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5300纳米带通红外滤光片

阅读:123发布:2020-05-12

专利汇可以提供5300纳米带通红外滤光片专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种5300 纳米带 通红外滤光片,包括以Si为原材料的 基板 ,以Ge、SiO为 镀 膜 材料的第一镀膜层和以Ge、ZnS为镀膜材料的第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间,其特征是第一镀膜层由不同厚度的Ge和SiO交互排列,第二镀膜层由不同厚度的Ge和ZnS交互 叠加 而成,所述第一镀膜层和第二镀膜层最内侧均为Ge。本实用新型得到的5300纳米带通红外滤光片,实现中心 波长 定位 为5300±1%纳米,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,大大提高了 信噪比 。且成本低,适用于检测NO气体,增加对NO气体的分辨能 力 ,提高检测 精度 ,能够有效的提高分析仪器对NO气体的 分辨率 ,更好的满足实际中的使用要求。,下面是5300纳米带通红外滤光片专利的具体信息内容。

1.一种5300纳米带通红外滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、SiO为膜材料的第一镀膜层和以Ge、ZnS为镀膜材料的第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间,其特征是所述第一镀膜层包含由内向外依次排列的122nm厚度的Ge层、295nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、367nm厚度的SiO层、88nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、373nm厚度的Ge层、320nm厚度的SiO层、126nm厚度的Ge层、446nm厚度的SiO层、
124nm厚度的Ge层、85nm厚度的SiO层、220nm厚度的Ge层、328nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、598nm厚度的SiO层、175nm厚度的Ge层、235nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、550nm厚度的SiO层、161nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、278nm厚度的Ge层、
1382nm厚度的SiO层、504nm厚度的Ge层、1240nm厚度的SiO层、514nm厚度的Ge层和
628nm厚度的SiO层,所述第二镀膜层包含由内向外依次排列的296nm厚度的Ge层、402nm厚度的ZnS层、108nm厚度的Ge层、487nm厚度的ZnS层、272nm厚度的Ge层、510nm厚度的ZnS层、257nm厚度的Ge层、431nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、410nm厚度的ZnS层、
261nm厚度的Ge层、529nm厚度的ZnS层、286nm厚度的Ge层、567nm厚度的ZnS层、608nm厚度的Ge层、789nm厚度的ZnS层、339nm厚度的Ge层、607nm厚度的ZnS层、365nm厚度的Ge层、996nm厚度的ZnS层、457nm厚度的Ge层、621nm厚度的ZnS层、338nm厚度的Ge层、
790nm厚度的ZnS层、528nm厚度的Ge层和212nm厚度的ZnS层。

说明书全文

5300纳米带通红外滤光片

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种红外滤光片,特别是5300纳米带通红外滤光片。

背景技术

[0002] 在自然界,任何物体在绝对零度(-273度)以上,都有红外谱线发出,而每种物质都有其特殊的发射或吸收特征峰。带通红外滤光片过滤、截止可见光同时允许特定的红外线通过。利用带通红外滤光片的这种允许物体的特征红外谱线透过的特性,可以探测出特定物质的存在,广泛应用于安防、环保、工业、科研等。带通红外滤光片的质量直接影响探测的精度和灵敏度。目前的NO红外光学分析仪器应用广泛,检测气体含量具体有实时、连续和可靠的特点,但是目标气体中通过NO含量低,红外特征吸收峰值较弱,检测困难,因此目前国内较多采用化学法和薄膜热敏探测法,存在检测器寿命短或成本高等问题,因此既要降低成本,又要提高探测精度在NO红外光学分析仪器中已经相当重要。就目前用于NO探测中的5300纳米带通红外滤光片,检测精度不高、透过率和信噪比低,精度差,有时候出现误测的现象,不能满足市场发展的需要。实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的是为了解决上述现有技术的不足而提供一种峰值透过率高,能极大的提高信噪比,且适用于检测NO气体的5300纳米带通红外滤光片。
[0004] 为了实现上述目的,本实用新型所设计的5300纳米带通红外滤光片,包括以Si为原材料的基板,以Ge、SiO为膜材料的第一镀膜层和以Ge、ZNS为镀膜材料的第二镀膜层,且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间,其特征是所述第一镀膜层包含由内向外依次排列的122nm厚度的Ge层、295nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、367nm厚度的SiO层、88nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、373nm厚度的Ge层、320nm厚度的SiO层、126nm厚度的Ge层、446nm厚度的SiO层、124nm厚度的Ge层、85nm厚度的SiO层、220nm厚度的Ge层、328nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、598nm厚度的SiO层、175nm厚度的Ge层、235nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、550nm厚度的SiO层、161nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、278nm厚度的Ge层、1382nm厚度的SiO层、504nm厚度的Ge层、1240nm厚度的SiO层、514nm厚度的Ge层和628nm厚度的SiO层,所述第二镀膜层包含由内向外依次排列的296nm厚度的Ge层、402nm厚度的ZnS层、108nm厚度的Ge层、487nm厚度的ZnS层、
272nm厚度的Ge层、510nm厚度的ZnS层、257nm厚度的Ge层、431nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、410nm厚度的ZnS层、261nm厚度的Ge层、529nm厚度的ZnS层、286nm厚度的Ge层、567nm厚度的ZnS层、608nm厚度的Ge层、789nm厚度的ZnS层、339nm厚度的Ge层、
607nm厚度的ZnS层、365nm厚度的Ge层、996nm厚度的ZnS层、457nm厚度的Ge层、621nm厚度的ZnS层、338nm厚度的Ge层、790nm厚度的ZnS层、528nm厚度的Ge层和212nm厚度的ZnS层。
[0005] 上述各材料对应的厚度,其允许在公差范围内变化,其变化的范围属于本专利保护的范围,为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
[0006] 本实用新型得到的5300纳米带通红外滤光片,通过上述的设计,实现了成本低,且适用于检测NO气体,该滤光片能实现中心波长定位为5300±1%纳米,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,大大提高了信噪比,可增加对NO气体的分辨能,提高检测精度,能够有效的提高分析仪器对NO气体的分辨率,更好的满足实际中的使用要求。
附图说明
[0007] 图1是实施例的整体结构示意图;
[0008] 图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
[0009] 图中:第一镀膜层1、基板2、第二镀膜层3。

具体实施方式

[0010] 下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0011] 实施例:
[0012] 如图1所示,本实施例提供的5300纳米带通红外滤光片,包括以Si为原材料的基板2,以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层1和以Ge、ZnS为镀膜材料的第二镀膜层3,且基板2设于第一镀膜层1与第二镀膜层3之间,第一镀膜层1包含由内向外依次排列的122nm厚度的Ge层、295nm厚度的SiO层、91nm厚度的Ge层、367nm厚度的SiO层、88nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、373nm厚度的Ge层、320nm厚度的SiO层、126nm厚度的Ge层、446nm厚度的SiO层、124nm厚度的Ge层、85nm厚度的SiO层、220nm厚度的Ge层、328nm厚度的SiO层、97nm厚度的Ge层、598nm厚度的SiO层、175nm厚度的Ge层、235nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、550nm厚度的SiO层、161nm厚度的Ge层、251nm厚度的SiO层、278nm厚度的Ge层、1382nm厚度的SiO层、504nm厚度的Ge层、1240nm厚度的SiO层、514nm厚度的Ge层和628nm厚度的SiO层,所述第二镀膜层包含由内向外依次排列的296nm厚度的Ge层、402nm厚度的ZnS层、108nm厚度的Ge层、487nm厚度的ZnS层、272nm厚度的Ge层、
510nm厚度的ZnS层、257nm厚度的Ge层、431nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、410nm厚度的ZnS层、261nm厚度的Ge层、529nm厚度的ZnS层、286nm厚度的Ge层、567nm厚度的ZnS层、608nm厚度的Ge层、789nm厚度的ZnS层、339nm厚度的Ge层、607nm厚度的ZnS层、
365nm厚度的Ge层、996nm厚度的ZnS层、457nm厚度的Ge层、621nm厚度的ZnS层、338nm厚度的Ge层、790nm厚度的ZnS层、528nm厚度的Ge层和212nm厚度的ZnS层。
[0013] 本实施例提供的5300纳米带通红外滤光片,其实测曲线如图2所示,本实施例能实现中心波长定位为5300±1%纳米,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,大大提高了信噪比。
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