41 |
Vacuum pump with lubricant metering groove |
US42313073 |
1973-12-10 |
US3838950A |
1974-10-01 |
ANDRIULIS V |
A vacuum pump having an improved lubricating and sealing system providing for metered oil flow from an end plate to the center plate with a return provided along the shaft supporting the pump rotor. A novel inlet plate is provided to guard against entry of contaminants into the lubricating and sealing system.
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42 |
Vacuum pump designed as displacement pump |
US3644702D |
1970-03-27 |
US3644702A |
1972-02-22 |
KOHLER MARCEL |
In a vacuum pump designed as a displacement pump for drawing off vapor-containing gases and having a discharge point communicating with a storage vessel having an outlet aperture for the pumped gases and containing a supply of sealing fluid covering a discharge valve, heating means are provided to heat at least that portion of the wall of the storage vessel located above the level of the sealing fluid therein. The heating means may include a double jacket heated by a through-flowing heating medium, or may be an electric heating jacket surrounding the upper portion of the storage vessel. A line may be provided to return sealing fluid from the storage vessel into the pump, this line being in heat-conducting relation with that portion of the vessel wall located above the fluid level.
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43 |
Vacuum pump |
US3525578D |
1968-11-29 |
US3525578A |
1970-08-25 |
BLANC JOSEPH A LE JR |
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44 |
Mechanical vacuum pump |
US38429864 |
1964-07-22 |
US3237851A |
1966-03-01 |
BLANC JR JOSEPH ALEXANDER LE |
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45 |
Gas ballast pumps |
US81411559 |
1959-05-18 |
US3116872A |
1964-01-07 |
BAPTIST BUECHEL; RENE HAEFER; GILBERT ZINSMEISTER |
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46 |
Vacuum pump with gas ballast device |
US81519459 |
1959-05-22 |
US3042292A |
1962-07-03 |
ALBERT LORENZ |
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47 |
ダイヤフラム真空ポンプ |
JP2014127871 |
2014-06-23 |
JP2015014285A |
2015-01-22 |
BURGGRAF THORSTEN; JUERGEN WISSNER |
【課題】従来技術における欠点を克服し、特に凝縮物形成をいつでも完全かつ確実に防止し、これにより真空ポンプのポンプ特性を悪化させることはない、ダイヤフラム真空ポンプを提供する。【解決手段】少なくとも1つのダイヤフラムポンプ段と、このダイヤフラムポンプ段に付設された移送すべきプロセスガスのための少なくとも1つの入口弁と、バラストガスを供給するための少なくとも1つのガスバラスト弁とを有し、ガスバラスト弁を通るバラストガスのための流路が、プロセスガスの流れ方向で入口弁の後でプロセスガスのための流路に接続している、ダイヤフラム真空ポンプ。【選択図】図1 |
48 |
Gas ballast device of the multi-stage positive displacement pump |
JP17117299 |
1999-06-17 |
JP4159183B2 |
2008-10-01 |
カルル−ハインツ・ベルンハルト |
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49 |
Dry compression vacuum pump with gas ballast |
JP2001547466 |
2000-08-23 |
JP2003518228A |
2003-06-03 |
ドライフェルト トーマス; シェーンボルン フランク; ヘルツェマー ミヒャエル; マイアー ユルゲン; アルント ルッツ |
(57)【要約】 乾式圧縮型真空ポンプであって、連続的または段階的な内部圧縮装置と、遮断弁(11)を備えたガスバラスト(8)とが設けられており、ガスバラスト(8)は追加的に逆止弁(12)を備えており、この逆止弁(12)はガスバラスト(8)を通る、ポンプ(1)から外側に向かうガスの流出を防止している。 |
50 |
Vacuum pump with oil separator |
JP50674294 |
1994-08-11 |
JPH09503566A |
1997-04-08 |
アルント,ルッツ; カイザー,ヴィンフリート; ミュラー,ペーター |
(57)【要約】 本発明は、ポンプ出口(33)の後方に配置された油分離器(42)及び導管(45,46)を有し、該導管を介して、油分離器(42)内で分離された油が真空ポンプ(1)内へ戻される真空ポンプ(1)に関しており、簡単な油戻し手段の要旨は、油の戻しに役立つ導管(45,46)が、ポンプ(1)内へのガスバラストの供給に役立つ導管(47)内に開口していることにある。 |
51 |
Cryopump regenerating method |
JP10174592 |
1992-03-27 |
JPH05272452A |
1993-10-19 |
Shigeji Matsumoto; Akira Odagiri; 耀 小田切; 繁治 松本 |
PURPOSE: To prevent the explosion of exhaust gas simply and positively by feeding inert gas for dilution onto the exhaust side of a mechanical pump in the case of regenerating a cryopump while exhausting by the mechanical pump after the interruption of regeneration or operation of the cryopump.
CONSTITUTION: After using a cryopump 21 for a specified period, the main valve 13 of a vacuum drum 11 is closed, and a rotary pump 31 is connected to the cryopump 21 through a control valve 25 to perform the regeneration of the cryopump 21. At the time of normal regeneration, the cryopump 21 is heated, controlled by the control valve 25 while detecting the pressure of the cryopump 21 by a Pirani gage 23 and exhausted by the rotary pump 31. At the time of resuming regeneration after the interruption of regeneration due to power failure or the like, an air valve 43 is closed, whereas lead-in valves 53, 55 are opened. N
2 gas in a bomb 51 is thereby led to an exhaust valve 39 in an exhaust valve chamber 37 and also to a gas ballast valve 35.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio |
52 |
JPS5546519B2 - |
JP4764373 |
1973-05-01 |
JPS5546519B2 |
1980-11-25 |
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53 |
Eccentric pump |
JP2010203362 |
2010-09-10 |
JP2010270765A |
2010-12-02 |
DREIFERT THOMAS |
PROBLEM TO BE SOLVED: To use a pump as a dry vacuum pump.
SOLUTION: This pump 1 is formed as the dry vacuum pump, and a pushing-away body 18 is designed to move in an orbital motion in a cylinder 2 without contact.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT |
54 |
Vacuum pump |
JP53809098 |
1998-01-20 |
JP4067572B2 |
2008-03-26 |
ギープマンス ヴォルフガング; ヨーゼフ ブルクハルト ハンス; バーネン ルドルフ |
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55 |
Oilfree scroll type vacuum pump |
JP2006188662 |
2006-07-07 |
JP2006283769A |
2006-10-19 |
SUZUKI TERUO; OGURA MITSUO; NAKAMORI KAZUAKI; HARUKI SHINICHI; NEMOTO KENICHI; NOZAKI YASUSHI |
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly convenient oilfree scroll type vacuum pump having a long service life and reducing electric power consumption.
SOLUTION: This oilfree scroll type vacuum pump is provided with a first spiral scroll wrap erected from an end plate of a turning scroll; a second spiral scroll wrap erected from an end plate of a fixed scroll; chip seal grooves provided at tips of the first and second spiral scroll wraps; and chip seals arranged in the chip seal grooves. By revolving the turning scroll with respect to the fixed scroll, gas between the turning scroll and the fixed scroll is sequentially compressed from the outer peripheral side to the inner peripheral side. A flow rate adjusting mechanism is provided in a gas ballast mechanism.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT |
56 |
Method for operating an eccentric pump and the pump |
JP2003578750 |
2003-02-18 |
JP2005520988A |
2005-07-14 |
ドライフェルト トーマス |
本発明は、ポンプ(1)であって、入口(28)と出口(29)とを備えたハウジング(2)と、駆動装置(5)と、中心軸線(9)に対して同心的な定置のシリンダ(2)と、該シリンダ(2)内で偏心的に軌道運動する押退け体(18)と、該押退け体(18)のためのクランク駆動装置(13)と、シリンダ(2)と押退け体(18)との間に設けられた全周にわたって延びる三日月形の圧送室(26)と、該圧送室(26)に設けられた螺旋状のシールエレメント(27,27′,27′′,39)とが設けられている形式のものに関する。 本発明によれば、当該ポンプ(1)が、ドライ真空ポンプとして形成されており、押退け体(18)が、接触なしにシリンダ(2)内で軌道運動するようになっている。 |
57 |
Improvement of the vacuum pump |
JP28521093 |
1993-11-15 |
JP3600259B2 |
2004-12-15 |
アーネスト キネアード ホルブルック アレン |
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58 |
Oil-free scroll vacuum pump |
JP20760195 |
1995-07-21 |
JP3388657B2 |
2003-03-24 |
千陽 中村; 勝 土屋; 修二 芳賀 |
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59 |
Helium leak detectors |
JP15965995 |
1995-06-26 |
JP3358394B2 |
2002-12-16 |
英樹 岡本 |
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60 |
JPS5026769B1 - |
JP9509869 |
1969-11-28 |
JPS5026769B1 |
1975-09-03 |
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