序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
41 Vacuum pump with lubricant metering groove US42313073 1973-12-10 US3838950A 1974-10-01 ANDRIULIS V
A vacuum pump having an improved lubricating and sealing system providing for metered oil flow from an end plate to the center plate with a return provided along the shaft supporting the pump rotor. A novel inlet plate is provided to guard against entry of contaminants into the lubricating and sealing system.
42 Vacuum pump designed as displacement pump US3644702D 1970-03-27 US3644702A 1972-02-22 KOHLER MARCEL
In a vacuum pump designed as a displacement pump for drawing off vapor-containing gases and having a discharge point communicating with a storage vessel having an outlet aperture for the pumped gases and containing a supply of sealing fluid covering a discharge valve, heating means are provided to heat at least that portion of the wall of the storage vessel located above the level of the sealing fluid therein. The heating means may include a double jacket heated by a through-flowing heating medium, or may be an electric heating jacket surrounding the upper portion of the storage vessel. A line may be provided to return sealing fluid from the storage vessel into the pump, this line being in heat-conducting relation with that portion of the vessel wall located above the fluid level.
43 Vacuum pump US3525578D 1968-11-29 US3525578A 1970-08-25 BLANC JOSEPH A LE JR
44 Mechanical vacuum pump US38429864 1964-07-22 US3237851A 1966-03-01 BLANC JR JOSEPH ALEXANDER LE
45 Gas ballast pumps US81411559 1959-05-18 US3116872A 1964-01-07 BAPTIST BUECHEL; RENE HAEFER; GILBERT ZINSMEISTER
46 Vacuum pump with gas ballast device US81519459 1959-05-22 US3042292A 1962-07-03 ALBERT LORENZ
47 ダイヤフラム真空ポンプ JP2014127871 2014-06-23 JP2015014285A 2015-01-22 BURGGRAF THORSTEN; JUERGEN WISSNER
【課題】従来技術における欠点を克服し、特に凝縮物形成をいつでも完全かつ確実に防止し、これにより真空ポンプのポンプ特性を悪化させることはない、ダイヤフラム真空ポンプを提供する。【解決手段】少なくとも1つのダイヤフラムポンプ段と、このダイヤフラムポンプ段に付設された移送すべきプロセスガスのための少なくとも1つの入口弁と、バラストガスを供給するための少なくとも1つのガスバラスト弁とを有し、ガスバラスト弁を通るバラストガスのための流路が、プロセスガスの流れ方向で入口弁の後でプロセスガスのための流路に接続している、ダイヤフラム真空ポンプ。【選択図】図1
48 Gas ballast device of the multi-stage positive displacement pump JP17117299 1999-06-17 JP4159183B2 2008-10-01 カルル−ハインツ・ベルンハルト
49 Dry compression vacuum pump with gas ballast JP2001547466 2000-08-23 JP2003518228A 2003-06-03 ドライフェルト トーマス; シェーンボルン フランク; ヘルツェマー ミヒャエル; マイアー ユルゲン; アルント ルッツ
(57)【要約】 乾式圧縮型真空ポンプであって、連続的または段階的な内部圧縮装置と、遮断弁(11)を備えたガスバラスト(8)とが設けられており、ガスバラスト(8)は追加的に逆止弁(12)を備えており、この逆止弁(12)はガスバラスト(8)を通る、ポンプ(1)から外側に向かうガスの流出を防止している。
50 Vacuum pump with oil separator JP50674294 1994-08-11 JPH09503566A 1997-04-08 アルント,ルッツ; カイザー,ヴィンフリート; ミュラー,ペーター
(57)【要約】 本発明は、ポンプ出口(33)の後方に配置された油分離器(42)及び導管(45,46)を有し、該導管を介して、油分離器(42)内で分離された油が真空ポンプ(1)内へ戻される真空ポンプ(1)に関しており、簡単な油戻し手段の要旨は、油の戻しに役立つ導管(45,46)が、ポンプ(1)内へのガスバラストの供給に役立つ導管(47)内に開口していることにある。
51 Cryopump regenerating method JP10174592 1992-03-27 JPH05272452A 1993-10-19 Shigeji Matsumoto; Akira Odagiri; 耀 小田切; 繁治 松本
PURPOSE: To prevent the explosion of exhaust gas simply and positively by feeding inert gas for dilution onto the exhaust side of a mechanical pump in the case of regenerating a cryopump while exhausting by the mechanical pump after the interruption of regeneration or operation of the cryopump. CONSTITUTION: After using a cryopump 21 for a specified period, the main valve 13 of a vacuum drum 11 is closed, and a rotary pump 31 is connected to the cryopump 21 through a control valve 25 to perform the regeneration of the cryopump 21. At the time of normal regeneration, the cryopump 21 is heated, controlled by the control valve 25 while detecting the pressure of the cryopump 21 by a Pirani gage 23 and exhausted by the rotary pump 31. At the time of resuming regeneration after the interruption of regeneration due to power failure or the like, an air valve 43 is closed, whereas lead-in valves 53, 55 are opened. N 2 gas in a bomb 51 is thereby led to an exhaust valve 39 in an exhaust valve chamber 37 and also to a gas ballast valve 35. COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio
52 JPS5546519B2 - JP4764373 1973-05-01 JPS5546519B2 1980-11-25
53 Eccentric pump JP2010203362 2010-09-10 JP2010270765A 2010-12-02 DREIFERT THOMAS
PROBLEM TO BE SOLVED: To use a pump as a dry vacuum pump. SOLUTION: This pump 1 is formed as the dry vacuum pump, and a pushing-away body 18 is designed to move in an orbital motion in a cylinder 2 without contact. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
54 Vacuum pump JP53809098 1998-01-20 JP4067572B2 2008-03-26 ギープマンス ヴォルフガング; ヨーゼフ ブルクハルト ハンス; バーネン ルドルフ
55 Oilfree scroll type vacuum pump JP2006188662 2006-07-07 JP2006283769A 2006-10-19 SUZUKI TERUO; OGURA MITSUO; NAKAMORI KAZUAKI; HARUKI SHINICHI; NEMOTO KENICHI; NOZAKI YASUSHI
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly convenient oilfree scroll type vacuum pump having a long service life and reducing electric power consumption. SOLUTION: This oilfree scroll type vacuum pump is provided with a first spiral scroll wrap erected from an end plate of a turning scroll; a second spiral scroll wrap erected from an end plate of a fixed scroll; chip seal grooves provided at tips of the first and second spiral scroll wraps; and chip seals arranged in the chip seal grooves. By revolving the turning scroll with respect to the fixed scroll, gas between the turning scroll and the fixed scroll is sequentially compressed from the outer peripheral side to the inner peripheral side. A flow rate adjusting mechanism is provided in a gas ballast mechanism. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
56 Method for operating an eccentric pump and the pump JP2003578750 2003-02-18 JP2005520988A 2005-07-14 ドライフェルト トーマス
本発明は、ポンプ(1)であって、入口(28)と出口(29)とを備えたハウジング(2)と、駆動装置(5)と、中心軸線(9)に対して同心的な定置のシリンダ(2)と、該シリンダ(2)内で偏心的に軌道運動する押退け体(18)と、該押退け体(18)のためのクランク駆動装置(13)と、シリンダ(2)と押退け体(18)との間に設けられた全周にわたって延びる三日月形の圧送室(26)と、該圧送室(26)に設けられた螺旋状のシールエレメント(27,27′,27′′,39)とが設けられている形式のものに関する。 本発明によれば、当該ポンプ(1)が、ドライ真空ポンプとして形成されており、押退け体(18)が、接触なしにシリンダ(2)内で軌道運動するようになっている。
57 Improvement of the vacuum pump JP28521093 1993-11-15 JP3600259B2 2004-12-15 アーネスト キネアード ホルブルック アレン
58 Oil-free scroll vacuum pump JP20760195 1995-07-21 JP3388657B2 2003-03-24 千陽 中村; 勝 土屋; 修二 芳賀
59 Helium leak detectors JP15965995 1995-06-26 JP3358394B2 2002-12-16 英樹 岡本
60 JPS5026769B1 - JP9509869 1969-11-28 JPS5026769B1 1975-09-03
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