一种增强型开关器件及其制造方法
阅读：1022发布：2020-05-20
专利汇可以提供一种增强型开关器件及其制造方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种增强型 开关 器件及其制造方法，解决了现有增强型开关器件的制造工艺复杂以及 稳定性 和可靠性差的问题。其中的增强型开关器件包括：衬底（1）；依次设于所述衬底（1）上的 沟道 层（23）以及势垒层（24）；形成于所述势垒层（24）上的n型 半导体 层（3），所述n型半导体层（3）的表面上定义有栅极区域；形成于所述栅极区域且至少部分贯穿所述n型半导体层（3）的凹槽（4）；以及形成于所述n型半导体层（3）表面并至少填充所述凹槽（4）内部的p型半导体材料（5）。，下面是一种增强型开关器件及其制造方法专利的具体信息内容。
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