一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极
专利汇可以提供一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种用于毛细管 极紫外 光刻 光源 的放电 电极 ，属于 极紫外光刻 光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足 等离子体 长度微调的要求，操作难度大的问题。本 发明 所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、 锁 紧 螺母 、压圈和接线 端子 ，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者 螺纹 连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。，下面是一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极专利的具体信息内容。
1.一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，其特征在于，该放电电极包括预放电电极(1)、主放电电极(2)、锁紧螺母(3)、压圈(4)和接线端子(5)；
预放电电极(1)是高20毫米、外径为10毫米、内径为5.56毫米的圆筒形结构，该圆筒形结构的一端的内表面上设置有长9毫米、尺寸为M6×0.5的螺纹，该端的外表面上设置有长3毫米、尺寸为M10×0.75的螺纹；
主放电电极(2)的一端为圆锥体(6)，中部为一号圆柱体(7)，另一端为二号圆柱体(8)，圆锥体(6)、一号圆柱体(7)和二号圆柱体(8)同轴且固定设置，圆锥体(6)的高为4.3毫米，底面直径为5毫米，一号圆柱体(7)的高为12.7毫米，底面直径为5毫米，二号圆柱体(8)的高度为19.5毫米，底面直径为6毫米，在二号圆柱体(8)的侧面上设置有长19.5毫米，尺寸为M6×0.5的螺纹，在二号圆柱体(8)的一个底面上设置有深5.5毫米、内径为3毫米的凹孔(9)，该底面远离一号圆柱体(7)；
锁紧螺母(3)的厚度为5.5毫米，其一端的内表面上设置有长3毫米、尺寸为M10×0.75的螺纹，其另一端的内表面上设置有长2毫米的M6螺纹；
压圈(4)的厚度为5毫米，其一端的内表面上设置有长2毫米、尺寸为M6×0.5的螺纹，其另一端上设置有深2毫米、直径为3.2毫米的通孔；
接线端子(5)的一端为高4毫米、直径为3毫米的三号圆柱体(10)，中部为高1.5毫米、直径为5毫米的四号圆柱体(11)，另一端为高7毫米、直径3毫米的五号圆柱体(12)，所述的三号圆柱体(10)、四号圆柱体(11)和五号圆柱体(12)同轴且固定设置；
二号圆柱体(8)与圆筒形结构螺纹连接，锁紧螺母(3)同时与二号圆柱体(8)和圆筒形结构螺纹连接，压圈(4)通过与二号圆柱体(8)的一端螺纹连接，使三号圆柱体(10)固定设置在凹孔(9)中；
五号圆柱体(12)通过导线与所述极紫外光刻光源的脉冲电源的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，其特征在于，五号圆柱体(12)与导线焊接。
一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极
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