、2和3所示的方法的诸步骤的次序可以变化,以 形成不同标准的硅手术刀片,或满足不同的制造环境。这样,图1、2和3的 方法意味着是根据本发明的方法的一般的实施例的代表,这种代表性在于,存 在有许多不同的变换,它们包括相同的诸多步骤,其可导致根据本发明的精神 和范围制造的硅手术刀片。
图1的方法用来根据本发明的一实施例,较佳地采用诸如硅的结晶材料来 制造一双斜面的手术刀片,该方法开始于步骤1002。在步骤1002,硅晶片安 装在安装组件204上。在图4中,硅晶片202显示为安装在一晶片
框架/UV带 组件204(安装组件)上。安装组件204是
半导体工业中处理硅晶片材料的一 通用的方法。本技术领域内的技术人员可认识到,在晶片安装组件204上安装 硅(结晶)晶片202,对于根据本发明的优选实施例制造手术刀片来说不是必 要的。
图5示出安装在相同的安装组件204上的相同的硅晶片202,但显示在一侧 视图中(左或右;它是对称的,但它不需要这样的情形)。在图5中,硅晶片 202安装在带308上,然后带308安装在安装组件204上。硅晶片202具有一 第一面304和一第二面306。
再次参照图1,步骤1002之后紧跟决定步骤1004。决定步骤1004确定是 否在硅晶片202上作一选择的预切割,如果是的话,在步骤1006执行。该预 切割可通过一激光水注射402来实施(如图6所示)。在图6中,激光水注射 402显示为引向硅晶片202上的
激光束404,硅晶片安装在安装组件204上。 如图6中所示,由于激光束404与硅晶片202冲击的结果,各种预切割孔(或 通孔基准)406可形成在硅晶片202内。
通过作用在硅晶片202上的激光束404,硅晶片202融化。融化硅晶片202 的激光束404的能力,涉及到激光的
波长λ。在使用一硅晶片的优选的实施例 中,导出最佳结果的波长是1064nm,通常由一YaG
激光器提供,但其它类型 的激光器也可使用。如果使用一不同的结晶或多结晶材料,则其它的波长和激 光类型将更加合适。
合成的通孔基准406(以此方式可切割多个孔)可用作对
机械加工槽的导 向(下面参照步骤1008详细讨论),特别是,如果使用一切割锯刀片来加工 槽的话。对于相同的目的,通孔基准406也可用任何的激光束切割(例如,一 受激准分子激光器或激光水注射4002)。预切割通孔基准通常切割成一加号 “+”或一圆的形状。然而,选择通孔基准的形状涉及到具体的制造工具和环 境,因此,不需要就限制在这两种上述的形状。
除了使用激光束来预切割通孔基准之外,也可使用其它的机械加工方法。 例如,它们包括但不限于,钻孔工具、机械磨削工具和超声波加工工具100。 尽管使用这些装置对于本发明的优选实施例是新颖的,但装置和其一般的用途 是本技术领域内的技术人员众所周知的。
为了使硅晶片202保持其完整性,并在蚀刻过程中不落下而分开,可在加 工槽之前对硅晶片202实施预切割。可使用一激光束(例如,一激光水注射402 或受激准分子激光器)来对切割刀片502在椭圆形通孔槽内卷形(参照图7A-7C 详细地讨论),以便在硅晶片202的周长内开始加工槽。用来形成通孔基准的 机械加工设备和方法(以上讨论的)也可用来形成通孔槽。
再次参照图1,下一步骤是步骤1008,它可跟在步骤1006(如果通孔基准 406切割在硅晶片202内)或步骤1002和1004后面,它是硅晶片安装步骤(“步 骤”1004不是一实体的制造步骤;包括这些决定步骤是为了图示总的
制造过程 和其变异)。在步骤1008,槽加工在硅晶片202的第一面304。存在有若干种 方法可用来加工槽,视制造条件和完成的硅手术刀片产品所要求的设计而定。
制造的方法可采用一切割锯刀片、激光系统、一超声波加工工具或一热锻 工艺过程。也可采用其它的制造方法。下面将依次对其讨论。由这些方法中的 任何一种加工而成的槽提供手术刀片的角度(斜面角)。当槽加工机在硅晶片 202上操作时,硅材料被去除,形成切割锯刀片的形状、由受激准分子激光器 形成的型式、或由超声波加工工具形成的型式,呈手术刀片预成形的要求的形 状。在切割锯刀片的情形中,硅手术刀片将仅具有直的刀刃;在后两个方法中, 刀片基本上可具有任何要求的形状。在热锻工艺过程的情形中,硅晶片被加热 使其具有延展性,然后,加压在两个模具之间,各个模具具有“模制”到加热 的延展的硅晶片内的理想槽的三维形式。为了该讨论的目的,“加工”槽包括 在一硅晶片内制造槽的所有的方法,其中包括那些特别提到的方法,不管其是 由切割锯刀片、受激准分子激光器形、超声波加工机,还是由热锻过程和尚未 提及的相当的方法。现将详细地讨论这些加工槽的方法。
图7A-7D示出根据本发明的一实施例用来在硅晶片内加工槽的切割锯刀片 的结构。在图7A中,第一切割锯刀片502呈现角度Φ,它基本上是全部制造 过程已经完成之后,手术刀片生成的角度。图7B示出带有两个倾斜切割表面 的第二切割锯刀片504,各表面呈现一切割角Φ。图7C示出第三切割锯刀片 506,其也具有切割角Φ,但与第一切割锯刀片502的切割角相比,其具有一 略微不同的结构。图7D示出类似于图7B的带有两个倾斜切割表面的第四切 割锯刀片508,各表面呈现一切割角Φ。
尽管示于图7A-7D中的各个切割锯刀片502、504、506和508具有相同的 切割角Φ,但本技术领域内的技术人员应该认识到,对于硅基手术刀片的不同 用途切割角可以不尽相同。此外,如下文中将讨论的,一单一的硅手术刀片可 具有夹不同角度的不同的切割刀刃。可使用第二切割锯刀片504来对一硅基手 术刀片的特定的设计提高制造容量,或生产具有两个或三个切割刀刃的硅手术 刀片。下面将参照图20A-20D详细地讨论刀片设计的各种实例。在本发明的一 优选实施例中,切割锯刀片将是一金刚石粗砂锯刀片。
一特殊的切割锯刀片用来在硅晶片202的第一面304内加工槽。特别地选 择切割锯刀片的组成来提供最佳生成的表面光洁度,同时保持可接受的磨损寿 命。切割锯刀片的刀刃形成的形状,将在硅晶片202内成形合成的槽。该形状 将与生成的刀片斜面结构相关。例如,对于单一斜面刀片,手术刀片通常夹的 斜面角的范围从15°至45°,对于双斜面刀片,半夹角的范围从15°至45°。 结合各种条件选择一切割锯刀片,可提供对倾斜角的精确的控制。
图8示出根据本发明的一实施例的一切割锯刀片通过安装在支承背衬上的 一硅晶片的操作。图8示出在硅晶片202的第一面304内加工槽的切割锯刀片 机的操作。在此实例中,可使用图7A-7D的任何的切割锯刀片(502、504、506 或508)来形成硅基手术刀片的刀刃。还应该理解到,7A-7D的刀片结构不是 可形成切割锯刀片的仅有可能的结构。图9示出根据本发明的一实施例在呈带 安装的硅晶片内加工槽的切割锯刀片的截面图。图9示出实际穿过硅晶片202 的如图8所示的切割锯刀片组件的闭合的截面图。从图中可见,切割锯刀片502 不是一直地贯穿通过硅晶片202,但对于单一斜面切割,贯穿约为硅晶片202 厚度的50-90%。这适用于用来加工(或通
过热锻,模制)一单一斜面槽的任 何的方法。对于一用任何切割锯刀片切割,或任何的加工方法实施的双斜面切 割,在硅晶片202的各侧上将加工掉(或模制)约硅晶片202厚度的25-49%。 图10A和10B分别地示出根据本发明的一实施例制作的一带有一单一斜面切 割刃的硅手术刀片和一带有一双斜面切割刃的硅手术刀片。
如上所述,槽也可切割到硅晶片202内,尤其是,如果使用一切割锯刀片 来加工槽。槽可以类似于通孔基准的方式切割在硅晶片202内,即,用激光水 注射或受激准分子激光器,但起作一非常不同的目的。召回由槽加工机使用的 通孔基准,以便准确地将硅晶片202
定位在槽加工机上。当制作双斜面刀片时, 这尤其有效,因为第二加工(在硅晶片202的相对侧上)必须精确地定位,以 确保一合适地制造的双斜面刀片。然而,槽用于不同的目的。槽允许切割锯刀 片远离边缘(如图8所示)开始切割硅晶片202,而不分裂或碎裂硅晶片202。 这是如图8A所示的优选的实施例。参照图8A,显然,如果不使用狭缝,而如 上所示地加工槽,则加工的硅晶片202易于沿着加工的槽碎裂,因为硅晶片在 这些区域内显著地较薄,且小
应力可导致其碎裂。即,图8的加工过的硅晶片 缺乏机械的
刚度。将此与图8C的硅晶片相比。图8C的加工过的硅晶片远较 刚性,并导致制造产量的提高。较之图8,根据图8C加工的硅晶片202碎裂 较少。如图8A和8B所示,狭缝制得宽于切割锯刀片,并有足够的长度允许 切割锯刀片插入到其内,而开始加工到合适的深度。因此,切割锯刀片不打算 切割硅晶片202,而只是向下移动,它导致分裂和碎裂;当它打算切割而沿水 平向移动时,切割锯刀片开始切割。图8C示出一系列的狭缝,以及在硅晶片 202的第一面内加工而成的槽。
图11示出根据本发明的一实施例用来在硅晶片内加工槽的激光系统的方 框图。诸槽也可如图12所示地用超声波方法加工(将在下文中描述)。这两 种方法的优点在于,刀片可以非直线的和复杂的切割刀刃的外形制造,例如, 新月形刀片、匙形刀片,以及scleratome刀片。图11示出一简化的激光机组 件900。激光机组件900由一发射激光束904的激光器902,以及一坐在底座 908上的多轴控制机构906组成。当然,激光机组件900也可包括一计算机, 以及可能的一网络
接口,为清晰起见,它们已被省略。
当用激光机组件900加工槽时,硅晶片202安装在安装组件204上,安装 组件204也适于由多轴控制机构906进行操纵。利用激光机组件900和各种光 束掩模技术,可加工一阵列的刀片外形。光束掩模位于激光器902内,通过精 心的设计,防止激光器902融化不希望融化的硅材料。对于双斜面刀片,使用 预切割的斜面206A、206B,或用于对齐的基准406以相同的方式加工相对侧 面。
在湿法各向同性的蚀刻步骤的准备中(参照图1详细地讨论,步骤1018), 使用激光器902来将槽型式(参照激光器的使用,也称之为“融化外形”)准 确地和精确地加工到硅晶片202的第一面304或第二面306中。使用多轴控制 和利用内部激光光束掩模,来对硅晶片202内的上述融化外形进行光栅处理。 其结果,实现一轮廓的槽,其具有对应于手术刀片产品所要求的浅的斜坡。可 通过该过程实现各种曲线的形状型式。在此加工步骤中,存在有若干种类型可 采用的激光器。例如,可采用受激准分子激光器或激光水注射402。受激准分 子激光器902的波长范围可在157nm和248nm之间。其它实例包括一YaG激 光器和具有355nm波长的激光器。当然,本技术领域内的技术人员可认识到, 可使用在150nm至11000nm范围内的一定波长的激光束来加工槽型式。
图12示出根据本发明的一实施例用来在硅晶片内加工槽的超声波加工系 统的方框图。使用一精密的加工超声波工具104来实施超声波加工,然而用研 磨浆液102加工硅晶片202的第一面304或第二面306。加工每次在一个面上 实施。对于双斜面的刀片,使用用于对齐的通孔基准406以同样方式加工相对 侧。
在湿法各向同性的蚀刻步骤的准备中,使用超声波加工来将槽型式准确地 和精确地加工到硅晶片202的表面中。使用超声波方法振动一
心轴/工具104 来实施超声波加工。工具104与硅晶片202不
接触,但紧靠硅晶片202,并通 过由工具104发射的超声波的操作来激励研磨浆液102。由工具104发射的超 声波强迫研磨浆液102磨蚀硅晶片202到加工在工具104上的对应的型式。
工具104通过研磨、磨削或静电排除加工(EDM)进行加工而形成槽型式。 在加工的硅晶片202上的生成的型式对应于在工具104上加工的型式。与受激 准分子激光器相比,使用超声波加工方法的优点在于,硅晶片202的全部的面 可具有在同一时间内用超声波方法加工的许多的刀片槽型式。因此,该过程快 和成本相对低。还有,与受激准分子激光器加工过程相同,通过该过程可实现 各种曲线的外形的型式。
图13示出根据本发明的一实施例用来在硅晶片内形成槽的一热锻系统的 视图。槽结构也可通过热锻形成到硅晶片内。该过程采用加热硅晶片达到一可 延展的状态。其后,硅晶片加压在两个模具之间,模具包括生成的槽所要形成 型式的负的型式。
在一加热腔室内预热硅晶片202,或可通过加热硅晶片202坐在其上的
底板 件1054的操作进行完全的加热。在
温度升高的情况下经过足够的时间,硅晶 片202将变得可延展。然后,用足够的压力强制加热的模具1052向下作用在 硅晶片202上,将加热模具1052的负的图像压印在硅晶片202的第一面304 内。模具1052的设计可以是具有各种斜面角、深度、长度和外形的许多槽, 以便形成真实的任何可想象的刀片设计。图13中所示的视图已大大地简化, 并进行夸张而清晰地显示出热锻过程的有关的特征。
讨论了加工槽的若干种方法之后,现将注意力再引导到图1。在诸槽加工 到硅晶片202的第一面304内的步骤1008后,在决定步骤2001中必须作出决 定,是否对硅晶片202进行涂敷。图14示出根据本发明的一实施例,一带有 一单一加工槽的硅晶片用一涂层涂敷到加工过的面上。如果涂敷一涂层,则在 步骤2002中根据本发明的技术领域内的技术人员熟知的许多技术中的一种, 可将涂层1102涂敷到硅晶片202的第一面304上。涂敷涂层1102便于蚀刻的 控制和对合成的刀片刀刃提供附加的强度。硅晶片202放置在一沉淀腔室内, 其中,硅晶片202的全部第一面304(包括平的区域和槽区域)用一氮化硅 (Si3N4)的薄层涂敷。生成的涂层1102的厚度可在10nm至2微米的范围内。 涂层1102可由比硅(结晶)晶片202硬的任何材料组成。具体来说,涂层1102 也可由下列物质组成:氮化
钛(TiN)、氮化
铝钛(AlTiN)、
二氧化硅(SiO2)、
碳化硅(SiC)、碳化钛(TiC)、氮化
硼(BN),或金刚石样晶体(DLC)。 下面将参照图18A和18B,再详细地讨论用于双斜面手术刀片的涂层。
在选择的步骤2002中已涂敷涂层1102之后,下一步骤是步骤2003,拆卸和重 安装(如果不涂敷涂层,则步骤2003也可跟在步骤1008后面)。在步骤2003中, 利用相同标准的安装机,硅晶片202从带308中拆卸。通过将紫外线(UV)光辐照 在UV敏感带308上以减小其粘着性,机器即可拆卸硅晶片202。也可使用低粘着 或热释放的带来替代UV敏感带308。在曝光足够的UV光线之后,硅晶片202可容 易地从带安装装置提升。然后,在准备第二面306加工槽的过程中,重新安装硅晶 片202,使第二面306面向上。
然后,在硅晶片202上执行步骤2004。在步骤2004中,如在步骤1006中 的做法,槽加工到硅晶片202的第二面306内,以便形成双斜面硅基手术刀片。 图15示出根据本发明的一实施例,一加工呈带安装的硅晶片202内的第二槽 的切割锯刀片502的截面图。当然,也可使用受激准分子激光器902、超声波 加工工具100或热锻过程来加工硅晶片202内的第二槽。在图15中,切割锯 刀片502显示为在硅晶片202的第二面306上加工一第二槽。在步骤2002中, 涂层1102显示为已有选择地涂敷。图10A和10B分别地显示合成的单和双斜 面切割。在图10A中,一单一切割已作在硅晶片202上,在单一刀片组件内生 成切割角Φ。在图10B中,一第二槽已加工到硅晶片202内(通过上述的槽加 工过程中的任何一种),生成的角度与第一槽的角度相同。该结果是一双斜面 的硅基手术刀片,各切割刃显示为一Φ切割角,导出一双斜面角2。图16示 出根据本发明的一实施例已在两面上加工出槽的硅晶片的横截面图像。
在加工槽步骤2002之后,必须在决定步骤2005作出决定,以决定是否在 步骤1018中蚀刻双加工槽的硅晶片202,或在步骤1016中切割双加工槽的硅 晶片202。切割步骤1016可通过一切割锯刀片、激光束(例如,一受激准分子 激光器,或激光水注射402)实施。切割保证在定做夹具内的待蚀刻的合成带 (在步骤1018中),以代替晶片船形器皿(将在下文中详细讨论)。
图17A和17B示出一根据本发明的一实施例在两侧上已加工出槽的硅晶片 上实施的各向同性的蚀刻过程。在蚀刻步骤1018中,加工过的硅晶片202从 带308中拆卸。然后,硅晶片202放置在一晶片船形器皿内并浸没在各向同性 的酸槽1400内。控制蚀刻剂1402的温度、浓度和扰动,以达到蚀刻过程的最 大均匀性。所使用的较佳的各向同性蚀刻剂1402由
氢氟酸、
硝酸和
醋酸(HNA) 组成。也可采用其它的组合和浓度来达到相同的目的。例如,醋酸可换成水。 喷雾蚀刻、各向同性的二氟化氙气体蚀刻和
电解蚀刻代替浸没蚀刻,也可用来 达到相同的结果。可用于气体蚀刻的化合物的其它的实例是六氟化硫,或其它 类似的氟化的气体。
蚀刻过程在硅晶片202的两面和其对应的槽均匀地进行蚀刻,直到相对槽 外形相交为止。一旦这种情形发生,硅晶片202将立即从蚀刻剂1402移出和 进行冲洗。由此过程可望达到的切割刃半径在5nm至500nm的范围内。
各向同性化学蚀刻是一以均匀方式用来去除硅的过程。在根据本发明的一 实施例的制造过程中,以上述的加工生产的晶片表面外形均匀地向下,与晶片 相对侧上的外形相交(如果要求单一斜面刀片,则非加工的相对的硅晶片表面 将相交)。采用各向同性蚀刻是为了达到要求的刀片锋利度同时保持刀片的角 度。单纯通过加工不能达到相交晶片外形的意图,因为要求的刀刃的几何形太 精细而不能抵抗加工的机械力和热
变形力。各向同性蚀刻剂(蚀刻剂)1402 的各个酸的成分在各向同性酸槽1400内具有特殊的功能。首先,硝酸氧化暴 露的硅,其次,氢氟酸除去氧化的硅。醋酸在此过程中起作一稀释剂。为达到 重复的结果,必须精确地控制成分、温度和扰动。
在图17A中,没有涂层1102的硅晶片202已放置在各向同性的蚀刻槽1400 内。应注意到,各手术刀片、第一手术刀片1404、第二手术刀片1406和第三 手术刀片1408彼此连接。由于蚀刻剂1402在硅上作用,在此时间上一层又一 层的分子去除,减薄硅(即,手术刀片)的厚度,直到(第一手术刀片1404 的)两个角度1410和1412相交在它们连接到下一个手术刀片(第二手术刀片 1406)的
位置处。其结果是,形成若干个手术刀片(1404、1406和1408)。 应注意到,因为硅已经溶解在蚀刻剂1402中,所以除了保持较少的硅材料之 外,在整个各向同性蚀刻过程中已保持相同的角度。
图18A和18B示出一根据本发明的另一实施例在两侧上已加工出槽而在一 侧上有涂层的硅晶片上实施的各向同性的蚀刻过程。在图18A和18B中,带 308和涂层1102已经留在硅晶片202上,以使蚀刻过程仅作用在硅晶片202 的第二面306上。在蚀刻过程中,晶片不必安装在带上;即,仅一种制造选择。 还有,各向同性蚀刻材料1402仅作用在暴露的硅晶片202上,去除硅材料(一 层又一层),但保持与步骤2004中加工相同的角度(因为这是第二面306)。 其结果,在图18B中,硅基的手术刀片1504、1506和1508具有与步骤1008 和2004中加工的相同的角度,在第一面304上是因为带308和选择的涂层 1102,在第二面306上,因为各向同性蚀刻剂1402沿着加工过的槽表面均匀 地去除硅分子层。硅晶片202的第一面304根本没有蚀刻,所以,对成品的硅 基手术刀片提供附加的强度。
使用选择的步骤2002将涂层1102涂敷到硅晶片202的第一面304上的另 一好处在于,切割刃(第一加工的槽侧)由涂层1102组成(它较佳地由氮化 硅层组成),该涂层具有比硅底材更强的材料特性。因此,涂敷涂层1102的 过程导致一强度更大和寿命更长的切割刃。涂层1102还对刀片表面提供一耐 磨阻挡层,其对机电往复的刀片装置中接触钢材的刀片是需要的。表1示出没 有涂层1102(硅)和有涂层1102(氮化硅)制造的硅刀片手术刀片的一般表 示强度的规格。
表1 特性 硅 氮化硅
杨氏模量(Gpa) 160 323
屈服强度(Gpa) 7 14
杨氏模量(也称之为
弹性模量)是材料固有刚度的量测。模量越高则材料 刚度越大。屈服强度是材料在
载荷作用下将从弹性变形转变到塑性变形的转变 点。换句话说,在该点上材料不再弯曲,但将永久
翘曲或断裂。在蚀刻(带有 或没有涂层1102)之后,蚀刻的硅晶片202彻底地冲洗,并清洗去除所有残余 的蚀刻剂1402的化学品。
图19示出一根据本发明的一实施例在一侧上有涂层制造的双斜面硅手术 刀片的合成的切割刃。切割刃1602通常具有类似于金刚石手术刀片的5至 500nm的半径范围,但制造成本远低得多。在蚀刻过程步骤1018已经执行之 后,根据步骤1020可安装硅基手术刀片,它与安装步骤1002和2003相同。
在安装步骤1020之后,硅基手术刀片(硅刀片)可在步骤1022中分成单 个,这意味着通过利用切割锯刀片、激光束(例如,激光水注射402或受激准 分子激光器),或其它合适的装置来将硅刀片彼此分离。本技术领域内的技术 人员可以认识到,也可使用具有150nm至11000nm范围内波长的激光器。在 此波长范围内的激光器的实例是一受激准分子激光器。激光水注射(一YaG 激光器)的独特性在于,它可在晶片内卷成曲线的中断的型式。这提供制造商 灵活性,他实际上可制造数量无限制的非切割刀刃的刀片外形。激光水注射使 用一水的射流,其作为一
波导允许激光象一带锯那样切割。这不能以切割机技 术领域的目前状态来实现,如上所述,
现有技术只能在连续的直线型式中切割。
在步骤1024中,根据顾客的特别要求,分开的手术硅刀片拾取和放置在刀 片操作组件上。然而,在实际“拾取和放置”(P&P)之前,蚀刻的硅晶片202 (安装在带和框架上,或带/晶片框架上)在晶片安装机内用紫外线(UV)光 线辐照,以便减小带308的粘着力。仍在“减小粘着力”带和框架上,或带/ 晶片框架上的硅晶片202然后加载到一市购的模具附连组装系统内。回忆以上 所述,上文中讨论了根据各种制造环境某些步骤的次序可以互换。一个这样的 实例是分成单个和用UV光线辐照的步骤:如果需要的话,这些步骤可互换。
模具附连组装系统将从“减小粘着力”带和晶片,或带/晶片框架上去除个 别的蚀刻的硅手术刀片,并在要求的公差内将硅手术刀片附连到其对应的保持 器上。将使用一环氧或粘结剂来安装两个部件。也可采用其它的组装方法来将 硅手术刀片附连到其对应的基底上,包括热立桩、超声波立桩、超声波
焊接、
激光焊接或容易溶解的粘结。最后在步骤1026中,带有手柄的完全组装的硅 手术刀片进行
包装,以确保消毒性和安全性,并运输以备根据硅手术刀片的设 计而使用。
可用来将手术刀片安装到其手柄上的其它的组装方法涉及到另外使用诸狭 缝。如上所述,诸狭缝可用激光水注射或受激准分子激光器形成,并用来提供 一开口,以便在加工槽时便于切割锯刀片接合硅晶片202。另外使用诸狭缝可 在刀片内提供一插座,以用于手柄内的一个或多个短柱。图24示出这样一结 构。在图24中,成品的手术刀片2402具有两个形成在其保持器的接口区域2406 内的狭缝2404a、2404b。它们与刀片保持器2410的短柱2408a、2408b接口。 在制造过程中,诸狭缝可在任何点切割到硅晶片202内,但较佳地可在手术刀 片分成单个之前实施。在接口之前,可将粘结剂涂敷到合适的区域,以确保一 紧密的保持。然后,盖2412可如图所示地胶粘,以对最终产品提供一光洁的 外观。实施柱-缝组装的目的在于,在切割程序过程中,它对刀片2402可能遇 到的任何拉力提供额外的阻力。
描述了对于双斜面硅基手术刀片的制造过程之后,现注意力转向到图2, 它示出根据本发明的第二实施例从硅制造一单斜面的手术刀片的方法的流程 图。图1的步骤1002、1004、1006、1008与图2中所示的方法相同。因此, 将不再重复。然而,在以下的步骤,步骤1010中,制造单斜面手术刀片的方 法不同于制造双斜面刀片的方法,因此,下面将作详细的讨论。
在步骤1008之后,决定步骤1010确定加工过的硅晶片202是否从硅晶片 安装组件204上拆卸。如果单槽硅晶片202将被拆卸(在步骤1012),则另一 选择是在步骤1016中切割单槽晶片。在选择的拆卸步骤1012中,利用相同的 标准安装机,从带308中拆卸硅晶片202。
如果在步骤1012中拆卸硅晶片202,则在步骤1016中可选择地切割硅晶片 202(即,硅晶片202被切开成为带)。切割步骤1016可用切割刀、受激准分 子激光器902,或激光水注射402来实施。切割提供合成带来在定制的夹具内 进行蚀刻(在步骤1018中),代替在晶片船形器皿内(下文中将详细地讨论)。 在切割步骤1016、拆卸步骤1012,或加工槽步骤1008之后,制造单一斜面硅 基手术刀片的方法中的下一个步骤是步骤1018。步骤1018是蚀刻步骤,它已 在上文中详细地讨论过。其后,步骤1020、1022、1024和1026紧跟,在关于 制造双斜面硅基手术刀片的描述中,所有这些步骤在上文中已经作了详细的介 绍,因此,不需要再作讨论。
图3示出一根据本发明的第三实施例从硅制造一单一斜面手术刀片的另一 变化方法的流程图。图3所示方法通过步骤1002、1004、1006、1008与图2 所示方法相同。然而,在图3中的步骤1008之后,有涂敷步骤2002。涂敷步 骤2002已在上文中参照图1描述过,因此,不需再作详细讨论。涂敷步骤的 结果与上文中描述过的相同:硅晶片202的加工面上具有一层1102。
在涂敷步骤2002之后,硅晶片202在步骤2003中拆卸和重新安装。该步 骤也与先前参照图1(步骤2003)讨论过的相同。其结果在于,硅晶片202的 涂敷面在安装组件204上面向下。此后,步骤1018、1020、1022、1024和1026 发生,所有这些步骤已在上文中详细描述过。单纯的结果是单一斜面手术刀片, 其第一面304(加工过的面)设置有一涂层1102的层,以提高手术刀片的强度 和寿命。图23A和23B示出和更详细地描述单一斜面涂敷的手术刀片。
图23A和23B示出根据本发明的另一实施例,在一侧上带有加工过的槽在 一相对侧上有一涂层的硅晶片上进行各向同性的蚀刻过程。如上所述,硅晶片 202具有涂敷到第一面304的涂层1102,然后,它安装在带308上,因此,如 图23A所示,与其紧密地接触。然后,硅晶片202放置在含有蚀刻剂1402的 槽1400内(如在上文中详细地描述的)。蚀刻剂1402开始蚀刻硅晶片202的 第二面306(“顶面”),一层又一层地去除硅分子。在一段时间之后,通过 蚀刻剂1402硅晶片202已降低其粘着力,直到第二面306接触第一面304和 涂层1102。结果是氮化硅涂敷到单一斜面的硅基手术刀片上。具有氮化硅(或 涂敷的)的刀片刀刃的所有上述优点同样地适用于如图18A、18B和19所示 和所讨论的这种类型的刀片。
图20A-20G示出根据本发明的方法制造的硅基手术刀片各种实例。可利用该过 程来制造各种设计的刀片。可生产带有单一斜面、对称和非对称的双斜面,以及曲 线切割刀刃的刀片。对于单一斜面,加工仅在晶片的一面上实施。可制造各种刀片 的外形,例如,单一刀刃的凿子(图20A),三刀刃凿子(图20B),狭缝两尖刀 刃(图20C),狭缝四尖刀刃(图20D),尖刺单刀刃(图20E),
角膜尖单刀刃 (图20F),以及新月形曲线尖刀刃(图20G)。在此过程中可变化外形角、宽度、 长度、厚度,以及斜面角。该过程可与传统的影印石板术结合来产生更多的变体和 特征。
图21A和21B分别示出根据本发明的一实施例制造的硅手术刀片,以及放大 5000X的不锈钢手术刀片的侧视图。注意图21A和21B之间的差别。图21A更光滑 和更均匀。图22A和22B分别示出根据本发明的一实施例制造的硅手术刀片,以及 放大10000X的不锈钢手术刀片的刀刃的俯视图。再者,图22A和22B之间的差别 在于,根据本发明的实施例的方法的结果,前者远比图22B的不锈钢刀片光滑和均 匀。
图25A和25B示出根据本发明的一实施例由一结晶材料制成的刀片刀刃,以及 包括一层转化过程的结晶材料制成的刀片刀刃的外形立体图。在本发明的另一实施 例中,在蚀刻硅晶片之后,可以用化学方法将基底材料的表面转化为一新的材料 2504。该步骤也可称之为一“热氧化,氮转化”,或“硅表面的碳化硅转化”步骤。 根据何种元素允许与基底/刀片材料互相作用,可形成其它的化合物。将刀片表面 转化为基底材料的化合物的好处在于,可选择新的材料/表面,以形成更硬的切割 刀刃。但与涂层不同,刀片的切割刀刃保持后蚀刻步骤的几何形和锋利性。注意图 25A和25B,因为转化的过程,硅刀片的深度没有变化;“D1”(单纯硅的刀片的 深度)等于“D2”(带有转化层2504的硅刀片的深度)。
参照图1,在步骤1018之后,作出决定转换表面(决定步骤1019)。如果要添 加转换层(从决定步骤1019的“是”路径),则在步骤1021中添加一转换层。然 后,方法前进到步骤1020。如果不要添加转换层(从决定步骤1019的“否”路径), 则方法前进到步骤1020。转换过程要求扩散或高温炉。基底在
真空下或一惰性环 境中加热到超过500℃的温度。选择的气体计量后进入到高温炉内,以控制浓度, 由于高温它们扩散到硅内。当它们扩散到硅内时,它们与硅反应以形成一新的化合 物。由于新的材料通过扩散和与基底的化学反应而形成,而不是通过涂敷一涂层, 因此,可保持硅刀片的原始的几何形(锋利性)。转换过程的附加的好处在于,转 换层的光学折射率不同于基底的光学折射率,于是,刀片显现有
颜色。该颜色取决 于转换材料的成分和其厚度。
在表面上已经转换的单一晶体基底材料较之未转换的刀片,还显现上好的耐断 裂和磨损的特性。通过将表面变化为一较硬的材料,可减小基底形成开裂起始场所 和沿结晶平面的凹槽的趋势。
可以一定的互换性来实施的制造步骤的另一实例是糙面精整步骤。尤其是,当 在手术刀片的优选的实施例中制造时,刀片的硅表面通常显现高度的反射性。如果 刀片在带有照明源的
显微镜下使用,则这会分散外科医生的注意力。因此,刀片的 表面可设置有一亚光精整,它漫射入射光(例如,从在外科手术过程中使用的高强 度灯中发出的),使其显得暗而缓和,而不是闪耀刺眼。该亚光精整通过用合适的 激光器辐照刀片表面而形成,根据特殊的型式和
密度来融和刀片表面内的区域。该 融和的区域形成为圆的形状,因为这通常是发射的激光束的形状,但这不一定是这 样的情形。圆形融和区域的尺寸,其直径在25-50微米的范围内,还取决于制造 商和采用激光的类型。圆形融和区域的深度在10-25微米的范围内。
圆形融和区域的“密度”是指被圆形融和区域
覆盖的表面面积的总的百分比。 一约为5%的“融和区域密度”显著地缓和刀片从其通常光滑镜面样的外观反光。 因此,圆形融和区域应用于刀片的全部的表面区域上,但以随机的方式布置。在实 践中,可产生一绘画似的锉痕,其随机地定位凹陷,但可达到所要求的特定的融和 区域密度和型式随机性的效果。该绘画似的锉痕可用手工方法形成,或通过一计算 机内的程序自动地形成。还可实施的一附加的特征是,在刀片本身刻上系列号、制 造商标识,或外科医生或医院的名字。
通常可使用一
门架式激光器在刀片上形成亚光精整,或使用一
电流头激光机。 前者速度慢但极其精确,而后者速度快但不象门架式的精确。由于总体的精确度不 是至关重要的,且制造速度直接地影响成本,所以,电流头激光机是较佳的工具。 它每秒能移动几千毫米,对于一典型的手术刀片,提供一约为五秒总的融和区域的 蚀刻时间。
本发明已经参照其某些示范的实施例进行了描述。然而,对于本技术领域内的 技术人员来说,显然,还可以上述示范实施例以外的特殊的形式来实施本发明。这 可在不脱离本发明的精神和范围的前提下进行。示范的实施例仅是说明性的,无论 如何不能认为有任何的限制。本发明的范围由附后的
权利要求书和其等价物来定 义,而不是前述的描述来定义。