一种电沉积装置
专利汇可以提供一种电沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 电沉积 装置，属于电沉积领域。该装置包括 电解 液循环过滤单元、电解液槽、电沉积电源、 阴极 基底、电解液，它还包括横截面为长方形的直线状 阳极 和搅拌桨；所述的直线状阳极安设于搅拌桨的底部且直线状阳极的表面与搅拌桨的底面平齐；所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨可作往复直线运动；所述的电解液的液面高于搅拌桨的底面1~2mm。本发明提高了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品 质量 。，下面是一种电沉积装置专利的具体信息内容。
1.一种电沉积装置，包括电解液循环过滤单元（1）、电解液槽（2）、电沉积电源（4）、阴极基底（5）、电解液（7），其特征是：它还包括横截面为长方形的直线状阳极（6）和搅拌桨（3）；
所述的直线状阳极（6）安设于搅拌桨（3）的底部且直线状阳极（6）的表面与搅拌桨（3）的底面平齐；所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底（5）的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨（3）可作往复直线运动；所述的电解液（7）的液面高于搅拌桨（3）的底面1 2mm。
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2.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的搅拌桨（3）的底面与阴极基底（5）的表面的间距为0.2 0.5mm。
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3.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的直线状阳极（6）和阴极基底（5）分别与所述的电沉积电源（4）的正极与负极相连接。
4.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的直线状阳极（6）的横截面的长为0.1 0.2mm，宽为0.1 0.2mm。
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5.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的直线状阳极（6）的材质为钛、铂等惰性金属材料。
6.根据权利要求1所述的一种电沉积装置，其特征在于：所述的搅拌桨（3）的材质为耐酸碱腐蚀的电绝缘固体材料。
一种电沉积装置
技术领域
背景技术
发明内容
2mm。
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直线状阳极输出的电流可视为超窄带状分布的“微电流”，这样，直线状阳极的往复移动相当于微电流束“逐微区地且周期反复地”向电沉积区贴近供应“微电流”，有利于实现电沉积区电流分布的协同均匀化。
具体实施方式
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