技术领域
[0001] 本实用新型涉及高压屏蔽网技术领域，具体涉及针对在射频离子源
辐射环境中给栅网
电极加高压的一种N型接头陶瓷绝缘高压传输线。
背景技术
[0002] 目前射频离子源广泛用于
加速器、
半导体和光学工业，尤其是随着半导体工业和光学工业的发展，射频离子源在固体表面注入、
微细加工、材料表面改性、
镀膜机辅助镀膜等众多工艺中越来越不可或缺。射频离子源的引出系统一般为三栅网结构，离子源工作在
真空环境中，离化气体的引出需要给屏极和加速极提供
电压，由于工作环境有很强的
电场和
磁场，为了避免对提供的电压造成影响，就需要对线材做屏蔽处理。而目前用于离子源的屏蔽网
费用高，周期长，且来源渠道有局限性，不利于降低制造成本，并且现阶段的屏蔽网安装比较繁琐。
[0003] 公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的
现有技术。实用新型内容
[0004] 为解决上述技术问题，本实用新型提出了高压屏蔽连接线，以达到降低安装难度和降低生产成本的目的。
[0005] 为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：
[0006] 一种高压屏蔽连接线，包含有由多股
导线拧紧而成的导线绳、设置在导线绳头端的N 型公头、设置在导线绳尾端的
冷压端子和包裹在导线绳外部的屏蔽网。
[0007] 本实用新型通过N型公头和冷压端子与导线绳星湖层高压传输的导通路径，并在导线绳的外部设置屏蔽网来评比电场、磁场，达到降低安装难度和降低生产成本的目的。
[0008] 作为优选的，所述导线绳与所述N型公头内部的N型公头内针
焊接，所述N型公头与处于真空内的N型磨头连接器进行连接；所述导线绳与所述冷压端子压接，所述冷压端子与外部离子源设备的栅网
接线柱用
螺母固定。
[0009] 作为优选的，所述导线绳与所述屏蔽网之间设有多个陶瓷；
[0010] 所述导线绳的头部处于所述N型公头的尾管内，所述导线绳的头部设有数个依次排列的第一碗型陶瓷；
[0011] 所述导线绳的中部头端还套设有与所述N型公头尾管直径一致的T型陶瓷，所述T型陶瓷紧贴所述N型公头的尾管安放，且T型陶瓷靠近尾管的一侧设有用于紧固导线绳的紧固
铜环；
[0012] 所述导线绳的中部上还设有数个依次排列的第二碗型陶瓷，所述第二碗型陶瓷的碗口直径大于所述第一碗型陶瓷的碗口直径，所述第二碗型陶瓷的碗口直径与所述T型陶瓷的直径一致；
[0013] 所述导线绳的尾部上设有数个依次排列的第一碗型陶瓷。通过在屏蔽网和导线绳之间设置数个多种规格的陶瓷进行评比，对屏蔽网起
支撑作用，同时充分利用的碗型陶瓷的结构特性，使其具备良好的绝缘性，也易于导线的弯折，灵活性增强。
[0014] 作为优选的，所述屏蔽网的头端紧贴所述N型公头的尾管的
侧壁上，所述屏蔽网的尾端处于所述第二碗型陶瓷的端部；
[0015] 屏蔽网的两端均设有铜
套管，其中屏蔽网头端的铜套管套通过
锡焊设置在所述N型公头的尾管上，所述屏蔽网的尾端设置的铜套管与屏蔽网的尾端截面对齐。利用铜套管对导线绳
压实，防止导线绳因拉扯导致N型公头内针脱落，保证了产品
质量。
[0016] 本实用新型具有如下优点：
[0017] 1.本实用新型通过N型公头和冷压端子与导线绳星湖层高压传输的导通路径，并在导线绳的外部设置屏蔽网来评比电场、磁场，达到降低安装难度和降低生产成本的目的。
[0018] 2.通过在屏蔽网和导线绳之间设置数个多种规格的陶瓷进行评比，对屏蔽网起支撑作用，同时充分利用的碗型陶瓷的结构特性，使其具备良好的绝缘性，也易于导线的弯折，灵活性增强。
[0019] 3.本实用新型利用铜套管对导线绳压实，防止导线绳因拉扯导致N型公头内针脱落，保证了产品质量。
附图说明
[0020] 为了更清楚地说明本实用新型
实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0021] 图1为本实用新型实施例公开的高压屏蔽连接线的结构示意图；
[0022] 图2为本实用新型实施例公开的高压屏蔽连接线的剖视示意图；
[0023] 图中数字和字母所表示的相应部件名称：
[0024] 1.导线绳 2.N型公头 21.N型公头内针 3.冷压端子 4.屏蔽网[0025] 51.第一碗型陶瓷 52.T型陶瓷 53.第二碗型陶瓷 6.紧固铜环[0026] 7.铜套管。
具体实施方式
[0027] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028] 本实用新型提供了高压屏蔽连接线，其工作原理是通过N型公头和冷压端子与导线绳星湖层高压传输的导通路径，并在导线绳的外部设置屏蔽网来评比电场、磁场，达到降低安装难度和降低生产成本的目的。
[0029] 下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
[0030] 如图1和图2所示，一种高压屏蔽连接线，包含有由多股导线拧紧而成的导线绳1、设置在导线绳头端的N型公头2、设置在导线绳尾端的冷压端子3和包裹在导线绳外部的屏蔽网4，所述导线绳与所述N型公头内部的N型公头内针21焊接，所述N型公头与处于真空内的N型磨头连接器进行连接；所述导线绳与所述冷压端子压接，所述冷压端子与外部离子源设备的栅网接线柱用螺母固定。
[0031] 所述导线绳与所述屏蔽网之间设有多个陶瓷；
[0032] 所述导线绳的头部处于所述N型公头的尾管内，所述导线绳的头部设有数个依次排列的第一碗型陶瓷51；
[0033] 所述导线绳的中部头端还套设有与所述N型公头尾管直径一致的T型陶瓷52，所述T 型陶瓷紧贴所述N型公头的尾管安放，且T型陶瓷靠近尾管的一侧设有用于紧固导线绳的紧固铜环6；
[0034] 所述导线绳的中部上还设有数个依次排列的第二碗型陶瓷53，所述第二碗型陶瓷的碗口直径大于所述第一碗型陶瓷的碗口直径，所述第二碗型陶瓷的碗口直径与所述T型陶瓷的直径一致；
[0035] 所述导线绳的尾部上设有数个依次排列的第一碗型陶瓷51。
[0036] 所述屏蔽网的头端紧贴所述N型公头的尾管的侧壁上，所述屏蔽网的尾端处于所述第二碗型陶瓷的端部；
[0037] 屏蔽网的两端均设有铜套管7，其中屏蔽网头端的铜套管套通过
锡焊设置在所述N型公头的尾管上，所述屏蔽网的尾端设置的铜套管与屏蔽网的尾端截面对齐。
[0038] 本实用新型的具体使用步骤如下：再如图1和图2所示，N型公头作为标准化的连接头，来源广泛，可以节约制作成本和时间。
[0039] N型公头内针和导线绳(导线绳可以是多根导线单独依次排列，也可以是多跟导线旋转拧紧而成)焊接，导线绳和冷压端子压接，构成高压传输的导通路径。在多股铜线外周包覆屏蔽网进行电磁
信号屏蔽。
[0040] 在N型公头尾管内，导线绳和屏蔽网之间通过在导线绳上串接各类绝缘陶瓷起绝缘和支撑作用。
[0041] 具体如图2所示：导线绳1一端连接N型公头内针21，另一端与冷压端子3压紧。在导线绳2上，N型公头尾管内部放置第一碗型陶瓷51，N型公头尾管右端放置T型陶瓷52， T型陶瓷52右边放置第二碗型陶瓷53至合适使用长度，第二碗型陶瓷53右边再放置第一碗型陶瓷51过渡(第一碗型陶瓷和第二碗型陶瓷由
本技术领域的技术人员根据实际的需求来选择相应的个数)。在T型陶瓷52左侧将紧固铜环5压紧在导线绳上。
[0042] 屏蔽网4从N型公头尾管根部套接至右侧第二碗型陶瓷53和右侧的第一碗型陶瓷51 交界处。左侧的铜套管7左端贴紧N型公头尾管根部，右端至T型陶瓷52台阶处；右侧的铜套管7与屏蔽网8右截面对齐。
[0043] 通过以上的方式，本实用新型所提供的高压屏蔽连接线，通过N型公头和冷压端子与导线绳星湖层高压传输的导通路径，并在导线绳的外部设置屏蔽网来评比电场、磁场，达到降低安装难度和降低生产成本的目的。
[0044] 以上所述的仅是本实用新型所公开的高压屏蔽连接线的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干
变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
