一种用于调焦测量的光谱重构系统
专利汇可以提供一种用于调焦测量的光谱重构系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种 光谱 重构系统，包括：多种波段的 光源 系统，提供多个不同波段的光束；偏振分束系统，对不同波段的光束进行处理，以产生不同波段不同偏振态光束输出；偏振光强可调系统，根据不同工艺条件对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；合束系统，对经光强调整后的不同波段不同偏振态光束进行合束。该光谱重构系统可以根据不同工艺条件需求对各不同波段不同偏振态光束的光强进行配比，合束系统能够将不同波段不同偏振态的光束的偏振信息保留。将光谱重构系统应用于调焦调平系统可以起到大幅度减小调焦调平系统的测量误差，大幅度增强调焦调平系统的工艺适应性，大幅度提高调焦调平系统的测量 精度 的作用。，下面是一种用于调焦测量的光谱重构系统专利的具体信息内容。
1.一种光谱重构系统，包括：
多种波段的光源系统，提供多个不同波段的光束；
偏振分束系统，对不同波段的光束进行处理，以产生不同波段不同偏振态光束输出；
偏振光强可调系统，根据不同工艺条件对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；
合束系统，对经光强调整后的不同波段不同偏振态光束进行合束。
2.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该多波段光源系统包括多个光源。
3.根据权利要求2所述光谱重构系统，其特征在于，该多波段光源系统还包括与多个光源分别对应的准直透镜。
4.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光源可以是LED、光子晶体LED、卤素灯、汞灯、钠灯、氙灯、激光或等离子驱动激光灯。
5.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该偏振分束系统包括多个第一偏振分光棱镜，用于分别将多个不同波段光束进行处理，使每一波段光束被分成偏振态不同的两束光。
6.根据权利要求5所述的光谱重构系统，其特征在于，该偏振光强可调系统包括多个可变偏振分光镜组，用于对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整。
7.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该合束系统包括多个耦合镜组、多个保偏光纤、一个光纤合束器以及合束光纤。
8.根据权利要求1所述的光谱重构系统，其特征在于，该合束系统包括多个第二偏振分光棱镜、多个第一二向色镜、多个第二二向色镜、一个耦合镜组以及合束光纤。
9.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光谱重构系统还包括驱动系统，对光源进行开关及光强输出控制。
10.根据权利要求2所述的光谱重构系统，其特征在于，该光谱重构系统还包括散热系统，对光源进行散热。
11.一种调焦调平系统，包括权利要求1-10中任意一个所述的光谱重构系统。
一种用于调焦测量的光谱重构系统
技术领域
背景技术
发明内容
图3所示为一种带有光谱重构系统进行调焦测量的光电系统原理图；
图4所示为根据本发明第一实施例的一种用于调焦测量的光纤合束光谱重构系统原理图；
图5所示为根据本发明第二实施例的一种用于调焦测量的棱镜合束光谱重构系统原理图。
具体实施方式
5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h后，被耦合镜组6e、6f、6g、6h收集，经过耦合镜组6a、6b、6c、6d、
6e、6f、6g、6h后，光束分别被耦合至保偏光纤7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h，随后经过各路光纤传递至光纤合束器8，将不同波段及偏振态的光束耦合进入合束光纤9中并出射，其中驱动系统11a、11b、11c、11d对LED进行开关及光强输出控制，散热系统10a、10b、10c、10d对LED进行散热。
12，驱动系统13a、13b、13c、13d、散热系统14a、14b、14c、14d等，其中LED光源1a、1b、1c、1d分别采用不同波段分布的光谱，例如，光谱范围400nm—1000nm中的不同波段，可变偏振分光镜组5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h由各自的半波片和偏振分光棱镜组成，分别用于调节各自偏振波段光束的光强；光束从LED光源1a、1b、1c、1d发出，经过准直透镜2a、2b、2c、2d准直后，传递至偏振分光棱镜3a、3b、3c、3d，偏振分光棱镜3a、3b、3c、3d将各波段光束分为P光和S光两路，上路P光束经过可变偏振分光镜组5a、5b、5c、5d后，被偏振分光棱镜7a、7b、
7c、7d合束收集，下路S光束经过反射棱镜4a、4b、4c、4d及可变偏振分光镜组5e、5f、5g、5h后，再经反射棱镜6a、6b、6c、6d后，被偏振分光棱镜7a、7b、7c、7d合束收集，随后各波段光束经过二向色镜8a、8b，分别将不同波段的光束合束成400nm—750nm以及750nm—1000nm两个波段，再经过二向色镜9后由反射棱镜10反射后被耦合镜组11收集，进入合束光纤12中并出射，其中驱动系统13a、13b、13c、13d对LED进行开关及光强输出控制，散热系统14a、
14b、14c、14d对LED进行散热。
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