专利汇可以提供用于在集成光学部件中削尖波导Y分支的角的制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且制造用于集成光学器件、 光子 晶体器件或用于微型器件中的光 波导 的基本尖的 角 的方法。首先使用 光刻 图案化 和垂直蚀刻形成诸如圆角(28)等的非尖角。接着,使用 各向同性蚀刻 削尖该圆角。可使用监控器确定圆角(28)是否通过各向同性蚀刻充分削尖。,下面是用于在集成光学部件中削尖波导Y分支的角的制造方法专利的具体信息内容。
1、一种方法,包括:
在一材料上光刻图案化出光波导路径,该光波导路径包括第一分 支、第二分支以及第一分支与第二分支相交处的角;
基于所述光刻图案各向异性地蚀刻所述材料的部分,以获得确定 所述角的所述材料的区域;以及
从所述材料的区域各向同性地蚀刻所述材料的另外部分,以削尖 所述角。
2、根据权利要求1所述的方法,其中光刻图案化所述角包括涂覆 光致抗蚀剂材料。
3、根据权利要求2所述的方法,还包括在削尖所述角之前从所选 择的区域去除所述光致抗蚀剂材料。
4、根据权利要求2所述的方法,其中所述角被削尖时所述光致抗 蚀剂处于原位。
5、根据权利要求1所述的方法,其中所述材料包括第一材料,所 述方法还包括:
将第二材料设置在所述区域中;以及
从所述区域外的区域去除多余的第二材料。
6、根据权利要求5所述的方法,其中去除多余的第二材料包括使 用化学-机械抛光技术。
7、根据权利要求5所述的方法,还包括将第三材料设置在所述第 二材料上。
8、根据权利要求7所述的方法,其中将所述第三材料设置在所述 第二材料上和将所述第二材料设置在所述区域中包括使用沉积技术。
9、根据权利要求7所述的方法,其中所述第一和第三材料包括覆 层材料,且所述第二材料包括中心材料。
10、根据权利要求1所述的方法,其中所述第一分支、第二分支 和所述角包括集成光学器件的光波导的Y形分支的部分。
11、根据权利要求1所述的方法,其中所述角包括微机电结构器 件、光子晶体器件或光子带隙器件其中之一的部分。
12、根据权利要求1所述的方法,还包括监控邻近所述区域的所 述材料的部分的去除是否已经过了足够削尖所述角的时间。
13、根据权利要求12所述的方法,其中监控邻近所述区域的所述 材料的所述部分的去除包括:
形成衍射光栅,所述衍射光栅具有半径与将被削尖的所述角基本 相同的柱状物,其中所述角是圆的;
用光照射所述柱状物并检测由所述柱状物衍射的光;
在从所述材料的区域各向同性地蚀刻所述材料的另外部分同时各 向同性地蚀刻所述柱状物;以及
根据所述柱状物被各向同性地蚀刻时检测到的由柱状物衍射的 光,确定是否已经过了削尖所述角的足够时间。
14、一种方法,包括:
在沉积在衬底上的覆层材料上光刻图案化出Y形分支光波导路 径,该Y形分支光波导路径包括Y形分支光波导路径的第一分支分开 成Y形分支光波导路径的第二分支和第三分支处的角;
基于所述光刻图案,垂直蚀刻所述覆层材料,以有选择地去除所 述覆层材料的部分,从而根据Y形光波导分支路径的所述角在覆层材 料中形成圆角;以及在所述圆角处各向同性蚀刻所述覆层材料以有选择地去除覆层材 料的另外部分而削尖所述圆角。
15、根据权利要求14所述的方法,还包括在沟槽中靠近所述经垂 直蚀刻和各向同性蚀刻形成的尖角沉积中心材料。
16、根据权利要求15所述的方法,还包括在去除沉积在所述沟槽 外的多余中心材料的化学-机械抛光工艺之后,在所述中心材料上沉 积另一覆层材料。
17、根据权利要求14所述的方法,还包括;
在对所述覆层材料进行所述垂直蚀刻的同时形成柱状物,所述柱 状物具有与所述圆角相当的尺寸;以及
在各向同性地蚀刻所述圆角的同时各向同性地蚀刻所述柱状物, 以根据由所述柱状物衍射的光确定所述削尖的完成。
18、根据权利要求14所述的方法,其中光刻图案化所述角包括使 用光致抗蚀剂。
19、一种方法,包括:
在沉积在衬底上的覆层材料上光刻图案化出角;
基于所述光刻图案,垂直蚀刻所述覆层材料,以有选择地去除所 述覆层材料的部分,从而形成圆角;
在所述圆角处各向同性蚀刻所述覆层材料以有选择地去除覆层材 料的另外部分而削尖所述圆角;
在垂直蚀刻所述覆层材料的同时形成柱状物,所述柱状物具有与 所述圆角相当的尺寸;
在各向同性地蚀刻所述圆角的同时各向同性地蚀刻所述柱状物, 以根据由所述柱状物衍射的光确定所述削尖的完成。
20、如权利要求19所述的方法,其中所述角包括光波导的Y形分 支的一部分。
21、如权利要求19所述的方法,还包括:
在沟槽中靠近所述尖角沉积中心材料,所述尖角是通过所述垂直 蚀刻和所述各向同性蚀刻形成的;
在去除沉积在所述沟槽外的多余中心材料的化学-机械抛光工艺之 后,在所述中心材料上沉积另一覆层材料。
这里公开的内容一般涉及电路制造,特别地但非排它地涉及用于 削尖在Y分支中例如集成光学部件、光子晶体器件以及其它微型器件 的Y分支中使用的角的制造方法,。
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