专利汇可以提供一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置,该装置的宏动平台采用气浮 导轨 导向,直线 电机 驱动,光栅尺检测 位置 精度 ;宏动平台带动微动平台;由整体金属板切割加工出 框架 、微动平台和起连接以及导向作用的柔性 铰链 ,框架固定在宏动平台上;微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻 力 ;微动平台通过柔性铰链与框架实体连接,柔性铰链对称分布,通过材料的微量弹性弯曲 变形 ,确保微动平台的导向和移动,压电陶瓷 驱动器 或音圈电机提供微动平台移动的动力,微动 传感器 感应微动平台的位移,从而实现微动平台的高精度位移和 定位 。,下面是一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置专利的具体信息内容。
1.一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置,其特征在于: 该装置包括底座(1),气浮导轨(2)安装在底座(1)上,气浮导轨长度方向上表面中间开有长槽,直线电机定子(3)镶在气浮导轨长槽中,气浮导轨(2)侧面装有光栅定尺(4);宏动平台(6)安装在气浮导轨(2)上,宏动平台(6)的底部形状与气浮导轨(2)表面相互匹配,宏动平台(6)与气浮导轨(2)的接触面上有气孔和气道,高压空气从孔中喷出,在气浮导轨(2)与宏动平台(6)之间形成气膜;宏动平台(6)中还安装直线电机动子(5),直线电机定子(3)与直线电机动子(5)相互作用,驱动宏动平台(6)在气浮导轨(2)上移动;宏动平台(6)上还装有光栅动尺(15),光栅动尺(15)与光栅定尺(4)相互匹配;框架(7)、工字型分布的四个柔性铰链(10)和微动平台(11)由一块整体金属切割而成,其中框架(7)安装在宏动平台(6)上,微动平台(11)的一边与框架(7)的一边之间装有压电陶瓷驱动器或音圈电机(14);微动平台(11)与宏动平台(6)的移动方向相互垂直,微动平台(11)的底部设有若干气孔和气道,通过孔中喷出的高压气体,使微动平台(11)与宏动平台(6)接触面之间形成气膜;承物台(12)的下面连接垫板(13)后一同固定在微动平台(11)的上面;承物台(12)与框架(7)之间有间隙;承物台(12)与框架(7)之间还装有微动传感器,其中承物台(12)侧面装有第一微动传感器(8),框架(7)侧面装有第二微动传感器(9)。
2.根据权利要求1所述的垂直轴宏微复合直线运动平台装置,其特征在于: 上述每个柔性铰链(10)的支干部宽度较宽,而铰链部宽度较窄,每个支干的两个端部为铰链部位;
铰链部位的轮廓为对称的圆弧过度。
3.根据权利要求1所述的垂直轴宏微复合直线运动平台装置,其特征在于: 上述承物台(12)面积大于微动平台(11)。
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