技术领域
[0001] 本
发明涉及一种机械设备领域中的清洗设备或涂覆设备，具体涉及一种在清洗或涂覆操作时防止液槽中液体凝固的防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法。
背景技术
[0002] 对
工件进行清洗或涂覆是
半导体行业及其相关工业生产行业中广泛应用的操作。在对工件进行清洗或涂覆操作时，若液槽中液体容易挥发凝固又无法将液槽进行密闭处理时，特别是液槽附近存在气刀等容易引起液槽周边空气流动的装置时，液槽内液体容易在表面凝固形成一层
薄膜，且可能时间过长会直接在液槽中表干，严重影响后续清洗或涂覆
质量，给使用者带来不便。
发明内容
[0003] 本发明所要解决的技术问题是针对
现有技术的不足，提供一种防凝固液槽、防凝固液槽系统和防凝固方法。
[0004] 本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种防凝固液槽，所述液槽底部开设有出液口，所述液槽
侧壁靠下的
位置上开设有进液口；所述液槽内形成有进液腔、储液腔和出液腔，所述储液腔上端为与外界连通的敞口，所述储液腔下端与所述出液腔连通，所述出液腔下端与所述出液口连通；所述进液腔上端与所述储液腔上端连通，所述进液腔下端与所述进液口连通。
[0005] 本发明的有益效果是：本发明的防凝固液槽，通过设置进液腔、储液腔和出液腔，并将液体从下至上流过进液腔进入储液腔，再从上至下流过出液腔，使得液体在液槽内持续循环流动，液体不容易凝固；而且本发明的液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环操作后，对于
粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固。
[0006] 在上述技术方案的
基础上，本发明还可以做如下改进。
[0007] 进一步，所述进液腔包括从上至下依次设置的上进液缓冲腔、若干进液通道和下进液缓冲腔，若干所述进液通道竖向并排布置且相互独立；若干所述进液通道的上端均与所述上进液缓冲腔连通，下端均与所述下进液缓冲腔连通；所述进液口与所述下进液缓冲腔连通，所述上进液缓冲腔与所述储液腔上端连通。
[0008] 采用上述进一步方案的有益效果是：进液腔设置为上进液缓冲腔、若干进液通道和下进液缓冲腔，一方面使液体均匀平缓的流入和流出，而且另一方面使得液体经过若干进液通道的分流，加强了液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。
[0009] 进一步，所述上进液缓冲腔以及所述下进液缓冲腔的
水平宽度均大于所述进液通道的水平宽度。
[0010] 采用上述进一步方案的有益效果是：使进液缓冲腔的水平宽度大于进液通道的水平宽度，上下进液缓冲腔之间通过狭长的进液通道连通，使得液体经过上进液缓冲腔后，通过狭窄、细薄的排液口流出，排液口各点液体流速均匀，有效增强了进液腔内部和储液腔上表面各点液体的流动性。
[0011] 进一步，所述出液腔包括从上至下依次设置的若干出液通道和出液缓冲腔，若干所述出液通道竖向并排布置且相互独立；若干所述出液通道的上端均与所述储液腔下端连通，下端均与所述出液缓冲腔连通；所述出液口与所述出液缓冲腔连通。
[0012] 采用上述进一步方案的有益效果是：出液腔设置为若干出液通道和下出液缓冲腔，一方面使储液腔内各点液体均匀平缓的流入和流出，而且另一方面使得液体经过若干出液通道的分流，加强了储液腔内各点液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。
[0013] 进一步，所述储液腔以及所述出液缓冲腔的水平宽度均大于所述出液通道的水平宽度。
[0014] 采用上述进一步方案的有益效果是：使储液腔和出液缓冲腔的水平宽度大于出液通道的水平宽度，储液腔和出液缓冲腔之间通过狭长的出液通道连通，加强了储液腔内各点液体的流动性，有效增强了储液腔内液体防凝固效果。
[0015] 进一步，所述进液腔为两个，分别为左进液腔和右进液腔；所述液槽包括左外板、左内板、右内板、右外板、前侧板、后侧板和
底板，所述左外板、右外板、前侧板、后侧板和底板相互连接并围成一上端开口的立方
箱体结构；
[0016] 所述左内板安装在所述立方箱体结构内侧且与所述左外板平行布置，所述左内板与所述左外板、前侧板、后侧板围成所述左进液腔，所述左内板上端与所述左外板上端之间形成与所述储液腔上端连通的左排液口；
[0017] 所述右内板安装在所述立方箱体结构内侧且与所述右外板平行布置，所述右内板与所述右外板、前侧板、后侧板围成所述右进液腔，所述右内板上端与所述右外板上端之间形成与所述储液腔上端连通的右排液口；
[0018] 所述左内板和所述右内板平行布置且与所述前侧板和后侧板围成上端敞口的储液腔以及出液腔。
[0019] 优选的，左排液口和右排液口狭缝宽度为0.5-5mm，长度尽量与储液腔长度一致。储液腔中液体液面高度在排液口下方1mm-15mm。
[0020] 采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置两个进液腔且布置在储液腔的两侧，使得两个进液腔均能够向储液腔中流入液体，液槽的整体结构更加紧凑，有效增强了储液腔内上表面各点液体的流动性，防止储液腔内液体表面凝固结膜；采用左外板、左内板、右内板、右外板、前侧板、后侧板和底板围成液槽，整体结构简单，容易制作成型。
[0021] 一种防凝固液槽系统，包括所述的防凝固液槽、液槽
循环泵和循环储液桶，所述液槽底部的出液口通过管道与所述循环储液桶连通并将所述液槽内的液体输入到所述循环储液桶内，所述液槽侧壁上的进液口通过管道与所述循环储液桶连通，所述液槽
循环泵安装在所述进液口与所述循环储液桶之间的管道上并将所述循环储液桶内的液体输入到所述液槽内。
[0022] 本发明的有益效果是：本发明的防凝固液槽系统，可通过循环储液桶和液槽循环泵将液体在循环储液桶和液槽之间进行循环流动，液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固，而且还可将工件从储液腔上端敞口放入储液腔进行清洗或涂覆。
[0023] 进一步，还包括补液桶和补液循环泵，所述补液桶通过管道与所述循环储液桶连通，所述补液循环泵安装在所述补液桶与所述循环储液桶之间的管道上。
[0024] 采用上述进一步方案的有益效果是：通过补液桶和补液循环泵，当储液腔中的液体经使用或挥发变少时，可随时通过补液桶和补液循环泵进行液体补充。
[0026] 所述粘度传感器安装在所述出液口与所述循环储液桶之间的管道上并用于将检测到的所述管道中的液体浓度发送至控制器；
[0027] 所述控制器用于接收所述液体浓度并根据所述液体浓度控制所述液槽循环泵和所述补液循环泵的运行参数。
[0028] 采用上述进一步方案的有益效果是：通过设置粘度传感器，可随时监控液槽中的液体浓度，并反馈给设备控制器用于控制液槽循环泵和补液循环泵的运行参数。
[0029] 一种采用液槽系统防止液体凝固的方法，包括以下步骤：
[0030] S1，将循环储液桶中的液体通过液槽循环泵从液槽下端的进液口输入到进液腔中；
[0031] S2，所述进液腔中的液体从上端进入到所述储液腔中；
[0032] S3，所述储液腔中的液体经若干进液通道进入所述出液腔中；
[0033] S4，所述出液腔中的液体从所述液槽底部的出液口返回到所述循环储液桶中。
[0034] 本发明的有益效果是：本发明的方法，可通过循环储液桶和液槽循环泵将液体在循环储液桶和液槽之间进行循环流动，液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固，而且还可将工件从储液腔上端敞口放入储液腔进行清洗或涂覆。
附图说明
[0035] 图1为本发明
实施例液槽的立体结构示意图；
[0036] 图2为图1的局部放大结构示意图；
[0037] 图3为本发明实施例液槽的俯视结构示意图；
[0038] 图4为本发明实施例液槽的剖面结构示意图；
[0039] 图5为本发明实施例液槽中左外板和左内板的侧视结构示意图；
[0040] 图6为本发明实施例液槽中左内板和右内板的结构示意图；
[0041] 图7为本发明实施例液槽中左外板的主视结构示意图；
[0042] 图8为本发明实施例液槽中左内板的主视结构示意图；
[0043] 图9为本发明实施例防凝固液槽系统的结构示意图。
[0044] 附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0045] 100、液槽；101、出液口；102、进液口；
[0046] 103、进液腔；131、上进液缓冲腔；132、进液通道；133、下进液缓冲腔；134、进液凸筋；135、储液腔；
[0047] 104、出液腔；141、出液缓冲腔；142、出液通道；143、出液凸筋；
[0048] 105、左内板；106、左外板；161、左端板；107、右内板；108、右外板；181、右端板；109、前侧板；110、后侧板；111、底板；112、左排液口；113、右排液口；114、储液腔；
[0049] 200、液槽循环泵；300、循环储液桶；400、补液桶；401、进气口；500、补液循环泵。
具体实施方式
[0050] 以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0051] 实施例1
[0052] 如图1-图8所示，本实施例的一种防凝固液槽，所述液槽100底部开设有出液口101，所述液槽100侧壁靠下的位置上开设有进液口102；所述液槽100内形成有进液腔103、储液腔114和出液腔104，所述储液腔114上端为与外界连通的敞口，所述储液腔114下端与所述出液腔104连通，所述出液腔104下端与所述出液口101连通；所述进液腔103上端与所述储液腔114上端连通，所述进液腔103下端与所述进液口102连通。
[0053] 本实施例中，液槽100中进液口和出液口的个数可以根据实际需要进行设定，本实施例每个进液腔103都对应一个进液口102，本实施例的进液腔优选为两个且分别对称布置在储液腔的左右两侧，两个进液腔对应的进液口分别为左进液口和右进液口。出液口的个数也优选为1个且设在出液腔底部中心位置处。可加强进液腔、储液腔和出液腔内各点液体的流动性和均匀性，有效增强了液槽整体防凝固效果。
[0054] 本实施例的防凝固液槽的工作过程为，液体从液槽侧壁下方的进液口进入到进液腔中，然后从进液腔上端进入到储液腔上端，再从储液腔流入到出液腔，最后从出液腔底部的出液口流出。本实施例的防凝固液槽，通过设置进液腔、储液腔和出液腔，并将液体从下至上流过进液腔，再从上至下经储液腔流进出液腔，使得液体在液槽内持续循环流动，液体不易凝固；而且本发明的液槽储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固。
[0055] 实施例2
[0056] 如图1-图8所示，本实施例除了具备实施例1的技术特征外，还进一步限定了进液腔103、储液腔114以及出液腔104的结构，具体如下。
[0057] 如图4-图8所示，本实施例的所述进液腔103包括从上至下依次设置的上进液缓冲腔131、若干进液通道132和下进液缓冲腔133，若干所述进液通道132竖向并排布置且相互独立；若干所述进液通道132的上端均与所述上进液缓冲腔131连通，下端均与所述下进液缓冲腔133连通；所述进液口101与所述下进液缓冲腔133连通，所述上进液缓冲腔131与所述储液腔上端连通。进液腔设置为上进液缓冲腔、若干进液通道和下进液缓冲腔，一方面使排液口各点液体均匀平缓的流出，而且另一方面使得液体经过若干进液通道的分流，加强了液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。
[0058] 如图4和图5所示，本实施例的所述上进液缓冲腔131以及所述下进液缓冲腔133的水平宽度均大于所述进液通道132的水平宽度。使进液缓冲腔的水平宽度大于进液通道的水平宽度，上下进液缓冲腔之间通过狭长的进液通道连通，使得液体经过上进液缓冲腔后，通过狭窄、细薄的排液口流出，排液口各点液体流速均匀，有效增强了进液腔内部和储液腔114上表面各点液体的流动性。
[0059] 如图4-图8所示，本实施例的所述出液腔104包括从上至下依次设置的若干出液通道142和出液缓冲腔141，若干所述出液通道142竖向并排布置且相互独立；若干所述出液通道142的上端均与所述储液腔下端连通，下端均与所述出液缓冲腔141连通；所述出液口101与所述出液缓冲腔141连通，所述储液腔为敞口。出液腔设置为若干出液通道和下出液缓冲腔，一方面使储液腔内各点液体均匀平缓的流入和流出，而且另一方面使得液体经过若干出液通道的分流，加强了储液腔内各点液体的流动性和相互之间的黏着效果，进一步增强了防凝固效果。
[0060] 如图4和图6所示，本实施例的所述储液腔以及所述出液缓冲腔141的水平宽度均大于所述出液通道132的水平宽度。使出液缓冲腔的水平宽度大于出液通道的水平宽度，储液腔和出液缓冲腔之间通过狭长的出液通道连通，加强了储液腔内各点液体的流动性，有效增强了储液腔内液体防凝固效果。
[0061] 如图4所示，本实施例的所述进液腔103为两个，分别为左进液腔和右进液腔；所述液槽100包括左外板106、左内板105、右内板107、右外板108、前侧板109、后侧板110和底板111，所述左外板106、右外板108、前侧板109、后侧板110和底板111相互连接并围成一上端开口的立方箱体结构；所述左内板105安装在所述立方箱体结构内侧且与所述左外板106平行布置，所述左内板105与所述左外板106、前侧板109、后侧板110围成所述左进液腔，所述左内板105上端与所述左外板106上端之间形成所述左排液口112；所述右内板107安装在所述立方箱体结构内侧且与所述右外板108平行布置，所述右内板107与所述右外板108、前侧板109、后侧板110围成所述右进液腔，所述右内板107上端与所述右外板108上端之间形成所述右排液口113；所述左内板105和所述右内板107平行布置且与所述前侧板109和后侧板
110围成上端敞口的储液腔。通过设置两个进液腔且布置在储液腔的两侧，使得两个进液腔均能够向储液腔中流入液体，液槽的整体结构更加紧凑，有效增强了储液腔内上表面各点液体的流动性；采用左外板、左内板、右内板、右外板、前侧板、后侧板和底板围成液槽，整体结构简单，容易制作成型。
[0062] 进液通道的具体形成结构实际上为：左外板106上向右延伸形成有多个竖直布置的进液凸筋134，多个进液凸筋134均紧贴所述左内板105的左侧壁设置，多个进液凸筋134将整个左进液腔的中部分隔成多个相互独立的进液通道132，上进液缓冲腔131和下进液缓冲腔133分别位于多个进液通道132的上下两侧且均与多个所述进液通道132相连通。右外板108上向左延伸也形成有多个竖直布置的进液凸筋134，右外板108上的进液凸筋134均紧贴所述右内板107的右侧壁设置，多个进液凸筋134将整个右进液腔分隔成多个相互独立的进液通道132，右进液腔中的上进液缓冲腔131和下进液缓冲腔133分别位于多个进液通道132的上下两侧且均与多个所述进液通道132相连通。具体的，进液通道132实际上是形成在外板和内板之间的多条宽缝。
[0063] 出液通道的具体形成结构实际上为：左内板105中部靠下的位置向右延伸形成有多个出液凸筋143，右内板107中部靠下的位置向左延伸形成有多个出液凸筋143，左内板105上的出液凸筋143与右内板107上的出液凸筋143紧贴布置将储液腔和出液缓冲腔之间的区域分割成多个相互独立的出液通道142。储液腔和出液缓冲腔141分别位于多个出液通道142的上下两侧且均与多个所述出液通道142相连通。
[0064] 从图4可以看出，进液通道132的上下高度远大于出液通道142的上下高度。而且，为便于
机械加工及液体流动，储液腔的底部优选但不限于向下凹陷的弧面，出液缓冲腔141的顶面优选但不限于向上凸起的弧面。
[0065] 由图4和图5可知，左外板106上端向右延伸形成一左端板161，右外板108上端向左延伸形成一右端板181，左端板161将左内板105上端遮挡
覆盖住且与左内板105上端之间预留出一水平布置的左排液口112，右端板181将右内板107上端遮挡覆盖住且与右内板107上端之间预留出一水平布置的右排液口113。左排液口112将左进液腔上端与储液腔上端连通，右排液口将右进液腔上端与储液腔上端连通。而且，为了方便工件浸入到储液腔中，将左端板和右端板的外表面均设置为斜面结构，使左端板和右端板的外表面形成一V型结构。
[0066] 实施例3
[0067] 如图9所示，本实施例的一种防凝固液槽系统，包括所述的液槽100、液槽循环泵200和循环储液桶300，所述液槽100底部的出液口101通过管道与所述循环储液桶300连通并将所述液槽100内的液体输入到所述循环储液桶300内，所述液槽100侧壁上的进液口通过管道与所述循环储液桶300连通，所述液槽循环泵200安装在所述进液口102与所述循环储液桶300之间的管道上并将所述循环储液桶300内的液体输入到所述液槽100内。循环储液泵200的出口处有一个一分二的三通
阀，将液体分为两个管路分别输送至液槽的左右两个进液口102中。
[0068] 本实施例的防凝固液槽系统，可通过循环储液桶和液槽循环泵将液体在循环储液桶和液槽之间进行循环流动，液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固，而且还可将工件从储液腔上端敞口放入储液腔进行清洗或涂覆。
[0069] 进一步的，还包括补液桶400和补液循环泵500，所述补液桶400通过管道与所述循环储液桶300连通，所述补液循环泵500安装在所述补液桶400与所述循环储液桶300之间的管道上。通过补液桶和补液循环泵，当储液腔中的液体经使用或挥发变少时，可随时通过补液桶和补液循环泵进行液体补充。所述补液桶400上端还通过进气口401连接有进气管。补液桶主要是了盛装清洗液或涂覆液，对于有稀释剂的
试剂亦可用于盛装稀释剂。
[0070] 本实施例的循环储液桶300在工作时为封闭状态。
[0071] 实施例4
[0072] 本实施例的防凝固液槽系统除了具备实施例3的结构和功能外，还包括粘度传感器和控制器：所述粘度传感器和控制器为系统选配件；
[0073] 所述粘度传感器安装在所述出液口与所述循环储液桶300之间的管道上并用于将检测到的所述管道中的液体浓度发送至控制器；
[0074] 所述控制器用于接收所述液体浓度并根据所述液体浓度控制所述液槽循环泵200和所述补液循环泵500的运行参数。
[0075] 所述控制器具体用于将接收到的液体浓度与预设值进行比较，并根据比较结果控制液槽循环泵和补液循环泵的运行参数。
[0076] 通过设置粘度传感器，可随时监控液槽中的液体浓度，并反馈给设备控制器用于控制液槽循环泵和补液循环泵的运行参数。
[0077] 实施例5
[0078] 本实施例的一种采用液槽系统防止液体凝固的方法，包括以下步骤：
[0079] S1，将循环储液桶中的液体通过液槽循环泵从液槽下端的进液口输入到进液腔中；
[0080] S2，所述进液腔中的液体从上端进入到所述储液腔中；
[0081] S3，所述储液腔中的液体从若干进液通道进入到所述的出液腔中；
[0082] S4，所述出液腔中的液体从液槽底部的出液口返回到所述循环储液桶中。
[0083] 本实施例的方法，可通过循环储液桶和液槽循环泵将液体在循环储液桶和液槽之间进行循环流动，液槽的储液腔上端为敞口结构，液槽结合外部循环后，对于粘度较大或较易凝固的清洗液或涂覆液，且清洗或涂覆过程中无法将液槽进行密闭处理的情况下，仍然能够有效防止液槽中液体凝固，而且还可将工件从储液腔上端敞口放入储液腔进行清洗或涂覆。
[0084] 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何
修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
