首页 / 国际专利分类库 / 物理 / 测量 / 扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术[SPM]
序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
1 使用归一化近场光谱对样品的化学纳米识别 CN201480015582.9 2014-03-14 CN105556317B 2017-12-15 格里高利·安德烈夫; 谢尔盖·奥斯钦斯基; 斯蒂芬·明尼; 苏婵敏
一种对样品进行纳米识别的装置和方法,包括:借助于倏逝波来测量在样品与在样品上方的某纳米距离处振荡的光学纳米天线之间的近场相互作用的光谱,并且鉴别对这样的近场相互作用不敏感的背景背散射的辐射。鉴别可以通过在不知道隔开纳米天线与样品的距离的情况下于纳米天线振荡的周期性重复的时刻进行的光学数据采集来实现。测量包括对纳米尺度的样品进行的化学识别,在该测量期间,代表着所述相互作用的与近场辐射对应的相位的绝对值被直接测得,没有偏移。装置和测量的校准通过在样品测量之前执行对具有已知的折射率的参考样品的参考测量来提供。纳米识别以50nm以内的分辨率来实现,并且可选地,被实现于光谱的中红外部分内。
2 一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法 CN201610143693.9 2016-03-14 CN107192857A 2017-09-22 刘连庆; 施佳林; 于鹏; 李广勇
发明涉及一种基于超声AFM的纳米薄膜厚度检测装置及其方法,包括AFM系统:用于控制探针和纳米薄膜在纳米尺度下的三维相对移动;超声辅助系统:用于对纳米薄膜施加超声振动;相位检测系统:用于实现基于探针振动相位检测的纳米薄膜与基底的交界面及纳米薄膜厚度检测。检测方法:放大器检测加工过程中探针的超声振动与超声驱动信号相位差,再通过AFM成像获得加工深度信息,从而根据相位差与加工深度的空间对应关系得到深度-相位差曲线,根据该曲线出现的拐点可以检测出纳出米薄膜与基底的交界面和薄膜厚度。本发明可以检测出材料机械特性的变化,进而能够检测出纳米薄膜与其基底交界面,从而确定薄膜厚度。
3 一种基于AFM探针结构参数的横向标定方法 CN201710495829.7 2017-06-26 CN107192856A 2017-09-22 郑学军; 冯东东; 彭金峰; 严鑫洋; 张欢
发明公开了一种基于AFM探针结构参数的横向标定方法,包括下述步骤:在标准实验室环境条件下,测量待测探针法向弹性系数kn和法向灵敏度Sn;测量探针悬臂梁长度l,悬臂梁厚度t及针尖高度h;将kn、Sn、l、t、h的数据代入横向力标定系数α计算公式,即可估算探针的横向力标定系数。本发明的优点在于:(a)本方法不需要使用辅助光栅及任何衬底,可有效降低成本;(b)本方法基于待测探针的结构参数,着重考虑探针本身属性,避免了外部因素对标定的影响;(c)本方法计算简便、各参数能够简单快速获得,可广泛适用于矩形微悬臂梁的AFM探针的横向力标定。
4 原子显微镜卧式材料拉伸压缩试验机对夹型压缩夹具 CN201710245626.2 2017-04-14 CN107192608A 2017-09-22 钟建
发明提供一种原子显微镜卧式材料拉伸压缩试验机对夹型压缩夹具,包括左夹具和右夹具,左、右夹具均由基架、固定圆圈、夹具盖板、螺栓组成。基架由卧式材料拉伸压缩试验机连接机构、卧式材料拉伸压缩试验机固定机构、夹具延长机构、原子力显微镜样品空间延长机构、夹具底座、样品挡板组成。由夹具底座、样品挡板、夹具盖板一起通过对夹来固定样品一侧。所述装置可以由均属材料或者其它硬物质材料制成。本发明制作简单,解决了卧式材料拉伸压缩试验机结构和原子力显微镜样品空间限制而对夹具的特殊需求,从而可以用于原子力显微镜配套用卧式材料拉伸压缩试验机中对材料进行压缩的需求。
5 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法 CN201710344657.3 2017-05-16 CN107102174A 2017-08-29 高思田; 徐靖涛; 黄鹭; 施玉书; 李琪
一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法,通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖;阻止已形成的针尖继续被腐蚀;使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓;其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板电解槽定位装置,在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置,两个支撑立柱的上部固定有安装基板,在安装基板上装有金属丝定位装置;还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移;对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。
6 磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针、其制备方法与探测方法 CN201710391075.0 2017-05-27 CN107064565A 2017-08-18 陈斌; 王保敏; 杨华礼; 魏加峰; 郭姗姗; 李润伟
发明提供了一种磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针,包括探针臂,以及与探针臂相连的针尖本体,自探针臂与针尖本体表面向外,依次覆盖热电偶层、导热绝缘层以及磁性导电层;热电偶层与外部电路构成热电回路;磁性导电层与样品、外部电路构成导电回路。该探针结构简单、制备难度低,能够原位微区探测磁电功能材料的磁信号电信号和热信号,并且能够有效避免热电回路与电回路之间的信号干扰。
7 适用于原子显微镜观测沥青试样的精控热成型制备方法 CN201611066291.X 2016-11-28 CN107037239A 2017-08-11 王岚; 任敏达; 王萧萧; 常春清
发明公开了适用于原子显微镜观测沥青试样的精控热成型制备方法。是将固态沥青在烘箱中加热至熔融态;将载玻片在加热板上预热;将熔融态沥青试样滴在预热的载玻片上均匀摊开成圆形并用透明耐热塑料盖密封,待沥青试样形成光滑、均匀的表面后;将载玻片移至冷台冷却至室温,放置于原子力显微镜上进行观测。本发明不仅能精确控制制件时的温度,避免了由于控温不足引起的快速热老化,而且在试样从加热到冷却的全过程中均可控制沥青试样免受灰尘、杂质的污染;相比使用其他器皿的制备方法,本发明在保证成型质量的情况下,最大程度的方便了原子力显微镜的观测;同时实现了批量制备,极大的提高了试验效率。
8 软化点测定装置及热传导测定装置 CN201410217170.5 2010-08-12 CN104048988B 2017-06-13 安藤和德; 岩佐真行; 繁野雅次; 百田洋海; 渡边和俊
提供一种软化点测定装置及热传导测定装置,以在使用具有发热部的悬臂来对样品局部加热以测定样品的软化点或热传导时,通过仅在探针与样品的接触部进行热交换,不给测定点的周边部带来热影响,而可以进行仅在接触部的软化点测定及热传导测定。在以探测显微镜基础的局部的软化点测定装置及热传导测定装置中,通过使探针和样品面的环境为1/100气压(103Pa)以下、或者将探针侧面由绝热材料涂敷至热逃逸为1/100以下的厚度,降低来自探针侧面的热逃逸,仅在大约探针与样品面的接触部进行热交换。
9 一种双重包覆壳层隔绝针尖的制备方法 CN201610896305.4 2016-10-14 CN106645809A 2017-05-10 李剑锋; 黄亚萍; 黄声超
一种双重包覆壳层隔绝针尖的制备方法,涉及一种扫描探针。包括以下步骤:1)使用电化学刻蚀的方法制备针尖;2)在针尖表面包覆一层壳层;3)将步骤2)包覆壳层的针尖尖端以外部分用高聚物进行二次包封,得双重包覆壳层隔绝针尖。采用原子层沉积技术,使用不同的源前驱体,可在针尖表面包覆不同的惰性壳层。控制不同的源前驱体的循环圈数可精确控制壳层厚度。双重包覆可避免溶液中非分析物分子吸附在针尖上产生干扰的信号,也可隔绝法拉第电流的干扰,可应用到电化学针尖增强拉曼光谱、电化学扫描隧道显微镜和扫描电化学显微镜中。普适性好,适用于其它针尖的包覆,如针尖、AFM针尖、铂铱针尖。制备方法简单,适于大批量生产。
10 一种利用原子显微镜制备具有胶原蛋白纳米纤维阵列膜层比色皿的方法 CN201611128104.6 2016-12-09 CN106645804A 2017-05-10 杨德良; 曾凡喜; 孙铭
发明公开了一种利用原子显微镜制备具有胶原蛋白纳米纤维阵列膜层比色皿的方法。所述方法将40~50μg/mL的胶原蛋白单体溶液在母晶面上形成胶原蛋白膜层,在原子力显微镜接触模式下,利用探针对溶液中的胶原蛋白膜层施加10‑8~10‑6N的力,将膜层加工成具有特定取向的蛋白纳米纤维阵列。本发明的具有胶原蛋白纳米纤维阵列膜层比色皿具有良好的亲性能,表面的胶原蛋白具有优异的生物相容性,可以用于细胞培养。本发明可应用于生产细胞培养器皿,制备高特异性的生物探针以及合成新型微纳材料领域。
11 通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜 CN201510734666.4 2015-10-30 CN106645802A 2017-05-10 陆轻釉
发明公开了一种通过杠杆扫描的高精度压电扫描器及其扫描探针显微镜,包括X形变压电体、扫描杆、第一钳位片、第二钳位片,所述第一钳位片固定于X形变压电体形变的一端,X形变压电体形变的另一端为其自由端,第二钳位片固定于该自由端并钳住扫描杆的一端,扫描杆的另一端为其扫描端,扫描杆垂直于X形变压电体的形变方向,第一钳位片钳住扫描杆的中部,X形变压电体的X形变带动扫描杆围绕第一钳位片钳住扫描杆的地方做杠杆转动,也即带动扫描杆的扫描端做X方向扫描。若X形变压电体换成XY形变压电体可得两维杠杆扫描情形。通过调节支点位置,可使压电扫描器自由端的不稳定性通过扫描杆的杠杆减弱作用,从而实现高精度、高稳定扫描。
12 嵌套压电管驱动多维可脱离压电达及扫描探针显微镜 CN201510679818.5 2015-10-16 CN106597025A 2017-04-26 陆轻铀
发明公开了一种嵌套压电管驱动多维可脱离压电达及扫描探针显微镜,特征是第一支撑环固定于筒形框架内壁,筒形框架上端与第一环形滑片间的弹簧将第一环形滑片压于第一支撑环上,第一套管与第一环形滑片共轴固定,第一滑杆套于第一套管内并通过簧片与之相压;X压电管套于筒形框架内并与之下端固定,第二支撑环固定于X压电管自由端,弹簧将第二环形滑片与第二支撑环相压,第二环形滑片将第一套管或第一环形滑片套入其内;第二套管固定于Z压电管自由端,第二滑杆套于第二套管内并通过簧片与之相压,构成Z马达,Z马达安装于第一套管与第一滑杆之间以驱动第一滑杆在第一套管中步进。本发明既能实现多维步进,又能实现多维脱离。
13 集成有运动传感器纳米探针N/MEMS装置、方法和应用 CN201280068948.X 2012-12-17 CN104105655B 2017-03-01 A·拉尔; K·阿姆庞萨
申请公开了一种多尖端纳米探针装置,和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法,其均使用位于衬底上的:(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端;(2)相对于衬底的可移动的探针尖端;以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性,这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。
14 一种扫描电子显微镜原位检测装置及扫描电子显微镜系统 CN201610985643.5 2016-11-09 CN106443078A 2017-02-22 邓飞
发明公开了一种扫描电子显微镜原位检测装置及扫描电子显微镜系统,包括:底座;Y轴移动平台,Y轴移动平台设置在底座上;X轴移动平台,X轴移动平台设置在Y轴移动平台上,并在Y轴移动平台上移动;样品放置区,样品放置区设置在X 轴移动平台的顶端;Z轴移动平台,Z轴移动平台设置在底座上,并相对于底座作上升或下降运动;悬臂,悬臂设置在Z轴移动平台的顶端的近样品放置区端;X轴移动平台、Y轴移动平台及Z轴移动平台中均设置有压电素子控制部件;压电素子控制部件中包括伸长量与电场强度平方成正比的压电陶瓷。本发明实现了对材料的由纳米尺度到厘米尺度的动态原位观测,又可以同时对其物理性能进行测试。
15 一种适用于原子显微镜测试的沥青试样制备装置及方法 CN201610832794.7 2016-09-20 CN106443076A 2017-02-22 李波; 刘祥; 李海莲; 王永宁
发明涉及一种适用于原子显微镜测试的沥青试样制备装置,该装置包括设有盖帽的制样罐、置于下承底板上的制样底板;所述下承底板上夹持有放样夹,且该下承底板置于所述制样罐中。本发明还公开了该装置的应用方法。本发明操作简单、成本低,可以提供一种标准、统一的适用于原子力显微镜测试的沥青试样制备方法,便于不同试样之间的横向比较。
16 扫描离子电导显微术 CN201580022722.X 2015-03-10 CN106255890A 2016-12-21 安德鲁·詹姆斯·理查森
一种用于使用SICM而检查浸在电解质溶液中的样本的表面的方法,包括:控制浸在电解质溶液中的第一电极与第二电极之间的电位以在电解质溶液中诱发离子电流,第一电极的浸没部分包含在微量移液管中,并且第二电极处于微量移液管外部;在控制微量移液管相对于支撑样本的平台移动的同时记录离子电流;以及从离子电流和校准数据确定样本的表面高度轮廓。所述电位可以根据扩频调制信号来控制。所述微量移液管移动可以是根据AC模式式样,其中AC模式式样具有大于微量移液管、第一电极以及被配置成控制所述微量移液管的z轴移动的第一压电致动器的组装件的谐振频率的调制频率。
17 一种扫描隧道显微镜的扫描结构 CN201610590786.6 2016-07-26 CN106124805A 2016-11-16 张磊
发明公开了一种扫描隧道显微镜的扫描结构,包括基座、沿平方向可拆卸地安装在所述基座上的探针安装台,所述扫描结构还包括若干电极组,每个所述电极组均包括沿竖直方向插设在所述探针安装台上的电极、安装在所述基座上且位于所述探针安装台下方的弹性件,所述弹性件抵压在所述电极上,所述弹性件具有导电性能且与所述基座相绝缘设置。本发明的扫描机构,通过设置具有导电性能的弹性件,不仅简单、有效地将探针安装台进行了固定,确保了在检测过程中,探针不会发生位移,提高了检测数据的精确性,同时还与电极相导通,为探针提供了更多的实验条件。
18 一种Pt‑Ir针尖腐蚀装置及其工作方法 CN201610597536.5 2016-07-27 CN106093473A 2016-11-09 臧侃; 侯宾宾; 徐宁; 杨云; 洪宇; 郭方准; 董华军; 谷强
发明公开了一种Pt‑Ir针尖腐蚀装置及其工作方法,包括机械组件、工作电路和自动电路控制系统;所述的自动电路控制系统包括交流信号发生模、交流电压信号采集及放大模块、交流电压信号有效值提取及显示电路、交流电流信号采集模块、交流电流信号绝对值处理电路、交直流转换及显示电路、阈值设定模块、采样信号比较电路模块、信号处理电源模块和功率开关单元。本发明在自动电路控制系统加载了交流电流信号绝对值处理电路,将交流电流信号转化为可以直接观测的直流电压信号,采样信号比较电路模块将其与预设值进行比较,确定功率开关单元的动作。按照本发明的方法制作Pt‑Ir针尖的过程中,从未在烧杯底部发现过断裂的Pt‑Ir金属丝。
19 写入头、磁性存储装置及在磁性存储装置记录数据的方法 CN201280068868.4 2012-12-04 CN104094349B 2016-08-24 法兰克·辛克莱; 艾立克斯恩德·C·刚特司; 拉杰许·都蕾
磁性存储装置的写入头包含写入尖端,写入尖端包括磁性材料;写入脉冲发生器,写入脉冲发生器经配置以产生包括在磁性存储装置与写入尖端之间的变化的偏压的写入脉冲信号。写入脉冲信号包括一个或多个写入脉冲,写入脉冲有效地使电子从写入尖端隧穿到磁性存储装置中。数据流发生器经配置以向写入尖端提供数据流信号,其中数据流信号可操作以将电子中的自旋极性从第一极性改变成第二极性。
20 悬臂的弹簧常数确定方法及采用该方法的扫描型探针显微镜 CN201210326780.X 2012-09-06 CN102981022B 2016-08-03 渡边将史; 百田洋海
发明涉及悬臂的弹簧常数确定方法及采用该方法的扫描型探针显微镜。由于扫描型探针显微镜等使用的加工中的各向异性蚀刻而剖面形状为梯形形状的悬臂中,不用直接测量厚度而确定悬臂的弹簧常数。从剖面的梯形的上底和下底的长度及由于各向异性蚀刻而出现的面的几何学规则性确定悬臂的厚度,由这些和悬臂的长度及杨氏模量确定悬臂的弹簧常数。
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