专利汇可以提供一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种CVD在线 镀 功能膜废气干法 净化 装置,包括:气源管道H,在气源管道H的前端依次设有 燃烧室 (2)和超高温静电 除尘器 (4),在管道的末端设有 活性炭 纤维 净化器(8),其特征在于还包括:在管道上还设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7)。本实用新型的优点:本实用新型提供的装置采用干法净化法,消除了现有湿法净化装置产生 水 污染的隐患,降低了运行成本,提高了设备的使用寿命;本装置应用前景广泛,对于成分复杂, 温度 较高有 腐蚀 性的废气,无论可燃或者不可燃,都能进行充分高效的净化处理;本装置能同时处理高温、酸性、含尘及含重金属等 镀膜 废气,且净化效率高,能达到99.99%以上的净化效率。,下面是一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置专利的具体信息内容。
1.一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道H,在气源管道H上连接变频废气风机(1),气源管道H连接燃烧室(2),在燃烧室(2)上设有燃烧器(3),燃烧室(2)通过管道连接超高温静电除尘器(4),超高温静电除尘器(4)通过管道连接活性炭纤维净化器(8),活性炭纤维净化器(8)通过管道连接引风机(9),其特征在于还包括:
a、在超高温静电除尘器(4)与活性炭纤维净化器(8)之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7),干式脱酸装置(5)的侧端口D通过管道连接布袋除尘器(7)的端口E,干式脱酸装置(5)的下端口A通过管道与超高温静电除尘器(4)的端口B相连接,干式脱酸装置(5)的顶部端口C通过管道N与供碱仓(11)相连接,在干式脱酸装置(5)的下方通过管道M连接回收仓(12);
b、布袋除尘器(7)的端口F通过管道连接活性炭纤维净化器(8),布袋除尘器(7)的下端设有出料口G。
2.根据权利要求1所述的一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,其特征在于:所述的干式脱酸装置(5)的内部分别设有前扰流板(6a)和后扰流板(6b),在管道N上设有碱料泵(10b),管道M上设有回收泵(10a)。
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