专利汇可以提供對稱電漿處理腔室专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本發明提供一種對稱電漿處理腔室。本發明實施例提供允許極其對稱的電、熱和氣體傳導通過腔室的腔室設計。藉由提供這種對稱,形成在腔室內的電漿自然地在設置在腔室的處理區域中的 基板 的表面上具有改進的均勻性。此外,其他腔室的附加情況(諸如提供操縱上下電極之間以及在氣體入口和被處理的基板之間的間隙的能 力 )相較於習知的系統允許對電漿處理和均勻性更好的控制。,下面是對稱電漿處理腔室专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种用于无人机的自适应拉烟器及其控制方法 | 2020-05-08 | 661 |
集成化电动轮椅控制系统及电动轮椅开机自检方法和童锁方法 | 2020-05-08 | 687 |
一种软式包铝操纵系统的钢索装配方法 | 2020-05-08 | 235 |
启动力矩可调的扭转式飞机操纵人感机构及调整方法 | 2020-05-08 | 984 |
用于操作车辆传动系的方法和系统 | 2020-05-08 | 775 |
一种飞机操纵系统用不平衡力配平装置 | 2020-05-08 | 542 |
具有磁流变流体离合器装置的缆绳驱动系统 | 2020-05-08 | 670 |
电流开关设备 | 2020-05-08 | 941 |
核电厂数字化辅助控制盘系统,设计方法以及控制系统 | 2020-05-08 | 268 |
一种多编组胶轮智轨电车制造方法 | 2020-05-08 | 131 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。