多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置
专利汇可以提供多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种多元喷射 电沉积 加工多层膜的方法及装置，其特征是在回转基体周围分别安装着两个或多个喷射加工单元，使上述回转基体保持旋转，实现多种组分的同步喷射电沉积。本 发明 可以很方便地实现对多层膜的组分、调制 波长 、微观结构等参数的精密调控，人为设计和制备所需特性的多层膜，制备两种或两种以上子层交替的多层膜，这些多层膜的子层可以是纯金属、 合金 等， 晶体结构 也可以多种多样，具有设备简单、节约成本、高效快捷、容易控制、加工过程足够稳定等优点。，下面是多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置专利的具体信息内容。
1.一种多元喷射电沉积加工多层膜的方法，其特征是它包括以下步骤：
首先，使被沉积环形基体以设定的速度转动；所述的环形基体在传动装置的带动下，连续经过同时供电的多个喷射加工单元进行交替电沉积，在环形基体旋转一周的过程中，形成与加工单元数相应的多层膜，也可以通过计算机控制喷射加工单元交替放电沉积，形成一种组分给定的膜层厚度后，再进行下一组分的电沉积，由此可以实现任意子层组分、子层厚度的排列组合；
其次，在环形基体的周围设置多个喷射加工单元，每个喷射加工单元之间通过隔板分隔；
第三，在环形基体转动的过程中，使各喷射加工单元按设定的次序向环形基体的表面喷射电沉积液，在环形基体表面至少形成两层组份相同或不相同的电沉积，形成所需层数的多层膜。
2.根据权利要求1所述的多元喷射电沉积加工多层膜的方法，其特征是所述的环形基体在转动过程中，通过电沉积液循环过滤系统使电沉积液经加工单元的喷嘴喷射到环形基体表面形成扫描电沉积，然后回收、过滤，并通过温控系统调控电沉积液的温度。
3.根据权利要求1所述的多元喷射电沉积加工多层膜的方法，其特征是通过控制电源和改变喷嘴尺寸、电沉积液成分或阴极转速，以获得不同组分和组织结构的多层膜，所述的多层膜的子层可以是纯金属或合金，子层的厚度不小于10nm。
4.根据权利要求1所述的多元喷射电沉积加工多层膜的方法，其特征是在所述的加工喷射加工单元之间设置有放置硬质粒子或摩擦件的工作腔，控制工作腔中的硬质粒子或摩擦件与环形基体表面相接触，以实时、有效地去除环形基体沉积表面的积瘤、毛刺缺陷，改善沉积层质量，获得子层均匀连续的多层膜。
5.一种多元喷射电沉积加工多层膜装置，其特征是它包括环形回转基体（1）、组分A加工单元（2）、第一转子流量计（3）、第一流量调节阀（4）、第一过滤器（5）、第一搅拌器（6）、第一磁力泵（7）、组分A电沉积液箱（8）、第一水浴槽（9）、第一加热器（10）、温控仪（11）、第二加热器（12）、第二水浴槽（13）、组分B电沉积液箱（14）、第二磁力泵（15）、第二搅拌器（16）、第二过滤器（17）、第二流量调节阀（18）、第二转子流量计（19）、组分B加工单元（20）和电源（21），两种组份的电沉积液分别存储在对应的电沉积液箱中，组分A电沉积液箱（8）安装在第一水浴槽（9）中，组分B电沉积液箱（14）安装在第二水浴槽（13）中，第一水浴槽（9）中安装有第一加热器（10），第二水浴槽（13）中安装有第二加热器（12）以便对其中的水进行加热进而对电沉积液箱中的不同组份的沉积液进行加热，组分A电沉积液箱（8）和组分B电沉积液箱（14）中的温度通过对应的温控仪（11）加以控制，其中还对应安装有使温度均匀的第一搅拌器（6）和第二搅拌器（16）。其中，组分A电沉积液箱（8）中的电沉积液在第一磁力泵（7）的作用下抽出，经过第一过滤器（5）过滤后送入组分A加工单元（2）的长条形喷嘴中，在长条形喷嘴与第一过滤器（5）之间的管道上还安装有第一转子流量计（3）以控制喷射速度，喷射后的沉积在工作腔中的沉积液再通过回流管回流至组分A电沉积液箱（8）中，为了防止沉积液流量过大，在第一过滤器（5）的出口端连接有一个第一流量调节阀（4），通过第一流量调节阀（4）能将多余的沉积液直接回流至组分A电沉积液箱（8）中；组分B电沉积液箱（14）中的沉积液在第二磁力泵（15）的作用下抽出，经过第二过滤器（17）过滤后送入组分B加工单元（20）的长条形喷嘴中，在长条形喷嘴与第二过滤器（17）之间的管道上还安装有第二转子流量计（19）以控制喷射速度，喷射后的沉积在工作腔中的沉积液再通过回流管回流至组分B电沉积液箱（14）中，为了防止沉积液流量过大，在第二过滤器（17）的出口端连接有一个第二流量调节阀（18），通过第二流量调节阀（18）将多余的沉积液直接回流至组分B电沉积液箱（14）中；每个喷射加工单元均连接有单独的电源（21）上，两个长条形喷嘴的出口端应位于同一水平面上；在一个处理室中，计算机控制回转基体（1）旋转，连续经过组分A加工单元（2）和组分B加工单元（20），每一个加工单元的冲击射流均可以同时对环形基体表面进行快速的扫描电沉积；整个处理室根据需要利用隔壁板（22）分为多个工作腔，并使隔壁板（22）与回转基体（1）之间具有很好的密封。
6.根据权利要求5所述的多元喷射电沉积加工多层膜装置，其特征是在未安装长条形喷嘴的工作腔中安装有硬质粒子或摩擦件，所述的硬质粒子或摩擦件在驱动装置的作用下与环形基体的表面相接触。
7.根据权利要求6所述的多元喷射电沉积加工多层膜装置，其特征是所述的驱动装置为促使粒子发生高频振动的机械式或电磁式装置；或使摩擦件与沉积表面保持恒张力贴紧并可以沿回转基体轴线方向上下抖动的机械式或电磁式装置。
多元喷射电沉积加工多层膜的方法及装置
技术领域
背景技术
发明内容
13、水浴槽；14、组分B电沉积液；15、磁力泵；16、搅拌器；17、过滤机；18、流量调节阀；19、转子流量计；20、组分B加工单元；21、电源。
具体实施方式
加热器10；温控仪11；加热器12；水浴槽13；组分B电沉积液14；磁力泵15；搅拌器16；过滤机17；流量调节阀18；转子流量计19；组分B加工单元20；电源21，如图1所示，两种组份的电沉积液分别存储在对应储液箱8、14中，储液箱8、14分别安装在对应的水浴槽9、13中，水浴槽9、13中安装有加热器10和12以便对其中的水进行加热进而对储液箱8、14中的不同组份的沉积液进行加热，储液箱8、14中的温度可通过对应的温控仪11加以控制，其中还安装有使温度均匀的搅拌器6、16。其中，储液箱8中的沉积液在磁力泵7的作用下抽出，经过过滤器5过滤后送入组份A喷射加工单元2的长条形喷嘴中，在长条形喷嘴与过滤器5之间的管道上还可安装流量计3以控制喷射速度，喷射后的沉积在工作腔中的沉积液再通过回流管回流至储液箱8中，为了防止沉积液流量过大，在过滤器5的出口端连接有一个流量调节阀4，通过流量调节阀4可以将多余的沉积液直接回流至储液箱8中。储液箱
14中的沉积液在磁力泵15的作用下抽出，经过过滤器17过滤后送入组份B喷射加工单元
20的长条形喷嘴中，在长条形喷嘴与过滤器17之间的管道上还可安装流量计19以控制喷射速度，喷射后的沉积在工作腔中的沉积液再通过回流管回流至储液箱14中，为了防止沉积液流量过大，在过滤器17的出口端连接有一个流量调节阀18，通过流量调节阀18可以将多余的沉积液直接回流至储液箱14中。本实施例（图1）中的每个喷射加工单元均连接有单独的电源21上，两个长条形喷嘴的出口端应位于同一水平面上。在一个处理室中，计算机控制回转基体1旋转，连续经过组分A加工单元2和组分B加工单元20，每一个加工单元的冲击射流均可以同时对环形基体表面进行快速的扫描电沉积。图2为处理室的结构示意图，整个处理室可根据需要利用隔壁板22分为多个工作腔，并使隔壁板22与回转基体1之间具有很好的密封。图3为添加实时研磨时处理室的结构示意图，其中图3（a）为添加硬质粒子后的结构示意图。硬质粒子25堆放在单独的工作腔中，并紧贴环形基体表面，在这个工作腔的底部可以添加振动源，促使硬质粒子高频振动，以更有效地研磨沉积表面。图
3（b）为添加摩擦件后的结构示意图，可以利用恒张力装置将摩擦件26贴紧环形基体表面。
图4为添加多个加工单元时处理室的结构示意图，其中图4（a）为添加3个加工单元后的结构示意图，图4（b）为添加4个加工单元后的结构示意图。这种结构可以制备两种以上组分的多层膜。图4（a）中，通过控制组分A加工单元2、组分B加工单元20、组分C加工单元25交替放电沉积，可以实现任意子层组分、子层厚度的排列组合，而图4（b）中，通过添加一个组分D加工单元25，可以使这种排列组合更趋于多样化。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 电沉积夹具 | 2020-05-11 | 187 |
| 电沉积装置及其电沉积方法 | 2020-05-13 | 765 |
| 电沉积磨轮 | 2020-05-11 | 741 |
| 可电沉积组合物 | 2020-05-12 | 437 |
| CoNiP膜的电沉积 | 2020-05-12 | 177 |
| 电沉积线型工具 | 2020-05-12 | 953 |
| 电沉积线型工具 | 2020-05-11 | 755 |
| 一种电沉积装置 | 2020-05-12 | 593 |
| 电沉积磨具 | 2020-05-11 | 266 |
| 电沉积涂装系统及电沉积涂装方法 | 2020-05-13 | 183 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
