制作太阳能电池的方法及由此制作的太阳能电池
专利汇可以提供制作太阳能电池的方法及由此制作的太阳能电池专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且提供一种制作 太阳能 电池 的方法及由此制作的 太阳能电池 ，获得高的光电转换效率。制作具有栅格 电极 (46)和用于从栅格电极(46)向外输出电 力 的主电极(47)的太阳能电池的方法包括步骤：通过 烧结 金属浆料材料，形成小宽度栅格电极(46)于具有pn结的衬底的受光面上；和形成棒状主电极(47)电连接到栅格电极(46)。，下面是制作太阳能电池的方法及由此制作的太阳能电池专利的具体信息内容。
1、制作具有栅格电极(46)和用于从所述栅格电极(46)向外输出电 力的主电极(47)的太阳能电池的方法，包括步骤：
通过烧结金属浆料材料，在具有pn结的衬底的受光面上形成小宽度栅 格电极(46)；和
形成与所述栅格电极(46)电连接的棒状主电极(47)。
2、按照权利要求1的制作太阳能电池的方法，其中
所述栅格电极(46)由下列任何一种方法形成：
丝印方法，其中将包括小宽度开口的板状体或通过电沉积或粘接形成的 具有包括小宽度开口的厚膜的纱用作丝网，
喷墨方法，和
分散方法。
3、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
在所述丝网中沿纵向方向相邻的开口之间的距离小于所述棒状主电极 (47)的宽度。
4、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
沿纵向方向相邻的所述栅格电极(46)通过形成所述棒状主电极(47) 而相互连接。
5、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中，
在形成所述栅格电极(46)的所述步骤中，用于定位所述栅格电极(46) 和所述主电极(47)的定位标记形成于衬底上。
6、按照权利要求5的制作太阳能电池的方法，其中
所述定位标记设置于形成所述主电极(47)的位置处。
7、按照权利要求5的制作太阳能电池的方法，其中
所述栅格电极(46)和所述主电极(47)按照在形成所述栅格电极(46) 的所述步骤中形成于衬底上的所述定位标记和设置在用于形成所述主电极 (47)的丝网上的所述定位标记来定位，且在形成所述栅格电极(46)的所 述步骤中形成于衬底上的所述定位标记由CCD相机识别。
8、按照权利要求7的制作太阳能电池的方法，其中
所述定位标记具有圆或椭圆的形状。
9、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
在所述丝印方法中，印刷刮板的驱动方向与丝网中开口的纵向方向一 致。
10、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
在形成所述主电极(47)的所述步骤中，纱用作丝网。
11、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
在所述丝印方法中，使用了具有用于刮掉浆料的尖端部和支撑所述尖端 部的本体部的印刷刮板，
所述尖端部由柔软且薄的板状体组成，且
所述本体部由刚性且厚的板状体构成。
12、按照权利要求2的制作太阳能电池的方法，其中
所述丝网是具有小宽度开口的板状体，且具有至少一个连结部在所述开 口中，且所述连结部在衬底侧具有凹槽。
13、按照权利要求1的制作太阳能电池的方法，其中
在形成所述栅格电极(46)的所述步骤中，使用了由与n+层实现优异欧 姆接触的金属材料构成的浆料，且在形成所述主电极(47)的所述步骤中， 使用了由获得良好的焊接浸润性和与衬底接触性能良好的金属材料构成的 浆料。
14、按照权利要求1的制作太阳能电池的方法，其中
在形成所述栅格电极(46)的所述步骤中使用的浆料的粘度不同于在形 成所述主电极(47)的所述步骤中使用的浆料的粘度。
15、一种按照下列方法制作的太阳能电池，该方法包括步骤：
通过烧结金属浆料材料，形成小宽度的栅格电极(46)于具有pn结的 衬底的受光面上；以及
形成与所述栅格电极(46)电连接的棒状主电极(47)。
技术领域
本发明涉及一种具有pn结的太阳能电池，且更加特别地，涉及达到高 的光电转换效率的太阳能电池。
背景技术
为提高太阳能电池的光电转换效率，通常提出一种电极结构，其中用于 受光面电极的面积被缩小且串联电阻被抑制(suppressed)。例如，日本专利 特开第62-156881号公开一种太阳能电池，在图5中示出。该太阳能电池由 以下方式制造。包括主电极51和栅格电极52的受光面电极图形通过丝网印 刷形成于位于硅衬底53上的防反射膜54上后，在约700℃下进行热处理。 相应地，用于形成栅格电极的银浆渗透防反射膜54，且栅格电极与主电极连 接。这样的太阳能电池获得与硅衬底53的优异电学接触。
另一方面，在常规太阳能电池中，受光面电极图形与受光面积之比高达 约10％。相应地，对发电起作用的受光面积减少，且主电极51和栅格电极 52处的表面复合速率大，导致太阳能电池较差的电学特性，尤其是低的开路 电压。尽管有可能通过将电极面积与受光面积之比减小约5％以增加对发电 起作用的受光面积，以及减少表面复合速率以增加开路电压，但是串联电阻 不利地增加。于是，太阳能电池的曲线因子(fill factor)变小，且所获得的电 力减少。
发明内容
为达到这个目标，按照本发明，制作具有栅格电极和用于向外输出来自 栅格电极的电力的主电极的太阳能电池的方法包括步骤：通过烧结金属浆料 材料，形成小宽度的栅格电极于具有pn结的衬底的受光面上；和形成棒状 主电极以电连接栅格电极。
优选地，栅格电极由丝印方法、喷墨方法或分散方法形成，丝印方法中， 包括小宽度开口的板状体或通过电沉积或粘接形成的、具有包括小宽度开口 的厚膜的纱被用作丝网。在丝印方法中，期望地，丝网中沿其纵向方向相邻 的开口之间的距离小于棒状主电极的宽度，且纵向方向相邻的栅格电极通过 棒状主电极的形成而相互连接。
在形成栅格电极的步骤，优选地，用于定位(registration)栅格电极和主电 极的定位标记形成于衬底上，且定位标记设置于形成主电极的位置处。此外， 合适地，栅格电极和主电极依照在形成栅格电极的步骤中形成于衬底上的定 位标记和提供于用于形成主电极的丝网上的定位标记而定位，且在形成栅格 电极的步骤中形成于衬底上的定位标记被CCD照相机识别(recognized)。这 里，定位标记优选地具有圆或椭圆形状。
在丝印方法中，期望地，印刷刮板在丝网开口的纵向方向被驱动。此外， 在形成主电极步骤中，纱可用作丝网。在丝印方法中使用的刮板具有尖端部 用于刮掉浆料和本体部以支撑尖端部。适应地，尖端部由柔软的、薄板状体 组成，本体部由刚性的、厚板状体组成。另一方面，当具有小宽度开口的板 状体用作丝网时，丝网优选地具有至少一个连结部在开口中，且连结部在衬 底侧有凹槽。
在形成栅格电极步骤中，优选地，由达到与n+层优异欧姆接触的金属材 料组成的涂料被使用，且在形成主电极步骤中，由达到优异焊接浸润性和与 衬底接触性质的金属材料组成的浆料被使用。这里，形成栅格电极步骤中所 用浆料的粘度可能不同于形成主电极步骤中所用浆料的粘度。
按照本发明的太阳能电池按照下列方法被制作，所用方法包括下列步 骤：通过烧结金属浆料材料，形成小宽度栅格电极于具有pn结的衬底的受 光面上；和形成与栅格电极电连接的棒状主电极。
按照本发明，具有小宽度的栅格电极可形成大的厚度。因此，具有对发 电起作用的大受光面积和栅格电极中的小串联电阻的太阳能电池可被制作， 从而，获得提高的光电转换效率。
附图说明
图1A到1I显示按照本发明的制造方法中的步骤；
图2是平面图，显示形成本发明中栅格电极的浆料层的图形；
图3是平面图，显示形成本发明中主电极的浆料层的图形；
图4是平面图，显示按照本发明的太阳能电池中的电极图形；
图5是平面图，显示常规太阳能电池中的电极图形；
图6A是平面图，显示用于形成本发明中栅格电极的丝网；
图6B是关于丝网中开口的放大平面图；
图6C是沿着图6B中VIC-VIC线的截面图；
图6D是沿着图6B中VID-VID线的截面图；
图6E是平面图，显示具有均匀宽度、无断线的栅格电极；
图7A是用于形成本发明中栅格电极的刮板的正视图；
图7B是沿着图7A中VIIB-VIIB线的截面图；
图7C和7D是栅格电极的截面图；
图8是平面图，显示用于形成本发明中主电极的丝网。
具体实施方式
在形成栅格电极的步骤，优选地，包括小宽度开口的板状体、或具有由 电沉积或粘接形成的包括小宽度开口的厚膜的纱布被用作丝网。这样的丝网 是合适的，因为太阳能电池中的微细栅格电极图形可以形成，也即，小宽度 的栅格电极可形成至较大厚度。相应地，由于电极阴影的光损失被显著减少， 且同时，电极面积被制作得更小。因而，电极处的表面复合速率与常规太阳 能电池相比被降低，由此获得较大的开路电压。此外，由于具有较小宽度的 栅格电极可形成至较大厚度，栅格电极中的串联电阻可被降低且曲线因子被 有效提高。太阳能电池中的光电转换效率从而被大幅度地改善。
尽管依赖于用于印刷的浆料的物理性质，为了形成小宽度的栅格图形， 通常，形成栅格电极步骤中所用的丝网具有小宽度的开口，优选地开口不大 于0.15毫米，且更优选地不大于0.12毫米。此外，为避免栅格电极断线， 开口具有优选不小于0.07毫米的宽度，且更优选地不小于0.10毫米。例如， 通过激光和类似方法形成的、具有小宽度开口的不锈钢薄板可用作这样的丝 网。在形成棒状主电极的步骤中，当尺寸精度不是太苛刻时，一般纱的丝网 可被采用作为丝网。然而，当进行高精度印刷时，优选使用通过电沉积或粘 接形成的、具有包含小宽度开口的厚膜的纱作为丝网。
当具有采用激光等方法在不锈钢薄板上形成的小宽度开口的丝网被使 用时，如果开口具有非常大的长度，开口可能在印刷中扩大，这导致栅格较 大的宽度。相应地，在这样的情况下，丝网的开口中优选地具有至少一个连 结部，且连结部具有凹槽在衬底一侧。因为连结部有凹槽在衬底一侧，浆料 被导入凹槽中。因此，印刷的栅格电极没有分开，由此获得小宽度的连续形 状。为了使连结部起到抑制开口变宽的作用和留下空间用于印刷期间容纳浆 料于凹槽中，连结部的凹槽优选具有与丝网厚度的一半近乎可比的深度。
图6B显示一例，其中图6A所示用于形成栅格电极的丝网中形成的开 口66中具有一连结部66a，且连结部66a具有凹槽于衬底一侧。图6B是这 样的开口的放大平面示意图。图6C是沿着图6B中VIC-VIC线的截面图。 在图6C中，开口具有一连结部66a，位于衬底相反侧的开口中(在图6C的 左边)。图6D是沿着图6B中VID-VID线的截面图。在图6D中，凹槽66c 被提供于衬底一侧(图6D的下部)。因为丝网在开口中有连结部66a，印刷 过程中开口展宽和栅格电极的较大宽度可以避免，与开口的较大宽度无关。 此外，浆料通过丝网被印刷，浆料被导入开口中的凹槽66c内。因此，具有 均匀宽度、无断线的栅格电极可以形成，如图6E所示。
采用喷墨方法或分散方法形成栅格电极时，允许浆料的微细、精密和快 速涂布，且在批量生产和较低成本方面是优选的。喷墨方法指一种方法：从 喷嘴微粒化和喷射浆料从而在衬底上涂布浆料。喷墨方法包括：采用压电振 子振动时产生的压力雾化浆料的静电喷墨方法；和泡沫喷射法，其中微细 浆料粒子被喷嘴中提供的加热器瞬间加热并基于蒸发被喷射来涂布在衬底 上，这两种方法在本发明的制作方法中都可用。另一方面，分散方法指通过 用于描画的细管来吐出浆料的方法，其中多个细管被等间隔地排列，且多个 栅格电极可同时形成。依赖于形成栅格电极的方法、浆料性质等，通常，栅 格电极具有优选从0.12毫米到0.15毫米的宽度，且更加优选地，宽度从0.10 毫米到0.12毫米，以减少受光面上被占据的电极面积，以增加转换效率，和 以防止小宽度电极的断线。
图2举例说明了作为栅格电极的浆料层26的图形。在图2中，浆料层 26形成于在硅衬底21上的防反射膜23上。图3举例说明作为主电极的浆料 层37的图形。在图3中，浆料层37形成于在硅衬底31上的防反射膜33上。 在图2和图3的例子中，用作主电极的浆料层的图形通过垂直于用作栅格电 极的浆料层的两条线而实现。这里，在纵向方向相邻的栅格电极之间的距离 被制成小于主电极的宽度。相应地，纵向方向相邻的栅格电极通过形成棒状 主电极在电气上相互连接。这可以通过下列方式实现，例如，在形成栅格电 极步骤中，使在纵向方向相邻的丝网中开口之间的距离小于棒状主电极的宽 度。图4显示电连接状态。在图4中，形成于位于硅衬底41上的防反射膜 43上的栅格电极46电连接到主电极47。
优选地，在形成栅格电极步骤中，定位标记形成于衬底上，以利于栅格 电极和主电极的定位，以及允许它们精确定位。此外，定位标记优选地形成 于主电极将要形成的位置处，因为在形成主电极后，这样的标记在衬底中不 再能被看见。图6A举例说明用于形成栅格电极的丝网。这样的丝网提供于 丝网框61内，且具有用于形成定位标记的孔69。图8举例说明用于形成主 电极的丝网。图8中所示的丝网提供于丝网框81内，且具有用于形成主电 极的开口87和用于形成定位标记的孔80。定位标记通过图6A中所示的孔 69随同栅格电极的形成一起形成于衬底上。定位标记被CCD相机等识别。 接着，丝网根据图8中所示的定位标记(孔80)移动，如此栅格电极和主电 极被高精度地定位。定位标记优选地具有圆或椭圆形状。这是因为这样的形 状不易于受到诸如印刷过程中细小污点的影响，或者甚至如果可能产生细污 点，如此形状的定位标记易于被CCD相机认出。
图7A举例说明本发明的丝网方法中用于形成栅格电极的印刷刮板。此 外，图7B显示沿着图7A中VIIB-VIIB线的截面图。当印刷刮板72具有用 于刮掉浆料的尖端部72b(其是柔软性和薄的板状体)和支撑尖端部72b的 本体部72a(其是刚性和厚的板状体)时，小宽度的图形可被精确形成。图 7C显示采用常规印刷刮板形成的栅格电极的截面图，图7D显示采用本发明 的刮板形成的栅格电极的截面图。如图7C所示，正如在常规样品中，当常 用的、由氨基甲酸酯构成的刮板被使用时，栅格电极的截面展示出中间凹陷 的形状。另一方面，当本发明中的刮板被使用时，栅格电极的截面展示出矩 形形状，从而获得厚的电极且其截面积大。因此，甚至当栅格电极具有小的 宽度时，串联电阻可受到抑制。
当采用丝印方法时，优选地，印刷刮板的驱动方向与图6A中所示的丝 网的开口的纵向方向一致，使得小宽度的、无断线的栅格电极易于形成。这 里，印刷刮板的驱动方向和丝网的开口的纵向方向一致不仅指方向完全一 致，还指它实质上一致。这是因为当实质上的一致达到时，小宽度、无断裂 的栅格电极易于有效地形成。尽管依赖于浆料的粘度或刮板的压力，通常地， 实质上一致包括这样的情况，其中印刷刮板的驱动方向与丝网中开口的纵向 方向的差异在±10°范围之内。
由经过烧结贯通抗反射膜来与硅衬底中的n+层形成优异欧姆接触的金 属材料构成的浆料优选地作为形成栅格电极的步骤中所用浆料。例如，用于 所谓烧穿的银浆料，适宜使用掺入0.05到0.3重量百分比数量的磷或磷基化 合物得到的银浆料。另一方面，在形成主电极步骤中，优选使用由与衬底具 有优异焊接浸润性和接触性能的金属材料组成的浆料。例如，优选使用与衬 底具有优异焊接浸润性和粘接性且不含有磷或磷基化合物的银浆。含有大量 磷或磷基化合物的银浆通常具有优异的烧穿性能，然而，其与衬底的焊接浸 润性差和粘附性差。此外，甚至当具有相同组分的浆料分别用于形成栅格电 极和主电极时，使用具有彼此不同粘度的浆料。这样做，印刷可以以适合于 各自电极的方式以提高的精度进行。
如上所述，本发明的实施例已举例讨论，显示所谓的常规类型太阳能电 池。除了这样的太阳能电池外，例如，BSF型的太阳能电池和具有电极表面 呈织纹状的太阳能电池也可按照本发明制作。
按照本发明的太阳能电池的特征在于由上面所述的方法制作。在形成太 阳能电池的表面电极中，栅格电极被制作成具有较小宽度和较大厚度，同时 主电极用于连接纵向方向相邻的栅格电极。在此方式中，电极面积可被减少 而不增加表面电极的串联电阻。因此，按照本发明、在太阳能电池中可以实 现转换效率的显著提高。
实施例一
按照本发明的太阳能电池在图1A到1I所示的步骤中被制作。首先，p 型硅衬底11的表面用高温氢氧化钠水溶液处理，以去除表面损伤层(图1A)。 接着，n+层(高浓度n层)12通过气相扩散POCl3形成于p型硅衬底11的 整个表面上，如图1B所示。其后，n+层12的表面用氢氟酸清洗，且由氮化 硅组成的防反射膜13通过等离子体CVD(化学气相沉积)形成于受光面侧， 如图1C所示。接着，如图1D所示，抗墨水层14通过印刷形成于防反射膜 13上。其后，用氟硝酸通过化学刻蚀分离结，且抗墨水层14通过溶剂去除 (图1E)。抗墨水层被去除后，由几个百分比的铝混入银中而获得的银浆被 印刷到与硅衬底11的受光面相反的背面上，如此以形成银浆料层15作为背 面电极，如图1F所示，随后烘干。
其后，采用丝印方法，银浆料被印刷到硅衬底11的受光面上以形成银 浆料层16，作为图1G中所示的小宽度的栅格电极。同时，关于主电极的定 位标记(未显示)形成于主电极要形成的位置，随后烘干。接着，如图1H 所示，以与形成银浆料层16相似的丝印方式，形成用作棒状主电极的银浆 料层17的图形，随后烘干。在700摄氏度温度下烧结后，栅格电极与主电 极电连接。受光面电极和背面电极如图11所示形成，且焊料层18通过浸焊 形成于受光面电极和背面电极上，并分别连接到导线10。最后，获得具有图 4所示的电极图形的太阳能电池。因为所获得的太阳能电池具有小宽度和大 厚度的栅格电极，占据受光面的受光面电极的面积小。而且，其串联电阻也 小，且转换效率为17％。
形成栅格电极的银浆料通过将0.1重量百分比的磷掺入银中而得到。在 700摄氏度的温度烧结后，银浆渗透防反射膜，从而实现与n+层的优异电连 接。另一方面，形成主电极的银浆料由不含磷或磷基化合物的浆料组成，例 如银粉、玻璃粉、和树脂或溶剂的混合物，且该浆料的焊接浸润性以及与衬 底的接触性能良好。
如图6A所示，沿着形成于丝网中的开口66的纵向方向驱动印刷刮板， 印刷作为栅格电极的银浆。由此，形成的银浆料层具有均匀宽度而无断线。 烘干后，作为栅格电极和以条纹状形成的银浆料层26以及关于主电极的定 位标记29被形成在衬底21上，如图2所示。至于用于印刷的丝网，使用通 过激光在薄不锈钢板中形成小宽度开口的板状体。这里，开口的宽度为0.09 毫米，且形成条纹状的银浆料层的宽度为0.11毫米。图7A是用于印刷的刮 板的正视图，且图7B显示其截面。这里使用的刮板72由不锈钢组成，其中 本体部72a由刚性、厚的板状材组成，尖端部72b由柔韧、薄的板状体组成。 因此，形成的电极具有方形截面，如图7D所示，其面积明显地大于图7C 中所示使用由氨基甲酸酯制成的常规刮板获得的电极面积。
用作主电极的银浆料层的图形由垂直于作为小宽度栅格电极的银浆料 层的两条直线实现。这里，由于纵向方向相邻的栅格电极之间的距离被制成 窄于主电极的宽度，当形成主电极时主电极与栅格电极电连接。在形成作为 主电极的银浆料层中，在与形成栅格电极时一起形成于衬底上的定位标记被 CCD相机首先认出后，丝网被移动且按照用于形成主电极的丝网上提供的 定位标记定位。由此，栅格电极和主电极进行高精度定位。
尽管本发明进行了详细描述和举例说明，可以清楚地理解的是，以上所 述仅仅是举例和示范性的，并非用来限制本发明，本发明的精神和范围仅由 附加权利要求书的项目所限定。
本非临时申请书基于2003年10月8日向日本专利局提交的日本专利申 请第2003-349359号，其整体内容由此包含作为参考。
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