专利汇可以提供一种消除圆片样品表面电荷效应的装置及其使用方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且圆片在进行表面分析时,常常因为圆片表面发生电荷效应而使分析产生误差。本 发明 通过一套装置和相应的使用方法消除了该问题。本发明提出的装置含有:金属网格,样品台,和 螺栓 组件构成三部分。当圆片放置在样品台后,放下金属网格,使圆片表面上的积累电荷通过金属网格导走。方便有效地解决了电荷效应产生分析误差的问题。,下面是一种消除圆片样品表面电荷效应的装置及其使用方法专利的具体信息内容。
1.一种消除圆片样品表面电荷的装置,含有金属网格,样品台, 和螺栓组件,其中金属网格、样品台上都有相互对应的通孔,金属网格 放置于样品台上,通过螺栓组件连接,其特征在于金属网格通过螺栓与 样品台中的基台相连,基台在俄歇电子能谱仪内部接地。
2.一种如权利要求1所述的装置,其特征在于螺栓组件含有螺栓、 第一弹簧和第二弹簧两个弹簧、螺母,螺栓插入金属网格的通孔后后再 套入第一弹簧、样品台各自的通孔中下部套入第二弹簧并拧上螺母。
3.一种如权利要求1所述的装置,其特征在于上述的金属网格是 由相互平行、排列均匀的横向和纵向两组金属条连接形成的一矩形金属 网,该金属网的两边分别向外延伸一段,在左右各自相成一个长条形的 金属薄片,并在左右两边延伸出的金属片的中间位置各开有一个圆孔。 样品台上都有与所述金属网格上的通孔相对应的通孔。
4.一种如权利要求3所述的装置,其特征在于上述的金属网格上 的圆孔的直径大于上述螺栓的螺杆直径,小于螺栓头的直径。
5.一种使用如权利要求1所述的装置消除圆片表面电荷的方法, 其特征在于放置圆片前,上抬螺栓使第二弹簧压缩,使金属网格可以向 上抬起一定距离,将圆片片放入金属网格下的样品台上;下压螺栓使弹 簧回复,第一弹簧压缩,螺栓头随之下压金属网格,使金属网格压在圆 片表面上;使金属网格接地,从而导走圆片上的积累电荷。
6.一种使用如权利要求5所述的方法,其特征在于消除了圆片表 面的电荷后,撤去螺栓上的作用力,金属网格在第一弹簧回复力作用下, 向上运动一定距离,从而脱离与圆片的接触,从而避免金属网格对后续 测试的影响。
7.一种使用权利要求4所述的装置的方法,其特征在于将圆片放 置后,利用上述的金属网格作为坐标图,来寻找圆片上的图案。
本发明涉及半导体集成电路制造领域中表面分析用的设备及方法,特 别涉及半导体集成电路中表面分析时消除圆片表面电荷用的设备及方法。
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