首页 / 国际专利分类库 / 物理 / 测量 / 扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术[SPM]
序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
61 用离子束制造纳米针探针的方法与由其制造的纳米针探针 CN200580025743.3 2005-07-01 CN1993609B 2011-08-10 朴丙天; 郑基永; 宋元永; 洪在完; 吴范焕; 安商丁
发明涉及用离子束制造纳米针探针的方法与由其制造的纳米针探针。具体说,本发明涉及一种制造纳米针探针的方法,包括:定位所述探针,使得其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端面向辐照所述离子束的方向;通过向其上附着有所述纳米针的所述探针的尖端辐照所述离子束,与所述离子束辐照方向平行地排列附着于所述探针的所述尖端上的所述纳米针。
62 镜台控制装置、镜台控制方法、镜台控制程序和显微镜 CN201010594676.X 2010-12-17 CN102109673A 2011-06-29 山本隆司; 木岛公一朗; 成泽龙; 广野游; 铃木文泰
发明公开了镜台控制装置、镜台控制方法、镜台控制程序和显微镜。一种镜台控制装置,包括:获取部,用于获取作为拍摄对象的样本组的全部或一部分中的作为不同视点的一组像;距离计算部,用于计算在一组像中设置为基准的一个像的每个像素和其他像中的相关像素之间的距离;倾斜度计算部,用于利用通过距离计算装置所计算的距离来计算样本的倾斜角度;以及调整部,根据样本的倾斜角度调整放置样本的镜台表面的倾斜角度,从而使拍摄图像的视角中的倾斜最小。
63 探针检测系统 CN200980126337.4 2009-06-08 CN102084431A 2011-06-01 安德鲁·汉弗里斯
用于扫描探针显微镜的探针检测系统(74)包括高度检测系统(88)和偏转检测系统(28)。在扫描样品表面时,将从显微镜探针(16)反射的光分离为两个分量。通过偏转检测系统(28)分析第一分量(84),并且在保持平均探针偏转在扫描期间基本恒定的反馈系统中使用第一分量(84)。由高度检测系统(88)分析第二分量(86),由此获得对探针在固定参考点以上的高度的指示,并由此获得样品表面的图像。该双检测系统特别适合在快速扫描应用中使用,在这些应用中,反馈系统不能以调整像素位置之间的高度所需的速率进行响应。
64 纳米级原子级器件及其制造方法 CN200480023718.7 2004-08-20 CN1839093B 2011-02-09 弗兰克·J·鲁斯; 拉斯·奥伯百克; 米歇尔·伊冯·西蒙; K·E·詹森·果戈; 亚历山大·鲁道夫·汉密尔顿; 麦拉顿·米蒂克; 罗夫·勃伦纳; 尼尔·乔纳森·克鲁森; 托比·哈勒姆
发明涉及纳米级原子级器件的制造。该方法包括创建一或多个配准标记。利用SEM或光学显微镜来形成配准标记和扫描隧道显微镜(STM)针尖的图像。利用该图像来定位和重新定位STM针尖,以图案化器件结构。形成该器件的活性区域,然后封装器件,使得一或多个配准标记仍然可见,以允许修正表面电极的定位。该方法可以被用来形成大量器件结构,包括量子线、单电子晶体管、阵列或栅极区域。还可以使用该方法通过利用STM图案化后续层并在中间封装来生产3D器件。
65 能够用于单个分析物分子的检测装置和检测方法 CN200580024682.9 2005-08-18 CN1989402B 2010-12-15 伯特·赫克特; 菲利普·哈斯; 安德里亚·维尔德; 马丁·黑格纳; 米歇尔·卡拉梅
一种用于单个分析物分子检测的装置,包含:用于产生激励光的一个光源(20);设置在由所述光源产生的激励光的一个第一路径上的一个分色镜(22),其中该分色镜安排为用于把激励光引入到一个纤维对准器(30)之中;由所述纤维对准器耦连到所述光源的一个光换能器,该光换能器包括用具有第一介电指数的介电材料制造的一个光波导(40);设置为用于接收荧光反向辐射的一个光子检测器(70),其中当提供了具有低于该第一介电指数的一个第二介电指数的一种检验溶液并且所述检验溶液包含一个或者多个靶分子时,激励光由所述光波导传送并由置于该检验溶液中的一个光波导尖端发出从而激励一个或者多个靶分子;随后,所述光波导将反向辐射沿一个第二路径传送给该光子检测器,由其对所传输的荧光反向辐射进行检测。
66 机械连结的音叉-扫描探针振动系统 CN200910172188.7 2009-09-15 CN101893539A 2010-11-24 李升杰; 朴镜德; 金大粲
发明提供一种机械连结的音叉-扫描探针振动系统,该系统包括:由于施加到其上的交流电压而振动的音叉;连接到该音叉一侧并由于该音叉而振动的扫描探针;以及接触件,接触该扫描探针的侧表面并调节该接触件与该扫描探针相接触的接触点的位置,以改变该音叉和该扫描探针相互组合的组合体的固有频率。通过使用利用接触件的动态振动控制方法,该机械连结的音叉-扫描探针振动系统的固有频率更接近于音叉本身的固有频率,使得其能量损失可以最小,品质因数可以最大,可以主动地控制品质因数,不论待检测试样的环境如何,并且可以高分辨率地检测在空气中的试样和在高粘度液体介质中的试样。
67 作为用于生物芯片的分析工具的原子显微镜 CN200880103613.0 2008-06-16 CN101849021A 2010-09-29 朴准远; 洪凤振; 权圣弘
申请披露了一种用于检测在流体介质中目标配体存在的方法,所述方法包括步骤:(i)使流体介质与在其表面上包含树枝状分子阵列的固体底物接触,其中每个树枝状分子包括中心原子、可选地通过连接物连接到中心原子的探针、和连接到中心原子并具有多个连接到固体支持物表面末端的基部;和(ii)通过测量结合配体和连接到原子显微镜(‘AFM’)尖端的检测分子之间的结合力来确定探针-目标配体复合物的存在,该检测分子对配体具有亲和性,其中通过AFM测量的探针-目标配体复合物和检测分子之间的力增加表明存在探针-目标配体复合物。
68 具有电阻尖端的半导体探针的制造方法 CN200510092417.6 2005-08-18 CN1747071B 2010-09-01 朴弘植; 白庚录; 丁柱焕; 高亨守; 朴哲民; 洪承范
发明提供了一种具有电阻尖端的半导体探针的制造方法。所述方法包括:在掺杂了第一杂质的衬底上形成条形的掩模层,并通过用第二杂质重掺杂没有被该掩模层覆盖的衬底部分而形成第一和第二电极区;退火所述衬底从而减小第一和第二半导体电极区之间的间隙,并且在与半导体电极区邻接的部分形成轻掺杂了第二杂质的电阻区;形成与掩模层正交的条形的第一光致抗蚀剂,并且蚀刻掩模层使得掩模层具有正方形形状;在衬底上形成第二光致抗蚀剂从而覆盖第一光致抗蚀剂的一部分并限定悬臂区域;通过蚀刻而形成悬臂区域;以及去除光致抗蚀剂,并且通过蚀刻而形成具有半四棱锥形状的电阻尖端。
69 直写纳米蚀刻的方法 CN200610138990.0 2000-01-07 CN101003355B 2010-09-01 查德·A·米尔金; 理查德·皮纳; 升瀚·洪
一种直写纳米蚀刻方法,其包括提供一个固体基质;提供一个涂覆有墨的针尖;以及使墨水从针尖传送到基质上,从而在固体基质上得到一个稳定的纳米结构,其中传送步骤是通过毛细作用使墨水从针尖流到基质上,其中墨水对基质具有化学亲和性
70 具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法 CN200710186767.8 2007-11-16 CN101183566B 2010-06-02 高亨守; 丁柱焕; 洪承范; 朴哲民
发明提供一种具有电阻性尖端的半导体探针以及所述半导体探针的制造方法。所述半导体探针包括:电阻性尖端,其掺有第一杂质,且其顶部掺有低浓度的第二杂质,所述第二杂质与所述第一杂质极性相反,其中在所述电阻性尖端的斜面上形成掺有高浓度第二杂质的第一和第二半导体电极区;形成于所述电阻性尖端上的电介质层;电场屏蔽件,其形成于所述电介质层上,且连同所述电介质层一起在所述电阻性尖端的顶部上形成平面;以及具有末端的悬臂,所述电阻性尖端位于所述末端上。
71 用于扫描磁显微镜的探针及其制备方法和在纳米管上形成合金膜的方法 CN200510135302.0 2005-12-27 CN1801399B 2010-05-05 秋永广幸; 仙波靖之; 横山浩; 安武正敏; 仓持宏实
发明提供一种用于扫描磁显微镜的探针,它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度磁性储存介质;一种制备探针的方法,以及在纳米管上形成合金膜的方法。在本发明的内容中,用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管,该铁磁合金膜由Co-Fe和Co-Ni合金中的任何一种组成,其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法,和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法,从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0-2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。
72 半导体探头以及采用其写入和读取信息的方法 CN200610121326.5 2006-08-21 CN100593723C 2010-03-10 朴弘植; 丁柱焕; 高亨守; 洪承范
提供了一种半导体探头和一种利用所述半导体探头写入和读取信息的方法。所述半导体探头包括悬臂和形成于所述悬臂的一个末端部分上的尖端,从而在位于形成了电极的表面上的电媒质上写入信息或从其上读取信息。所述尖端包括轻度掺杂了半导体杂质的电阻性区域和重度掺杂了半导体杂质的导电区域。所述悬臂包括形成于面对所述媒质的底面上的静电生成电极。通过在形成于所述铁电媒质上的电极和所述静电力生成电极之间有选择地施加电压调整所述尖端和所述媒质之间的接触力。从而使尖端的磨损降至最低,并确保高记录密度下的写入/读取性能。
73 原子显微镜探针 CN200480023496.9 2004-07-15 CN100592088C 2010-02-24 安德鲁·大卫·拉维尔·哈姆菲里斯; 杰米·凯恩·霍博斯; 默文·琼·迈尔斯
用于原子显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时,它受到将探针推向样品的偏置力Fdirect。这改进样品表面的探针跟踪,并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24,50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。
74 一维纳米材料器件的制造方法 CN200510033943.5 2005-03-31 CN100572260C 2009-12-23 魏洋; 范守善
发明涉及一维纳米材料器件及其制造方法。该一维纳米材料器件的制造方法包括:提供一含有一维纳米材料的溶液;提供一种稳定剂,并将该稳定剂加入所述的含有一维纳米材料的溶液中;提供两个相对的导电体,并使其相对的两末端间隔一距离;对该两导电体施加一交流电压,并使该两末端共同浸入该溶液中,直到至少一根一维纳米材料组装至该两末端之间;将所得到的由一维纳米材料组装在一起的两导电体末端分离,以得到至少一个装有一维纳米材料的导电体末端。该方法耗时短、效率高且可控性强,避免现有技术中组装时间长且可控性差的问题。还提供有该制造方法制成的一维纳米材料器件,其分别可用作原子显微镜的探针以及微型传感器
75 用于扫描探针显微镜的探针组件 CN200780045194.5 2007-10-31 CN101601100A 2009-12-09 安德鲁·汉弗里斯; 大卫·卡托
发明公开了一种用于扫描探针显微镜中的探针组件。所述探针组件包括具有一组至少三个基本相同的探针的托架,每个探针具有位于该组探针末端所共有的平面上、并且可移动离开该平面的末端。所述组件还包括寻址装置,该寻址装置适于选择该组探针中的一个探针以用于相对于探针中的大多数其余探针的相对移动。这样的组件具有便于快速地、可能自动地替换使用过的探针的潜,适合用于高速扫描设备中。
76 用于研究活细胞的扫描离子电导显微术 CN200780035662.0 2007-08-01 CN101517393A 2009-08-26 Y·E·科奇夫; M·J·拉博; D·P·桑切斯-赫雷拉
一种使用扫描探针显微术来查验表面的方法,包括:使一个扫描探针接近于所述表面,控制所述探针相对于所述表面的位置以保持恒定的距离,其特征在于通过流经所述探针的受调节的液流将压施加到所述表面上,随后监测所述探针的位置,其中所述探针的运动表明所述表面的随之发生的运动情况。
77 在近场传输中工作的光学元件 CN200780021912.5 2007-06-08 CN101467021A 2009-06-24 S·米穆尼; L·普皮内
发明涉及一种在传输中工作的近场检测光学元件。其包括至少一个部分(11b),所述至少一个部分(11b)形成至少一个由在多个周期(p)上彼此接续的衍射微型结构(11a)构成的光栅(11),所述光栅(11)能够通过在经过所述形成由衍射微型结构(11a)构成的光栅(11)的部分(11b)传输期间的衍射效应将当物体(12)反射或发射具有一定波长辐射时在所述元件和位于近场中的物体(12)之间建立的渐逝波(16)转变为传播波(16′)。光栅(11)的周期(p)具有辐射波长的量级。该近场检测光学元件适用于近场检测装置中。
78 基于原子显微镜的精确定位方法 CN200810197696.6 2008-11-19 CN101413865A 2009-04-22 李立家; 马璐
发明公开了一种原子显微镜的精确定位的方法,该方法先通过相差光学显微镜找到待测样品,在相差光学显微镜下将具有网格的薄片放到待测样品上方,记录样品所在的区域,利用吸附力将薄片吸到样品的基底上,然后将吸附了薄片的基底用双面胶粘贴到原子力显微镜载物台上,用原子力显微镜扫描具有网格的薄片,逐级缩小扫描范围,将原子力显微镜的探针定位在待测样品对应格子的上方,最后用洗球将薄片轻轻吹开,即可下针进行准确的原子力显微镜的观察。本发明操作简单,无需制作任何外用器材,非常快捷地精确定位待扫描的样品。
79 微结构及测量其形变量的方法、扫描探针显微镜及其悬臂 CN200610091569.9 2006-06-09 CN100478666C 2009-04-15 太田尚城; 桑岛哲哉
微结构、悬臂、扫描探针显微镜以及用于测量微结构的形变量的方法。针对在其至少一部分处产生弹性形变的微结构,希望在希望的位置、以希望的形状和尺寸设置高效率并且高灵敏度的极小尺寸的多个传感器。此外,还要求便于对多个部件进行组装和调节,使检测电路小型化并简化,并测量微结构的细微部分的局部位移。所公开的微结构是悬臂(1),其梁部(14)产生弹性形变。该悬臂(1)设置有通过隧道效应检测梁部(14)的弹性形变的传感器(12)。
80 带扫描探针显微镜的测量系统的操作方法及测量系统 CN200680053581.9 2006-12-21 CN101395676A 2009-03-25 托尔斯滕·扬克; 米夏埃尔·哈格蒂
发明涉及操作包含扫描探针显微镜特别是原子显微镜的测量系统的方法,还涉及利用扫描探针显微镜检查测量样本和在光学上检查所述样本的测量系统。在所述方法中,在显示设备上显示待检查的测量样本的测量横截面的光学图像,通过光学记录装置来记录所述图像,所述光学图像的位置选择被检测,并且对于扫描探针测量,利用移动设备来移动为扫描探针测量而设置的测量探针到测量位置,移动设备将测量探针和测量样本相对于彼此移动,由于根据坐标变换来控制移动设备,测量位置根据坐标变换被指定到光学图像中选择的位置,其中,利用坐标变换形成光学图像的坐标系与被测量探针和测量样本的移动位置覆盖的空间的坐标系之间的先前确定的指定,其中移动位置包括测量位置。
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