一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法
专利汇可以提供一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及 太阳能 光伏应用领域，特别涉及一种柔性 硅 基 太阳能 电池 扩散阻挡层的制备方法。本发明一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法在于：AlNi 合金 通过金属Ni和Al双靶共溅射来制备，圆形Al靶和Ni靶的直径均为75mm，厚度分别为5mm和3mm，纯度分别为5N和3N；使用高纯氩气作为放电气体，工作气压为0.5Pa。本发明采用AlNi合金可以很好的解决上述问题。AINi合金具有熔点高、性能稳定及抗 氧 化性能好等特点，AINi合金有可能是适合用于 柔性电池 的最好的阻挡层材料之一。，下面是一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法专利的具体信息内容。
1.一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法，其特征在于：AlNi合金通过金属Ni和Al双靶共溅射来制备，圆形Al靶和Ni靶的直径均为75mm，厚度分别为5mm和3mm，纯度分别为5N和3N；使用高纯氩气作为放电气体，工作气压为0.5Pa。
2.根据权利要求1所述的柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法，其特征在于：
通过分别调节靶的功率可以有效调控合金的比例，Al、Ni比例为1:1或2:3的薄膜均为多晶结构，并具有最好的阻挡效果。
3.根据权利要求1所述的柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法，其特征在于通过调节共溅射的Al和Ni靶的溅射功率和样品台的旋转来控制薄膜的成分及均匀性，使用俄歇电子能谱刻蚀，Al和Si薄膜的厚度分别为约250nm和200nm；阻挡层AlNi合金薄膜的厚度控制在50nm至80nm，制备结束后在250℃保温2h。
一种柔性硅基太阳能电池扩散阻挡层的制备方法
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