专利汇可以提供一种具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片及其制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片及其制作方法,建立类光栅结构的二维横截面图;沿Z轴拉伸二类光栅结构的维横截面图,将其转变为三维类光栅结构,并建立三维LED芯片模型,采用时域有限差分法模拟多 量子阱 层发出的光在LED芯片内部传播情况,计算光提取效率;优化类光栅结构的参数;制作蓝 宝石 衬底,并在衬底上依次发光 外延 层,制成外延片,在p型 半导体 层的顶部生长一层金属 薄膜 ,作为反射镜和p 接触 电极 ,利用共晶焊方法将外延片 焊接 到热沉上;利用激光衬底剥离方法将蓝宝石衬底剥离掉,并采用化学机械 抛光 方法对n型半导体层进行减薄处理;根据优化后的类光栅结构的参数,在n型半导体层上制作类光栅结构。,下面是一种具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片及其制作方法专利的具体信息内容。
1.一种具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片,其特征是,该LED芯片包括n型半导体层、多量子阱层、p型半导体层和金属反射层;n型半导体层生长与蓝宝石衬底之上,多量子阱层生长于n型半导体层之上,p型半导体层生长于多量子阱层之上,在p型半导体层上生长一层金属薄膜,作为金属反射层;剥离蓝宝石衬底后,在n型半导体层上设置一个类光栅结构。
2.根据权利要求1所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片,其特征是,所述类光栅结构的深度为200-300nm,平均周期为350-450nm,周期半高宽为170nm-250nm,占空比为0.4-0.6,总的半导体厚度为400-1000nm。
3.根据权利要求1所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片,其特征是,所述金属薄膜为银膜。
4.权利要求1-3中任一项所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片的制作方法,其特征是,包括以下步骤:
(1)建立类光栅结构的二维横截面图;
(2)沿Z轴拉伸二类光栅结构的维横截面图,将其转变为三维类光栅结构,并建立LED芯片模型,采用时域有限差分法模拟多量子阱层发出的光在LED芯片内部传播情况,计算光提取效率;
(3)优化类光栅结构的参数;
(4)制作蓝宝石衬底,并在衬底上依次生长发光外延层,制成外延片,在p型半导体层的顶部生长一层金属薄膜,作为反射镜和p接触电极,利用共晶焊方法将外延片焊接到热沉上;
(5)利用激光衬底剥离方法将蓝宝石衬底剥离掉,并用化学机械抛光方法对n型半导体层进行减薄处理;
(6)根据优化后的类光栅结构的参数,在n型半导体层上制作类光栅结构。
5.根据权利要求4所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片的制作方法,其特征是,所述制作类光栅结构的横截面图,包括:
建立服从二维正态分布的复数随机矩阵;
利用高斯型圆环状滤波器对二维正态分布的复数随机矩阵进行滤波,得到类光栅周期的空间频谱分布图;
对空间频谱图进行二维傅里叶变换得到一个复数矩阵;
对复数矩阵进行实值化和二元化处理,得到类光栅结构的二维横截面图。
6.根据权利要求4所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片的制作方法,其特征是,所述构造LED芯片模型的具体方法为:
在时域有限差分法仿真软件中依次对金属反射层、p型半导体层、多量子阱层、n型半导体层和类光栅结构的三维几何结构进行建模,分别设置每一层构成材料的折射率和光的吸收系数参数,得到一个三维的LED芯片模型。
7.根据权利要求4所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片的制作方法,其特征是,所述优化类光栅结构的参数,包括:
采用时域有限差分法对类光栅结构的参数进行优化处理,获得最优的结构参数,其中,所述类光栅结构的参数包括深度d、平均周期a0、周期的半高宽Δa0和占空比f和总的半导体层厚度t。
8.根据权利要求4所述的具有类光栅结构的宽频高光提取LED芯片的制作方法,其特征是,根据优化后的类光栅结构的参数,在n型半导体层上制作类光栅结构,包括:
根据优化后的光栅结构的深度d、平均周期a0、周期的半高宽Δa0和占空比f和总的半导体层厚度t参数,采用干法刻蚀方法或者纳米压印方法在n型半导体层上制作类光栅结构。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
发光二极管 | 2020-08-03 | 2 |
大功率980nm量子阱半导体激光器半无铝结构 | 2022-03-23 | 1 |
一种四元覆晶式LED结构及制作方法 | 2020-06-16 | 1 |
生物传感器 | 2021-05-25 | 0 |
一种发光二极管的外延片及其制造方法 | 2020-05-28 | 0 |
Mg掺杂电子阻挡层的外延片,生长方法及LED结构 | 2020-12-23 | 2 |
INCORPORATING GATE CONTROL OVER A RESONANT TUNNELING STRUCTURE IN CMOS TO REDUCE OFF-STATE CURRENT LEAKAGE, SUPPLY VOLTAGE AND POWER CONSUMPTION | 2021-09-08 | 1 |
Semiconductor light-emitting element and semiconductor light-emitting apparatus using the same | 2021-10-19 | 1 |
반도체 자외선 발광소자 | 2020-09-04 | 0 |
一种钙钛矿光电器件、制备方法及一种钙钛矿材料 | 2020-08-19 | 2 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。