专利汇可以提供一种12管高产能PECVD设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种12管高产能PECVD设备,包括气源柜、主机和 工作台 框架 ,气源柜的右侧与主机的左侧固定连接,主机的右侧与工作台框架表面的一侧固定连接,工作台框架的顶部固定连接有加热炉体,加热炉体的表面活动连接有 真空 炉 门 机构,加热炉体的表面固定连接有自动控制系统,本实用新型涉及 太阳能 电池 技术领域。该12管高产能PECVD设备,通过加热炉体、自动送取料系统和推拉舟使得载有待 镀 膜 晶片的 石墨 舟传送给上下料机械手,通过这个全自动机械手的精准 定位 ,把石墨舟放到每管对应的推拉舟上,然后再由推拉舟送入工艺管内,晶片在工艺管内,通过密封炉门机构和真空系统,达到所需要的工艺真空度,然后通入工艺气体。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是一种12管高产能PECVD设备专利的具体信息内容。
1.一种12管高产能PECVD设备,包括气源柜(1)、主机(2)和工作台框架(3),其特征在于:所述气源柜(1)的右侧与主机(2)的左侧固定连接,所述主机(2)的右侧与工作台框架(3)表面的一侧固定连接,所述工作台框架(3)的顶部固定连接有加热炉体(4),所述加热炉体(4)的表面活动连接有真空炉门机构(5),所述加热炉体(4)的表面固定连接有自动控制系统(6),所述加热炉体(4)内壁的底部固定连接有工作台(7),所述加热炉体(4)内壁底部的两侧均活动连接有自动送取料系统(8),所述加热炉体(4)的内部活动连接有推拉舟(9),所述加热炉体(4)内壁的一侧固定连接有间歇台(10),所述加热炉体(4)内壁的一侧活动连接有上下料机械手(11)。
2.根据权利要求1所述的一种12管高产能PECVD设备,其特征在于:所述推拉舟(9)包括外框(91),所述外框(91)内壁的两侧均固定连接有滑动轨道板(92),所述滑动轨道板(92)的内表面活动连接有滚动轮(93)。
3.根据权利要求2所述的一种12管高产能PECVD设备,其特征在于:所述滚动轮(93)的表面固定连接有限位环板(94),所述滚动轮(93)的轴心处固定连接有移动杆(95)。
4.根据权利要求3所述的一种12管高产能PECVD设备,其特征在于:所述移动杆(95)的底部活动连接有支撑板(96),所述移动杆(95)的表面活动连接有稳定块(97),所述稳定块(97)的内部安装有驱动设备。
5.根据权利要求4所述的一种12管高产能PECVD设备,其特征在于:所述稳定块(97)的顶部通过旋转轴转动连接有推拉臂(98),所述推拉臂(98)的一端固定连接有接触块(99)。
6.根据权利要求1所述的一种12管高产能PECVD设备,其特征在于:所述加热炉体(4)内部工作时保持工艺气体内的压力恒定在需求数值。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
基于自由能模型的GMM-FBG交流电流传感器 | 2020-05-11 | 224 |
一种平屋顶透水运动场地及其施工方法 | 2020-05-11 | 651 |
存储器器件和用于从MTJ存储器器件读取的方法 | 2020-05-08 | 309 |
PE收缩膜 | 2020-05-08 | 46 |
一种直线式曲面光源生产机器人生产线 | 2020-05-08 | 714 |
一种核电站堆内构件柔性屏蔽体及其制备方法 | 2020-05-08 | 243 |
高稀土含量的硅铝酸盐晶体及其制备方法和应用 | 2020-05-08 | 921 |
基于聚酰亚胺的多孔单离子聚合物电解质PI-FPAS隔膜及其制备方法和应用 | 2020-05-08 | 607 |
FPGA电路的负载建模方法 | 2020-05-11 | 306 |
一种高导热性超高分子量聚乙烯纤维及其制备方法 | 2020-05-08 | 499 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。