专利汇可以提供一种电沉积装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种用于 电沉积 的装置,包括电沉积槽、 阴极 、阴极移动杆,还包括 齿轮 、齿轮安装杆和搅拌桨。工作时,阴极移动杆在外 力 的作用下做 水 平往复运动,阴极移动杆上的 齿条 带动齿轮做正反圆周远动,齿轮带动搅拌桨做正反转圆周运动,这样 电解 液就会在搅拌桨的搅拌作用下快速流动起来,加之搅拌桨外缘 位置 与阴极面较近,因此,电解液在阴极表面的流场相对比较均匀,从而对电沉积过程中阴极电沉积层厚度的均匀性起到改善作用。,下面是一种电沉积装置专利的具体信息内容。
1.一种电沉积装置,包括电沉积槽(6)、阴极移动杆(1)、阴极(4),其特征在于:其包括齿轮(2)、齿轮安装杆(5)、搅拌桨(7)。
2.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极(4)安装在阴极移动杆(1)一侧;所述的阴极移动杆(1)上设有齿条(3);所述的齿条(3)与齿轮(2)啮合;所述的齿轮(2)旋转固定在齿轮安装杆(5)上;所述齿轮安装杆(5)固定在电沉积槽(6)壁面上;
所述的搅拌桨(7)同轴线安装在齿轮轴(8)上。
3.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)平行安装在电沉积槽(6)壁面上方。
4.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的阴极移动杆(1)可在外力作用下水平往复移动。
5.根据权利要求2所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的齿轮轴(8)可根据电沉积槽(6)的尺寸和工艺要求对其数量进行增减。
6.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述搅拌桨(7)外缘与阴极(4)面之间设有一定距离,其距离可调。
7.根据权利要求1所述的一种电沉积装置,其特征在于:所述的搅拌桨(7)为耐化学腐蚀的电绝缘材料。
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