专利汇可以提供一种物体微质量变化的在线测量装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提出了一种基于迈克尔逊干涉仪的物体微 质量 变化在线测量方法,将放置待测试样的托盘作为迈克尔逊干涉仪的动镜,物体质量发生轻微变化时动镜产生位移,从而使干涉条纹产生变化,通过变化后的干涉条纹与初始的干涉条纹对比得到条纹变化数,从而得到动镜相对位移大小,持续获得物体的质量变化量。本发明实现了一种相对较大质量物体的微质量变化在线测量,原理简单,实现容易,可靠性好,可满足激光与物质相互作用过程中,激光加载下试件质量变化的实时测量,对于分析和开展激光效应研究有积极的意义。,下面是一种物体微质量变化的在线测量装置专利的具体信息内容。
1.一种物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:包括托盘(3)、支撑弹簧(4)、支撑框架(5)、激光干涉仪、聚焦透镜(9)和CCD相机(10),所述的托盘(3)由多只支撑弹簧(4)支撑在支撑框架(5)的顶端,待测试样(2)放置在托盘(3)上,所述激光干涉仪用于实时测量因待测试样(2)质量变化而引起的托盘(3)底部的垂直位移,所述激光干涉仪所产生的干涉条纹经聚焦透镜(9)汇聚至CCD相机(10);所述的激光干涉仪包括入射激光(1)、分束镜(8)、全反镜(7)和精密位移调节螺钉(6),所述的分束镜(8)与水平方向呈45°设置在支撑框架(5)的中部,所述入射激光(1)和全反镜(7)分别设置在支撑框架(5)的两侧、并与分束镜(8)高度一致的位置,所述的全反镜(7)由精密位移调节螺钉(6)固定在支撑框架(5)上,所述的CCD相机(10)和聚焦透镜(9)设置在托盘(3)的正下方,所述的托盘(3)底部镀有反射膜;所述托盘(3)到分束镜(8)的距离等于全反镜(7)与分束镜(8)之间的距离;所述的入射激光(1)水平入射至分束镜(8)后,透射光经过全反镜(7)反射后再经分束镜(8)反射至CCD相机(10)内,所述的反射光经过托盘(3)底部反射后经分束镜(8)透射至CCD相机(10)内,所述的反射光和透射光形成干涉条纹,并由CCD相机(10)实时记录。
2.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述的CCD相机(10)前的光路上设置有衰减片(11)。
3.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述支撑框架(5)的六个面均由不透光的薄板密封,其中在激光入射位置处、CCD入射位置处和托盘入射位置处开有透光光窗。
4.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述的待测试样(2)放置在托盘中央部位。
5.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述CCD相机(10)上入射光斑直径不小于CCD器件长度的2/3。
6.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述入射激光(1)为单模激光。
7.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述托盘底部镀有高反射银膜。
8.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述的激光干涉仪为迈克尔逊干涉仪。
9.根据权利要求1所述的物体微质量变化的在线测量装置,其特征在于:所述分束镜(8)的透过率和反射率比为1∶1。
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