专利汇可以提供一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置及方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种高 精度 轴系旋转精度的光学测量装置及方法,该发明利用光学方法来测量转台旋转精度,利用光轴来不断逼近机械 转轴 并通过对光轴跳动量的测量来获得机械转轴精度。具体是利用平行光穿过机械转轴,并成像于随转轴转动的检测相机的焦面上,机械转轴转动时检测相机的成像点会随之运动,运动轨迹接近与圆形,圆心 位置 则对应机械转轴,通过调节平行光的方向使得成像点接近圆心,通过多次调节及逼近最终使得成像光斑质心随转轴转动变化最小,该质心变化量与成像相机焦距的比值即为转轴的旋转精度,且机械转轴与光轴重合。本发明装置结构简单、成本低廉、标定方法简单。,下面是一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置及方法专利的具体信息内容。
1.一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置,包括宽光束激光准直光源(1)、五维调节架(2)、标码盘(3)、长焦相机(4)、固定工装(5),其特征在于:
宽光束激光准直光源(1)固定于五维调节架(2)上,激光光束经过标码盘(3)的中心出射,最终激光光束在长焦相机(4)的焦面上成像,其中长焦相机(4)固定于被测机械转轴(6)上且能够随转轴转动,标码盘(3)通光孔与被测机械转轴(6)通光孔同心;转动被测机械转轴(6)并记录成像点轨迹,根据旋转过程中成像点的轨迹寻找圆心位置,调节六维调节架(2)的方位、俯仰角度使出射光方向变化,最终使成像点接近于圆心,通过多次调节及逼近最终使得成像光质心随转轴转动变化最小,该变化量与成像相机焦距的比值即为转轴的旋转精度。
2.根据权利要求1所述的一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置,其特征在于:所述的宽光束激光准直头光源(1)为一种经过准直的激光光束,准直光束的发散角小于
200urad。
3.根据权利要求1所述的一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置,其特征在于:用于固定宽光束激光准直头光源(1)的所述的五维调节架(2)具备方位、俯仰角度调节功能,同时具备高低、上下、左右位置的调节功能。
4.根据权利要求1所述的一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置,其特征在于:所述的标码盘(3)为中心通光孔大小与宽光束激光准直头光源(1)光斑大小相同,外部结构安装保证标码盘(3)通光孔与机械转轴(6)通光孔同心。
5.根据权利要求1所述的一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置,其特征在于:所述的长焦相机(4)固定于被测机械转轴(6)上随转轴转动,且长焦相机(4)可以实时读取成像光斑质心,其中长焦镜头面形RMS值优于1/10λ@632.8nm,长焦相机(4)的探测器响应波长范围覆盖与所使用的宽光束激光准直光源(1)。
6.一种基于权利要求1所述的一种高精度轴系旋转精度的光学测量装置的轴系旋转精度测量方法,其特征在于方法步骤如下:
1)光轴与机械转轴的初步配准:将宽光束激光准直光源(1)放置于五维调节架(2)上,再将标码盘(3)安装于被测机械转轴(6)的中心处,通过标码盘(3)外部结构安装保证其通光孔与机械转轴(6)通光孔同心,调节五维调节架(2)使得激光经标码盘(3)的中心孔发射,同时保证出射光出转轴时同样接近中心出射,初步定位宽光束激光准直光源(1),完成激光光轴与机械转轴的初步配准;
2)光轴与机械转轴的精确配准:将长焦相机(4)安装于被测机械转轴(6)上,其中长焦相机的焦距为f,保证长焦相机(4)与被测机械转轴(6)随动,将被测机械转轴(6)固定在某一个方位,调节长焦相机(4)的方位、俯仰角度,使得宽光束激光准直光源(1)成像于长焦相机(4)的中心像元附近,此时初步固定长焦相机(4),然后转动被测机械转轴(6)并记录成像点轨迹;根据旋转过程中成像点的轨迹寻找圆心位置,确保圆心位置处于探测器视场范围内,再调节六维调节架(2)使得成像点接近圆心,同时需保证宽光束激光准直光源(1)的光斑从标码盘(3)中心处出射,通过多次调节激光光轴来配准机械转轴,最终使得成像光质心随转轴转动变化较小;
3)机械转轴精度获取:在小范围内调节宽光束激光准直光源(1)的方向,旋转被测机械转轴(6),记录成像点轨迹,通过旋转过程中的质心数据来获得轨迹最远点之间距离,多次微调节宽光束激光准直光源(1),并多次获取旋转过程中最远点之间距离,通过对比记录距离最小量,则转轴的旋转精度。
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