机床的传动元件表面进行金刚石涂层的方法
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1.一种机床的传动元件表面进行金刚石涂层的方法，针对机床的滚珠丝杠或直线导轨的表面进行金刚石涂层，其特征在于：包括以下步骤：
a)、涂层前的清洗：
除油：将超纯水与金属除油剂混合制备成除油混合物，用除油混合物清洗滚珠丝杠或直线导轨表面至没有油污；
除蜡：将超纯水与除蜡清洗剂制备成除蜡混合物，将除蜡混合物加热到80-90℃后，对滚珠丝杠或直线导轨表面进行超声波清洗15min，然后再进行超纯水清洗至滚珠丝杠或直线导轨表面没有任何污垢；
干燥：用吹风机热风烘干去除滚珠丝杠或直线导轨表面水汽；
b)、采用磁控溅射真空离子镀膜机进行涂层操作：
b1)、将滚珠丝杠或直线导轨装到镀膜室转架上，调节转速至2.0-3.0r/min，关闭镀膜-3 -3
室设备门，抽真空至镀膜室的真空度达到1.35×10 Pa-3.35×10 Pa时，向镀膜室通入氩气以使得镀膜室内压强达到3×10-1Pa-7×10-1Pa时，将镀膜室内温度加热到110-120℃，开启离子清洗源，电压为1800-1900V，产生辉光放电，产生大量氩离子对滚珠丝杠或直线导轨表面进行轰击清洗20min；
b2)、将步骤b1)中清洗完成的滚珠丝杠或直线导轨进行钛靶打底涂层，将滚珠丝杠或直线导轨置于磁控溅射真空系统中，以金属钛靶为阴极，工作气体为氩气，真空系统中的压力为3×10-2Pa，钛靶的电流为50A，偏压为-300V，沉积时间20分钟，工艺过程中，氩气被离化成氩离子，高能量的氩离子轰击钛靶材表面，将表层的钛原子轰离靶材表面，然后沉积到滚珠丝杠或直线导轨上；
b3)、将步骤b2)中处理完成的传动元件通过气体放行对零件进行金刚石涂层，关闭氩气，通入乙炔气体，保持真空度为7×10-1Pa-8×10-1Pa，调节偏压电流为5.0A，通过传感器显示真空系统中绝对真空，磁控溅射发生器自动涂膜，沉积40-60min，得到涂有金刚石薄膜的滚珠丝杠或直线导轨，最终获得厚度为6-8微米厚的金刚石涂层；
b4)、步骤b3)完成后，待镀膜室内的温度冷却至室温，出炉，完成涂层操作。
2.根据权利要求1所述的机床的传动元件表面进行金刚石涂层的方法，其特征在于：步骤a)中，除油：所述除油混合物中超纯水与金属除油剂按体积份数比为1∶(1～2)，将除油混合物加热到60-80℃后，采用高压喷淋方式对滚珠丝杠或直线导轨表面清洗15分钟，将喷淋后的滚珠丝杠或直线导轨进行超纯水漂洗至没有油污。
机床的传动元件表面进行金刚石涂层的方法
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