투명 터치패널{TRANSPARENT TOUCH PANEL}

본 발명은, 화학강화(化學强化)된 글라스 기판(glass 基板)의 평면(平面)에 투명 센서 전극(透明 sensor 電極)을 외부로 인출하는 인출선(引出線)이 배선된 투명 터치패널(透明 touch panel)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 인출선을 스퍼터링(sputtering)에 의하여 성막(成膜)한 박막(薄膜)으로부터 패터닝(patterning) 하여 형성하는 투명 터치패널에 관한 것이다.

표시장치(表示裝置)의 표시를 지표(指標)로 하여 입력조작(入力操作)을 하는 터치패널은, 기기의 내측에 배치되는 표시장치의 표시가 입력조작영역(入力操作領域)을 통하여 육안으로 볼 수 있도록, 입력조작영역에 투명 센서 전극을 형성함과 아울러 입력조작영역에 투명 센서 전극을 형성하는 절연기판으로서 글라스 기판을 사용하고 있다. 또한 이 글라스 기판은, 입력조작영역이 기기의 표면을 따라 노출하고 외력을 받아서 파손될 우려가 있으므로, 그 표면과 이면을 이온교환 하여 응력강화(應力强化) 시킨 화학강화 유리 기판으로 하고 있다.

도7과 도8은, 특허문헌1에 기재되어 있는 투영형 정전용량방식(投影型靜電容量方式)의 종래의 투명 터치패널(100)을 도면에 나타내는 것으로서, 화학강화 유리 기판(101)의 표면에 설정된 입력조작영역(102a)에 복수의 X방향을 따른 Ｘ측 투명 센서 전극(103x)과 복수의 Y방향을 따른 Ｙ측 투명 센서 전극(103y)이 서로 교차되어 형성되어 있다.

각 투명 센서 전극(103x, 103y)은 투명 도전성 재료로 다이아몬드 형상의 면이 연속하는 띠 모양으로 형성되고, 양자가 교차하는 부위에서는 절연 코팅(104)을 사이에 두고 Ｘ측 투명 센서 전극(103x)을 타고 넘어가는 연결전극(105)이, 교차부에서 도중에서 끊긴 Ｙ측 투명 센서 전극(103y)의 다이아몬드 형상의 면 사이를 전기적으로 접속하고, 이에 따라 각 투명 센서 전극(103x, 103y)은, 입력조작영역(102a)에 있어서 서로 절연되면서 직교방향으로 교차하여 배선된다.

각 투명 센서 전극(103x, 103y)의 일측 또는 양측은, 입력조작영역(102a)의 주위의 배선영역(102b)으로 배선되는 인출선(106)에 각각 접속하고, 배선영역(102b)의 일부에 형성된 외부 접속부(107)까지 인출되고, 외부 접속부(107)를 통하여 입력조작위치를 검출하는 검출회로에 전기적으로 접속하고 있다.

도7에 나타나 있는 바와 같이 투명 센서 전극(103x, 103y), 인출선(106) 등이 형성된 화학강화 유리 기판(101)의 표면측은, 투명절연재료로 형성된 투명한 톱코트층(108)으로 그 전체면이 덮여지고, 또한 배선영역(102b)이 형성되는 배면측은 절연 차광층(109)이 인쇄에 의하여 형성되어 있다. 인출선(106)은 투명도전재료로 형성하기 때문에 육안으로 볼 수 없지만, 절연 차광층(109)을 입력조작을 하는 표면측의 인출선(106)상에 형성하고, 인출선(106)을 덮는 투명 터치패널도 상기 특허문헌1의 다른 실시예로서 기재되어 있다.

손가락 등의 입력조작체가 접근하는 투명 센서 전극(103x, 103y)에서는 부유용량(浮遊容量: stray capacitance) 이 증가하기 때문에 검출회로로부터 각 투명 센서 전극(103x, 103y)에 구형 펄스 형상(矩形 pulse 形狀)의 위치검출신호를 출력하고, 부유용량의 증가에 의하여 파형이 왜곡되는 위치검출신호를 출력한 각 투명 센서 전극(103x, 103y)의 배치위치로부터, 입력조작영역(102a)에의 대한 입력조작위치를 검출한다.

투명 터치패널(100)에 사용되는 화학강화 유리 기판(101)은, 상기한 바와 같이 외부로부터의 충격에 의하여 파손되지 않도록, 글라스 기판의 표면층 및 배면층의 나트륨 이온을 이온 반경이 큰 칼륨 이온으로 이온교환 한 것으로서, 이에 따라 표면층과 배면층에 압축 응력층(壓軸應力軸)을 발생시키고 있다. 글라스의 인장강도는 압축강도에 비하여 훨씬 작으므로, 화학강화 유리에서는 미리 그 표층에 압축 응력층을 발생시켜 둠으로써 외력(外力)에 대하여 화학강화를 하지 않는 글라스 기판에 대하여 5배정도의 강도로 하고 있다.

한편 고분해능(高分解能)으로 입력조작위치를 검출하기 위해서, 입력조작영역(102a)에 다수의 투명 센서 전극(103x, 103y)을 배치할 필요가 있고, 각 투명 센서 전극(103x, 103y)에 접속하는 다수의 인출선(106)을, 입력조작영역(102a) 주위의 한정된 배선영역(102b)에 고밀도로 배선할 필요가 있었다. 그 때문에, 종래의 인쇄에 의한 배선에 한계가 있고, 인출선(106)을 형성하는 도전재료를 스퍼터링으로 화학강화 유리 기판(101)의 표면에 성막하고, 포토리소그래피법을 사용하여 불필요한 부분을 제거하는 패터닝에 의하여 각 인출선(106)을 형성하고 있다.

스퍼터링에 의한 화학강화 유리 기판(101)에 대한 성막에 있어서는, 인출선(106)의 도전재료인 클러스터(cluster)가 고속으로 글라스 기판(101)의 표면의 성막에 삽입됨으로써 막의 격자에 쓸데 없는 원자가 압입(壓入)되어, 글라스 기판과 도전재료의 열팽창 계수의 차이를 고려한다고 하더라도 표면을 따라 막을 팽창시키려고 하는 방향의 내부응력이 발생하고, 성막으로부터 화학강화 유리 기판(101)의 표면에 대하여 잡아당기는 응력이 작용한다. 그 결과, 화학강화 유리 기판(101)의 표층에 발생시킨 압축응력은, 그 표면에 도전재료를 성막하는 스퍼터링의 공정에서 상쇄되어, 화학강화 했는데도 불구하고 그 효과가 충분히 얻어지지 않아 외력에 대하여 파손되기 쉬운 구조가 되어버린다고 하는 문제가 발생한다.

본 발명은, 이러한 종래의 문제점을 고려하여 이루어진 것으로서, 화학강화 유리 기판의 배선영역에 스퍼터링과 포토리소그래피법을 사용하여 고밀도로 다수의 인출선을 배선하여도, 화학강화 유리 기판의 강도가 열화(劣化)되지 않는 투명 터치패널을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 청구항1의 투명 터치패널은, 평면측이 화학강화된 글라스 기판과, 글라스 기판의 상기 평면의 입력조작영역에 서로 절연하여 형성되는 복수의 투명 센서 전극과, 복수의 각 투명 센서 전극을 각각 외부 접속부로 인출하도록 글라스 기판의 상기 평면의 입력조작영역 주위에 배선되는 복수의 인출선을 구비하고, 외부 접속부를 통하여 각 투명 센서 전극으로부터 출력되는 전기신호로부터 입력조작영역에 대한 입력조작을 검출하는 투명 터치패널로서, 복수의 인출선이 배선되는 글라스 기판의 상기 평면의 배선영역에 합성수지로 이루어지는 절연층을 형성하고, 절연층상에 스퍼터링으로 성막시킨 도전성 박막을 포토리소그래피법을 사용하여 패터닝 하여 상기 복수의 인출선을 형성하는 것을 특징으로 한다.

절연층은 스퍼터링 이외의 방법으로 배선영역에 형성할 수 있고, 복수의 인출선은 절연층상에 스퍼터링 하여 성막시킨 도전성 박막으로 형성하기 때문에, 스퍼터링시에 도전성 박막에 발생하는 인장응력은 절연층의 표면에 작용하여 배선영역에서의 화학강화 유리 기판의 표면에 전달되지 않는다.

글라스 기판은 그 주위가 케이스 등에 고정되므로, 중앙 부근의 입력조작영역에서 외력을 받으면 고정단 근방의 배선영역에 큰 휨응력이 발생한다. 그러나 배선영역의 글라스 기판의 평면은, 스퍼터링에 의한 인장응력을 받지 않고, 화학강화된 상태에 있어서 외력을 받아도 글라스 기판이 파손되기 어렵다.

청구항2의 투명 터치패널은, 절연층을 입력조작영역의 주위를 차광하는 절연 차광층으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

입력조작영역 이외의 부분을 차광하는 절연 차광층을 절연층으로 하기 때문에 별도로 절연층을 형성하는 공정이 증가하지 않는다.

청구항3의 투명 터치패널은, 복수의 투명 센서 전극이, 입력조작영역에서 서로 직교하는 복수의 Ｘ측 투명 센서 전극과 복수의 Ｙ측 투명 센서 전극으로 이루어지고, Ｘ측 투명 센서 전극과 Ｙ측 투명 센서 전극의 각 교차부에서 Ｘ측 투명 센서 전극과 Ｙ측 투명 센서 전극간을 절연하는 절연 코팅과 배선영역의 절연층을, 절연 잉크를 사용하는 동일 인쇄공정으로 형성하는 것을 특징으로 한다.

교차부에서 Ｘ측 투명 센서 전극과 Ｙ측 투명 센서 전극간을 절연하는 절연 코팅의 인쇄공정으로 동시에 절연층을 형성할 수 있다.

청구항4의 투명 터치패널은, 투명 센서 전극이 산화 인듐으로 형성되고, 인출선이 몰리브덴을 포함하는 도전재료로 형성되는 것을 특징으로 한다.

딱딱한 금속인 몰리브덴을 스퍼터링으로 성막하여도, 인장응력이 글라스 기판의 표면에 작용하지 않는다.

청구항1의 발명에 의하면, 글라스 기판의 평면상의 배선영역에 배선되는 인출선을 스퍼터법을 사용하여 고밀도로 배선하여도, 화학강화된 글라스 기판의 강도가 열화되지 않는다.

청구항2의 발명에 의하면, 절연 차광층을 절연층으로 하기 때문에 절연 차광층의 형성공정에서 인출선과 글라스 기판간에 삽입되는 절연층을 형성할 수 있다.

청구항3의 발명에 의하면, Ｘ측 투명 센서 전극과 Ｙ측 투명 센서 전극간을 절연하는 절연 코팅의 인쇄공정에서 인출선과 글라스 기판간에 삽입되는 절연층을 형성할 수 있다.

청구항4의 발명에 의하면, 딱딱한 금속인 몰리브덴을 포함하는 도전재료로 인출선을 형성하여도, 글라스 기판의 강도가 열화되지 않는다. 투명 센서 전극을 구성하는 산화 인듐에 대하여 전기적 접촉 특성이 우수한 몰리브덴을 포함하는 도전재료로 인출선을 형성할 수 있다.

도1은, (a)는 본 발명의 제1실시형태에 관한 투명 터치패널(1)의 평면도, (b)는 (a)의 도면 중에서 AA선에 따른 단면도다.
도2는 절연 차광층(8)을 형성하는 제1공정을 나타내는 것으로서, (a)는 평면도, (b)는 AA선에 따른 위치에서 절단한 단면도다.
도3은 입력조작영역(2a)에 연결전극(6)을 형성하는 제2공정을 나타내는 것으로서, (a)는 평면도, (b)는 AA선에 따른 위치에서 절단한 단면도다.
도4는 연결전극(6)과 절연 차광층(8)을 절연 코팅(7)으로 덮는 제3공정을 나타내는 것으로서, (a)는 평면도, (b)는 AA선에 따른 위치에서 절단한 단면도다.
도5는 배선영역(2b)에 인출선(5)을 배선하는 제4공정을 나타내는 것으로서, (a)는 평면도, (b)는 도1(a)의 도면 중에서 AA선에 따른 위치에서 절단한 단면도다.
도6은, 입력조작영역(2a)에 투명 센서 전극(3, 4)을 형성하는 제5공정을 나타내는 것으로서 Ａ-A선에 따른 위치에서 절단한 단면도다.
도7은, 종래의 투명 터치 패널(100)의 평면도다.
도8은, 투명 터치 패널(100)의 종단면도다.

이하, 본 발명의 제1실시형태에 관한 투명 터치패널(1)을 도1내지 도6을 사용하여 설명한다. 이 투명 터치패널(1)은 휴대전화기 등의 전자기기의 입력장치로서, 도1(b)의 상방을 전자기기의 내측을 향하게 하여 케이스에 부착되고, 도면 중의 하방측을 케이스의 외측에 면하도록 입력조작하는 것이지만, 이하 동 도면에 나타나 있는 글라스 기판의 상면을 평면으로서 설명한다.

투명 터치패널(1)은, 기기의 내측에 배치되는 표시장치를 눈으로 보면서 입력조작을 가능하게 하기 위하여, 센서 전극을 형성하는 절연기판인 투명한 글라스 기판(2)을 사용하고 있다. 글라스 기판(2)은 케이스의 표면을 따라 배치되므로, 외력을 받아도 파손되지 않도록, 380도 정도의 질산칼륨 용융액에 침지시키고, 그 표리층의 나트륨 이온(Ｎａ+)을 대신하여 칼륨 이온(K+)을 삽입하는 화학강화를 한 것이다. 칼륨 이온(K+)의 이온 반경은 나트륨 이온(Ｎａ+)보다 크므로, 화학강화한 글라스 기판(2)의 표리층에는 압축응력이 발생하고 있다. 일반적으로, 글라스 기판(2)은, 압축강도에 비하여 인장강도가 훨씬 작고 표리면에 인장응력이 발생하여 파단되기 때문에, 미리 그 표리층에 압축응력을 발생시켜 둠으로써 화학강화전의 강도에 대하여 5배정도의 강도로 하고 있다.

글라스 기판(2)의 평면은, 도1에 나타나 있는 바와 같이 다수의 Ｘ측 투명 센서 전극(3, 3··)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4, 4, ··)이 직교하는 ＸＹ방향을 따라 매트릭스 형상으로 형성되는 입력조작영역(2a)과, 그 주위의 다수의 인출선(5, 5··)이 배선되는 배선영역(2b)으로 나눌 수 있다.

입력조작영역(2a)에 형성되는 복수의 각 Ｘ측 투명 센서 전극(3)은, Ｙ측 투명 센서 전극(4)과 교차하는 교차영역에서 분리되는 다이아몬드형의 Ｘ패턴 본체간이 가는 폭의 띠 모양의 연결전극(6)으로 전기적으로 접속되어, Y방향을 따르는 띠 모양으로 배선되어 있다. 또한 입력조작영역(2a)에 형성되는 복수의 각 Ｙ측 투명 센서 전극(4)은, X패턴 본체와 대략 동일한 다이아몬드형의 Ｙ패턴 본체가, Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 교차하는 교차영역에서 가는 폭이 된 연결패턴을 사이에 두고 X방향을 따라 연속하여 배선되어 있다. Ｙ측 투명 센서 전극(4)의 연결패턴은, 연결전극(6)상에 형성되는 절연 코팅(7)을 사이에 두고 연결전극(6)을 넘고, 이에 따라 각 교차영역에서 교차하는 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4)간은 서로 절연되어 배선된다.

Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4)은, 박막으로부터 패터닝 하여 글라스 기판(2)상에 형성가능한 임의의 투명도전재료로 형성할 수 있지만, 여기에서는 연결전극(6)과 함께 ＩＴＯ(Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ)로 형성하고 있다. 또한 절연 코팅(7)은 실리카(ＳｉＯ2) 등의 절연재료를 사용하고 있다.

입력조작영역(2a)의 주위의 배선영역(2b)에는, 차광성의 절연수지로 이루어지는 절연 차광층(8)이 영역 전체에 인쇄에 의하여 형성되어 있다. 절연 차광층(8)은 입력조작영역(2a)의 주위를 차광함으로써 조작자에게 입력조작영역(2a)을 눈에 띠게 함과 아울러, 그 내측의 표시화면 이외의 부분이 눈에 띠지 않도록 하는 것으로서, 차광성이라면 임의로 착색할 수 있지만, 여기에서는 흑색으로 하고 있다. 또한 본 발명에서는, 스퍼터링 공정을 거쳐서 배선영역(2b)에 형성되는 인출선(5)의 바탕으로서, 후술하는 바와 같이 글라스 기판(2)의 배선영역(2b)의 강도열화를 방지하도록 하는 것으로도 작용하고 있다.

본 실시형태에서는, 절연 차광층(8)을 광경화성(光硬化性)의 절연수지에 카본이나 크롬 등을 함유시킨 재료로 형성하고 있으므로, 절연 차광층(8)상에 복수의 인출선(5)을 배선하면 인출선(5) 사이의 충분한 절연성이 얻어지지 않아, 상기 교차영역에 절연 코팅(7)을 인쇄에 의하여 형성하는 동일한 공정으로 배선영역(2b)의 절연 차광층(8)상에도 절연 코팅(7)을 형성하고 있다.

배선영역(2a)의 절연 코팅(7)상에 배선되는 복수의 인출선(5)은, 각각 각 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 각 Ｙ측 투명 센서 전극(4)의 양측에 접속하고, 서로 절연되어 배선영역(2a)의 외부 접속부(9)까지 인출된다.

모든 인출선(5)은 외부 접속부(9)에 있어서 정렬하여 배선되고, 이방성 도전 접착제(異方性導電接着劑) 등을 통하여 플렉시블 배선기판의 대응하는 전극에 접속되고, 외부 접속부(9)를 통하여 각 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 각 Ｙ측 투명 센서 전극(4)의 양측이 입력조작영역(2a)에 대한 입력조작을 검출하는, 도면에 나타나 있지 않은 검출회로에 접속하고 있다.

따라서, 인출선(5)의 총 개수는 입력조작영역(2a)에 형성되는 센서 전극(3, 4)의 2배가 되고, 모든 인출선(5)을 한정된 배선영역(2a)에 서로 절연하여 배선할 필요가 있으므로, 스퍼터링으로 절연 코팅(7)상에 성막한 후에 포토리소그래피법으로 패터닝 하여 고밀도로 배선된다.

인출선(5)에는, 접속되는 투명 센서 전극(3, 4)을 구성하는 ＩＴＯ와 물리적, 화학적, 전기적 접촉 특성이 우수하고 또한 전기저항율이 낮은 이유에서 ＭＡＭ(Ｍｏ(몰리브덴)·Ａｌ(알루미늄)·Ｍｏ)을 적층시킨 3층구조의 복합재료를 사용하고 있다. 따라서 스퍼터링에 의한 성막의 공정은, Ｍｏ·Ａｌ·Ｍｏ의 3층으로 나누어서 박막이 형성되지만, 이 스퍼터링 공정에서는, 클러스터(스퍼터 재료)가 고속으로 피막(被膜)에 삽입됨으로써 막의 격자에 여분의 원자가 압입되어, 피막이 기재(基材) 표면을 따라 팽창한다. 그 결과, 기재는 표면을 따라 형성되는 피막으로부터 인장응력을 받는다.

특히 기재 표면에 직접 형성되는 Ｍｏ는 딱딱한 금속이므로, 스퍼터링에 의한 Ｍｏ의 성막공정에서는 기재 표면에 큰 인장응력이 발생한다. 여기에서 종래와 같이, 글라스 기판(2)의 평면상에 직접 인출선(5)을 형성하는 경우에는, 화학강화 되어 압축응력을 발생시킨 글라스 기판(2)의 평면이 인장응력을 받아서 압축응력이 상쇄되어 파손되기 쉬운 것이 된다. 한편 본 실시형태에서는, 절연합성수지로 형성된 절연 차광층(8)과 절연 코팅(7)을 사이에 두고 글라스 기판(2)의 평면상에 ＭＡＭ의 박막이 형성되므로, 스퍼터링 공정에서도 글라스 기판(2)의 평면은 인장응력을 받지 않아 화학강화된 강도가 유지된다.

투명 센서 전극(3, 4)과 인출선(5)이 형성된 글라스 기판(2)의 평면측 전체는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 투명한 절연수지로 이루어지는 톱코팅(top coating)(10)으로 덮여져 투명 센서 전극(3, 4)이나 인출선(5)이 보호된다.

이렇게 구성된 투명 터치패널(1)은, 입력조작영역(2a)에 도1(b)의 하방으로부터 손가락 등의 입력조작체가 접근하면, 글라스 기판(2)을 사이에 두고 입력조작체가 접근하는 투명 센서 전극(3, 4)의 정전용량이 증가하기 때문에, 정전용량이 변화되는 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4)을 각각에서 검출하고, 그 검출전극(3, 4)의 입력조작영역(2a)상의 설치위치로부터 입력조작위치를 ＸＹ방향에서 검출한다.

이하, 상기의 투명 터치패널(1)의 제조공정을 설명한다. 처음에, 화학강화된 글라스 기판(2)의 평면상의 배선영역(2b)의 전체에, 도2(a)에 나타나 있는 바와 같이 절연 차광층(8)을 인쇄에 의하여 형성한다. 이 절연 차광층(8)의 형성은, 스퍼터링에 의한 성막공정을 사용하지 않으므로 배선영역(2b)의 강도는 열화되지 않는다.

계속하여 절연 차광층(8)을 포함하는 글라스 기판(2)의 평면 전체에 스퍼터링에 의하여 ＩＴＯ의 박막을 성막한다. 이 스퍼터링 공정에 있어서, 글라스 기판(2)의 평면의 입력조작영역(2a)에 직접 ＩＴＯ의 박막이 성막되지만, ＩＴＯ는 ＭＡＭ을 구성하는 Ｍｏ에 비하여 부드러우므로 그 성막과정에서 큰 인장응력을 받지 않는다.

또한 글라스 기판(2)은, 그 주위가 케이스에 고정되어서 부착되고, 외측에 면하는 입력조작영역(2a)이 의도하지 않는 외력을 받으면 고정단에 가까운 배선영역(2b)에 더 커진 휨모멘트가 발생하기 때문에, 입력조작영역(2a)의 평면에는 글라스 기판(2)을 파단(破斷)시키는 것 같은 큰 인장응력은 작용하지 않는다. 따라서 입력조작영역(2a)에 스퍼터링으로 성막하여도, 글라스 기판(2) 전체의 강도는 손상되지 않는다.

글라스 기판(2)의 평면 전체에 성막된 ＩＴＯ의 박막은, 포토리소그래피법을 사용하여 각 교차영역의 연결전극(6)이 되는 부위를 남겨서 에칭에 의하여 제거되고, 도3(a), (b)에 나타나 있는 바와 같이 입력조작영역(2a)의 각 교차영역에 Y방향을 따라 가늘고 긴 연결전극(6)이 형성된다.

계속하여 도4(a), (b)에 나타나 있는 바와 같이 입력조작영역(2a)에서 각 연결전극(6)상을 교차하고, 배선영역(2b)에서는 절연 차광층(8)의 전체를 덮도록, ＳｉＯ2로 이루어지는 절연 코팅(7)이 인쇄에 의하여 형성된다.

그 후에 스퍼터 재료를 Ｍｏ, Ａｌ, Ｍｏ로 하는 스퍼터링을 반복하여, 도4(a), (b)에 나타나 있는 바와 같이 글라스 기판(2)의 평면 전체에 ＭＡＭ으로 이루어지는 3층구조의 박막을 형성하고, 도5(a), (b)에 나타나 있는 바와 같이 포토리소그래피법을 사용하여 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4)의 각 양측의 부위로부터 외부 접속부(9)까지의 인출선(5)의 패턴을 남기고 제거된다. 배선영역(2b)에 ＭＡＭ의 박막을 성막하는 스퍼터링 공정에서는, 절연 차광층(8)과 절연 코팅(7)을 사이에 두고 글라스 기판(2)의 평면상에 성막되므로, 글라스 기판(2)의 평면에 인장응력이 작용하지 않는다. 또한 같은 스퍼터링 공정에서 입력조작영역(2a)은 일시적으로 인장응력을 받지만, 입력조작영역(2a)상의 ＭＡＭ의 박막은 모두 제거되므로 마찬가지로 인장응력은 작용하지 않는다.

계속하여, 다시 글라스 기판(2)의 평면 전체에 스퍼터링에 의하여 ＩＴＯ의 박막을 성막하고, 도6에 나타나 있는 바와 같이 포토리소그래피법을 사용하여 Ｘ측 투명 센서 전극(3), Ｙ측 투명 센서 전극(4) 및 인출선(5)의 부위를 남기고 ＩＴＯ의 박막이 제거된다. 이 포토리소그래피법을 사용한 패터닝에 의하여 입력조작영역(2a)에 형성되는 다이아몬드형의 Ｘ패턴 본체간은 연결전극(6)에 의하여 전기적으로 접속되고, Y방향을 따라 띠 모양의 Ｘ측 투명 센서 전극(3)이 배선된다. 또한 Ｙ측 투명 센서 전극(4)은, 가는 폭의 연결패턴이 연결전극(6)을 넘어서 교차영역에 형성된 절연 코팅(7)상에 형성되고, 각 교차영역에서 교차하는 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 Ｙ측 투명 센서 전극(4)간이 서로 절연되어 배선된다. 각 Ｘ측 투명 센서 전극(3)과 각 Ｙ측 투명 센서 전극(4)을 형성하는 ＩＴＯ의 박막은, 그 양측에서 인출선(5)상에도 남겨짐으로써 인출선(5)에 전기적으로 접속한다.

상기의 공정에 있어서도, 스퍼터링에 의하여 ＩＴＯ를 글라스 기판(2)의 입력조작영역(2a)에 직접 성막하기 때문에 인장응력을 받지만, 연결전극(6)을 형성하기 위하여 스퍼터링으로 성막하는 공정과 동일한 이유에서 글라스 기판(2) 전체의 외력에 대한 강도는 손상되지 않는다.

계속하여 외부 접속부(9)에 플렉시블 배선기판을 접속한 후에, 글라스 기판(2)의 평면 전체를 롤코터(roll coater) 등을 사용하여 톱코팅(10)으로 덮어 투명 터치패널(1)이 제조된다.

상기의 실시형태에서는, Ｘ측 투명 센서 전극(3), Ｙ측 투명 센서 전극(4)이나 인출선(5)을 형성하는 평면과 글라스 기판(2)을 에워싸는 반대측에서 입력조작을 하는 투명 터치패널(1)을 설명하였지만, 톱코팅층을 형성한 상방으로부터 입력조작 하는 것이더라도 좋다.

또한 글라스 기판(2)의 배선영역(2b)에 절연층을 사이에 두고 인출선(5)이 형성되는 투명 터치패널이라면, 센서 전극(3, 4)의 형상이나 그 형성공정은 임의이고, 또한 정전용량방식에 한정되지 않아, 센서 전극을 단위 길이당의 저항값을 균일하게 한 저항피막으로 하는 저항방식으로 입력조작을 검출하는 투명 터치패널이더라도 좋다.

또한 배선영역(2b)의 글라스 기판(2)의 평면과 인출선(5)의 사이에 형성되는 절연층은, 스퍼터링으로 성막하는 것이 아니라면 상기의 절연 코팅(7)이나 절연 차광층(8)에 한정되지 않고 별도의 공정으로 형성하는 것이더라도 좋다.

글라스 기판의 입력조작영역의 주위에 고밀도로 인출선을 배선하는 투명 터치패널에 적합하다.

1 : 투명 터치패널
2 : 글라스 기판
2a 입력조작영역
2b : 배선영역
3 : Ｘ측 투명 센서 전극(투명 센서 전극)
4 : Ｙ측 투명 센서 전극(투명 센서 전극)
5 : 인출선
7 : 절연 코팅(절연층)
8 : 절연 차광층(절연층)
9 : 외부 접속부