专利汇可以提供喷墨头的制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且公开了一种喷墨头的制造方法。该方法包括:制备具有第一和第二表面的衬底,所述衬底设置有设置在第一表面上的多个压 力 产生元件;在其上设置有压力产生元件的第一表面上形成具有至少一个开口的掩模图案。该方法还包括通过利用掩模图案作为蚀刻掩模而形成从第一表面延伸通过所述衬底的供墨槽。该方法能够提高喷墨头的产量和可靠性,因为可以均匀且可再现地调节供墨槽的形状和尺寸。,下面是喷墨头的制造方法专利的具体信息内容。
1.一种喷墨头的制造方法,包括:制备具有第一和第二表面的衬底,所述衬底设置有设置在所述第一表面上的多个压力产生元件;在其上设置有所述压力产生元件的所述第一表面上形成掩模图案;以及通过利用所述掩模图案作为蚀刻掩模从所述第一表面干蚀刻所述衬底而形成通过所述衬底延伸的供墨槽。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述衬底是硅衬底。
3.如权利要求1所述的方法,其中干蚀刻所述衬底通过下列工艺之一进行:反应离子蚀刻工艺;和深反应离子蚀刻工艺。
4.如权利要求1所述的方法,其中所述掩模图案由氧化硅层、氮化硅层、光致抗蚀剂层、光敏树脂层、金属层和金属氧化层之一形成。
5.如权利要求1所述的方法,还包括:在形成所述供墨槽之后,去除所述掩模图案;在所述衬底的第一表面上形成限定墨流动通道侧壁的腔层;以及在所述腔层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层。
6.如权利要求5所述的方法,其中所述腔层通过构图光敏干膜层而形成。
7.一种喷墨头的制造方法,包括:制备具有第一和第二表面的衬底,所述衬底设置有设置在所述第一表面上的多个压力产生元件;在其上设置有所述压力产生元件的所述第一表面上形成掩模图案;利用所述掩模图案作为蚀刻掩模,通过从所述第一表面部分地干蚀刻所述衬底从而遗留距所述第二表面有预定厚度的未蚀刻部分,而在所述衬底中形成供墨槽;以及通过抛光所述衬底的所述第二表面来去除所述未蚀刻部分。
8.如权利要求7所述的方法,其中所述衬底是硅衬底。
9.如权利要求7所述的方法,其中干蚀刻所述衬底通过下列工艺之一进行:反应离子蚀刻工艺;和深反应离子蚀刻工艺。
10.如权利要求7所述的方法,其中所述未蚀刻部分具有大约10~50μm的厚度。
11.如权利要求7所述的方法,其中所述掩模图案由氧化硅层、氮化硅层、光致抗蚀剂层、光敏树脂层、金属层和金属氧化层之一形成。
12.如权利要求7所述的方法,其中抛光所述衬底的第二表面通过化学机械抛光工艺进行。
13.如权利要求7所述的方法,还包括:在形成所述供墨槽之后,去除所述掩模图案;在所述衬底的第一表面上形成限定墨流动通道侧壁的腔层;以及形成填充由所述腔层限定的侧壁之间的所述墨流动通道和所述供墨槽的牺牲模制层。
14.如权利要求13所述的方法,其中形成所述腔层包括:通过旋涂法在所述衬底的第一表面上形成光敏树脂层;以及曝光并显影所述光敏树脂层。
15.如权利要求13所述的方法,其中所述牺牲模制层由正光敏树脂层和热塑树脂层其中之一形成。
16.如权利要求13所述的方法,还包括:去除所述未蚀刻部分之后,在所述腔层和所述牺牲模制层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层;以及溶解并去除所述牺牲模制层。
17.如权利要求13所述的方法,还包括:去除所述牺牲模制层之后,在所述腔层和所述牺牲模制层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层;以及在去除所述未蚀刻部分之后,去除所述牺牲模制层。
18.如权利要求7所述的方法,还包括在形成所述掩模图案之前,在所述衬底的第一表面上形成界定墨流动通道侧壁的腔层,所述掩模图案形成在具有所述腔层的第一表面上。
19.如权利要求18所述的方法,还包括:在形成所述供墨槽之后,去除所述掩模图案;以及形成填充所述腔层限定的侧壁之间的所述墨流动通道和所述供墨槽的牺牲模制层。
20.如权利要求19所述的方法,还包括:去除所述未蚀刻部分之后,在所述腔层和所述牺牲模制层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层;以及溶解并去除所述牺牲模制层。
21.如权利要求19所述的方法,还包括:形成所述牺牲模制层之后,在所述腔层和所述牺牲模制层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层;以及在去除所述未蚀刻部分之后,去除所述牺牲模制层。
22.一种喷墨头的制造方法,包括:制备具有第一和第二表面的衬底,所述衬底设置有设置在所述第一表面上的多个压力产生元件;在其上设置有所述压力产生元件的所述第一表面上形成掩模图案;通过利用所述掩模图案作为蚀刻掩模,从所述第一表面部分地干蚀刻所述衬底从而遗留距所述第二表面有预定厚度的未蚀刻部分,而在所述衬底中形成供墨槽;形成填充所述供墨槽并覆盖将形成墨流动通道的区域的牺牲模制层;以及通过抛光所述衬底的第二表面来去除所述未蚀刻部分。
23.如权利要求22所述的方法,其中所述衬底是硅衬底。
24.如权利要求22所述的方法,其中干蚀刻所述衬底通过下列工艺之一进行:反应离子蚀刻工艺;和深反应离子蚀刻工艺。
25.如权利要求24所述的方法,其中所述未蚀刻部分具有大约10~50μm的厚度。
26.如权利要求22所述的方法,其中所述掩模图案由氧化硅层、氮化硅层、光致抗蚀剂层、光敏树脂层、金属层和金属氧化层之一形成。
27.如权利要求22所述的方法,其中抛光所述衬底的第二表面通过化学机械抛光工艺进行。
28.如权利要求22所述的方法,还包括:去除所述未蚀刻部分之后,形成覆盖所述牺牲模制层的侧壁和顶表面的腔/喷嘴层,所述腔/喷嘴层具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴;以及溶解并去除所述牺牲模制层。
29.如权利要求22所述的方法,还包括:形成所述牺牲模制层之后,形成覆盖所述牺牲模制层的侧壁和顶表面的腔/喷嘴层,所述腔/喷嘴层具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴;以及在去除所述未蚀刻部分之后,去除所述牺牲模制层.
30.一种喷墨头的制造方法,包括:制备具有第一和第二表面的衬底,所述衬底设置有设置在所述第一表面上的多个压力产生元件;在其上设置有所述压力产生元件的所述第一表面上形成掩模图案;通过利用所述掩模图案作为蚀刻掩模,从所述第一表面部分地干蚀刻所述衬底从而遗留距所述第二表面有预定厚度的未蚀刻部分,而在所述衬底中形成供墨槽;去除所述掩模图案;在具有所述供墨槽的衬底的第一表面上形成限定墨流动通道侧壁的腔层;形成填充所述腔层之间的所述墨流动通道和所述供墨槽的牺牲模制层;通过用化学机械抛光工艺抛光所述衬底的第二表面来去除所述未蚀刻部分;在所述腔层和所述牺牲模制层上形成具有对应于所述压力产生元件的多个喷嘴的喷嘴层;以及溶解并去除所述牺牲模制层。
31.一种制造一个或多个喷墨头的方法,包括:提供具有一个或多个压力产生元件以从所述一个或多个喷墨头喷射墨的衬底,所述一个或多个压力产生元件设置在所述衬底的第一表面上;以及通过从所述第一表面干蚀刻所述衬底而形成通过所述衬底延伸的供墨槽。
32.如权利要求31所述的方法,其中将所述一个或多个压力产生元件排列成两行,并形成供墨槽使其在所述两行之间具有单槽形状。
33.如权利要求31所述的方法,其中通过反应离子蚀刻工艺蚀刻所述衬底的第一表面。
34.如权利要求31所述的方法,其中通过深反应离子蚀刻工艺蚀刻所述衬底的第一表面。
35.如权利要求31所述的方法,其中通过下列操作形成所述供墨槽:在具有所述压力产生元件的所述衬底的第一表面上形成掩模图案;以及干蚀刻包括所述掩模图案的所述衬底的第一表面。
36.如权利要求32所述的方法,还包括:在所述第一表面上形成限定墨流动通道侧壁的腔层;以及在所述腔层之上形成喷嘴层,其包括对应于所述压力产生元件的喷嘴。
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