[技术领域]
[0001] 本
发明涉及研磨机或抛光机，尤其涉及一种行星齿轮式双面研磨/抛光机。[背景技术]
[0002] 双面研磨/抛光机非常适用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光学及
半导体材料的加工领域得到了广泛应用。
[0003] 如图1和图2所示，传统的双面研磨(抛光机)采用
行星轮系传动结构，包括
机架、
太阳轮10、
内齿圈11、下
研磨盘12，上研磨盘40、行星齿轮41、太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构。太阳轮驱动机构包括太阳轮
驱动轴2，太阳轮10固定在太阳轮驱动轴2的上端。
工件100放置在行星齿轮41的空腔内，设备工作时，行星齿轮41由内齿圈11和太阳轮10带动围绕着太阳轮10进行公转，行星齿轮41也进行一定速度的自转。此时上研磨盘40和下研磨盘12压持着加工零件4进行相对转动，实现了对工件4上下平面进行同时研磨(或抛光)的加工。
[0004] 行星齿轮41的厚度略小于工件4的厚度，
碳素
钢制做的行星齿轮41硬度较高，在与太阳轮10、内齿圈11在配合工作的过程中，会对设备上太阳轮10、内齿圈11的
啮合处造成严重的局部磨损。
[0005] 对于传统的研磨/抛光机设备，操作人员需定期对太阳轮10手工进行加减
垫片，调整太阳轮10的高度，错开其磨损的部位，使太阳轮10
轮齿的磨损均匀，以延长太阳轮10使用寿命。
[0006] 内齿圈11的直径较大，齿数多，磨损相对比太阳轮轻一些，但内齿圈11在多个
位置加减垫片的方法很难将调内齿圈平，内齿圈11在保养时可以翻转使用，也可以在维护保养时对端面进行切削，减薄其厚度。
[0007] 双面研磨机(抛光机)的太阳轮及内齿圈的啮合处磨损一直以来都是双面研磨机设备保养的主要问题，太阳轮和内齿圈高度的调整也是费工费时保养操作，并且还可能因太阳轮或内齿圈调整装配不良而造成加工零件的良率下降。[发明内容]
[0008] 本发明要解决的技术问题是提供一种太阳轮磨损均匀、行星齿轮机构零部件使用寿命长、维护保养工作量较小的行星齿轮式双面研磨/抛光机。
[0009] 本发明进一步要解决的技术问题是提供一种内齿圈磨损均匀的行星齿轮式双面研磨/抛光机。
[0010] 为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，一种行星齿轮式双面研磨/抛光机，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘，太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构和太阳轮升降机构；太阳轮驱动机构包括太阳轮驱动轴，太阳轮固定在太阳轮驱动轴的上端；机架包括机座和固定在机座上的安装座，太阳轮驱动轴的中部由安装座支承，太阳轮升降机构包括升降驱动机构、第一螺套、第二螺套、托板和复数根拉杆；第一螺套松套在安装座外面，由安装座支承，第二螺套的内
螺纹与第一螺套的
外螺纹旋合，第一螺套由升降驱动机构驱动；安装座的下部包括复数个拉杆孔，拉杆的上端固定在第二螺套上，拉杆的下端穿过拉杆孔，固定在托板上，托板安装在太阳轮驱动轴的下部。
[0011] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，包括内齿圈升降机构，内齿圈驱动机构包括齿圈
支架、升降套、齿圈驱动齿轮和支架
轴承，齿圈支架包括支架和轴承座，内齿圈固定在支架上。轴承座通过支架轴承安装在升降套上；升降套松套在安装座的外面，与安装座滑动配合；升降套坐落在第二螺套上，由第二螺套的顶面支承；齿圈驱动齿轮固定在轴承座上。
[0012] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，安装座下部包括突缘，安装座的突缘固定在机座上；安装座的突缘上包括三个所述的拉杆孔，所述的拉杆为三根；第一螺套的下端由安装座的突缘支承，第一螺套的外螺纹位于第一螺套的上部，第一螺套的下部包括齿轮；升降驱动机构包括减速机和由减速机带动的驱动齿轮，第一螺套的齿轮由驱动齿轮带动。
[0013] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，下研磨盘驱动机构包括托盘，下研磨盘驱动轴和下研磨盘驱动齿轮；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，下研磨盘驱动轴的上部和下部由安装座分别通过轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端，下研磨盘驱动齿轮固定在下研磨盘驱动轴的下端。
[0014] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，太阳轮驱动机构包括滑套和太阳轮驱动齿轮，下研磨盘驱动轴为空
心轴，太阳轮驱动轴穿过下研磨盘驱动轴的内孔；滑套套在太阳轮驱动轴的外面，与太阳轮驱动轴滑动配合；滑套的上端和下端由研磨盘驱动轴分别通过轴承支承；托板通过止推轴承安装在太阳轮驱动轴的下部,太阳轮驱动齿轮固定在太阳轮驱动轴的下端。
[0015] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，太阳轮驱动轴为空心轴，上研磨盘驱动机构包括中心轴、上滑套、下滑套、上轴承、下轴承、中心轴轴承、中心轴驱动齿轮和上研磨盘的
驱动盘；中心轴穿过太阳轮驱动轴的内孔，驱动盘固定在中心轴的上端，中心轴驱动齿轮固定在中心轴的下部，中心轴的下端通过中心轴轴承安装在机座上；上滑套和下滑套分别套在中心轴的上部和下部，与中心轴滑动配合；上滑套通过上轴承安装在太阳轮驱动轴内孔的上端，下滑套通过上轴承安装在太阳轮驱动轴内孔的下端。
[0016] 以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机，太阳轮驱动机构包括中心轮和中心轮座，中心轮座固定在太阳轮驱动轴的上端，中心轮固定在中心轮座上，太阳轮固定在中心轮上。
[0017] 本发明行星齿轮式双面研磨/抛光机可以很方便地调整太阳轮的高度，调整过程可以随时进行，调整过程中不需要拆卸零件，不会更变设备装配
精度，可以保证机床长期工作
稳定性，采用本设备的太阳轮升降机构，太阳轮的磨损会均匀，使用寿命大大提高。[
附图说明]
[0018] 下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
[0019] 图1是
现有技术行星齿轮式双面研磨/抛光机主体上部的剖视图。
[0020] 图2是现有技术行星齿轮式双面研磨/抛光机研磨部件的剖视图。
[0021] 图3是本发明
实施例行星齿轮式双面研磨/抛光机的结构示意图。
[0022] 图4是图3中Ⅰ部位的局部放大图。[具体实施方式]
[0023] 本发明实施例行星齿轮式双面研磨(抛光)机的结构如图3所示，包括机架、太阳轮10、内齿圈11、下研磨盘12，太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构、太阳轮升降机构和内齿圈升降机构。
[0024] 机架包括机座19和固定在机座19上的安装座1，安装座1中空，下部有安装突缘101，安装座的突缘101用螺丝29固定在机座19上。
[0025] 太阳轮升降机构包括升降驱动机构、螺套5、螺套6、三
角形的托板7和3根拉杆8。
[0026] 螺套5松套在安装座1外面，螺套5的下端由安装座1的突缘101支承.螺套6的
内螺纹与螺套5的外螺纹旋合。安装座1的突缘101上有三个拉杆孔，拉杆8的上端固定在螺套6上，拉杆8的下端穿过拉杆孔，固定在三角形的托板7上。
[0027] 螺套5的外螺纹位于螺套5的上部，螺套5的下部有一个齿轮501。升降驱动机构包括由
电动机驱动的减速机13和由减速机13带动的驱动齿轮14，螺套5的齿轮501由驱动齿轮14带动旋转。
[0028] 下研磨盘驱动机构包括托盘37，下研磨盘驱动轴3和下研磨盘驱动齿轮15。下研磨盘驱动轴3为空心轴，下研磨盘驱动轴3穿过安装座1的内孔，上部和下部由安装座1内孔中的上轴承16，下轴承35支承。下研磨盘固定在托盘37上，托盘37固定在下研磨盘驱动轴3的上端，下研磨盘驱动齿轮15通过
螺母17固定在下研磨盘驱动轴3的下端。
[0029] 太阳轮驱动机构包括太阳轮驱动轴2，中心轮18、中心轮座20、滑套21和太阳轮驱动齿轮36，中心轮座20固定在太阳轮驱动轴2的上端，中心轮18固定在中心轮座20上，太阳轮10固定在中心轮上。
[0030] 太阳轮驱动轴2穿过下研磨盘驱动轴3的内孔。滑套21套在太阳轮驱动轴2的外面，与太阳轮驱动轴2滑动配合。滑套21的上端和下端分别由研磨盘驱动轴3内孔中的两个轴承22支承。托板7通过止推轴承23安装在太阳轮驱动轴2的下部，太阳轮驱动齿轮36固定在太阳轮驱动轴2的下端。
[0031] 太阳轮驱动轴2为空心轴，上研磨盘驱动机构包括中心轴4、上滑套23、下滑套24、上轴承25、下轴承26、中心轴轴承27、中心轴驱动齿轮28和上研磨盘的驱动盘30。中心轴4穿过太阳轮驱动轴2的内孔，驱动盘固定在中心轴4的上端，中心轴驱动齿轮28固定在中心轴4的下部，中心轴4的下端通过中心轴轴承27安装在机座19的下部。上滑套23和下滑套24分别套在中心轴4的上部和下部，与中心轴4滑动配合。上滑套23通过上轴承25安装在太阳轮驱动轴2内孔的上端，下滑套24通过上轴承25安装在太阳轮驱动轴2内孔的下端。
[0032] 内齿圈驱动机构包括齿圈支架、升降套31、齿圈驱动齿轮32和支架轴承33，齿圈支架包括支架34和轴承座38，支架34固定在轴承座38上。内齿圈11固定在支架上。轴承座38通过两个支架轴承33安装在升降套31上。升降套31松套在安装座1的外面，与安装座1滑动配合。升降套31坐落在螺套6上，由螺套6的顶面支承。齿圈驱动齿轮32固定在轴承座38的下部。
[0033] 本发明以上实施例要对太阳轮及内齿圈的高度进行调整时，可以按以下动作过程进行：
[0034] 1)开动升降电动机，通过V型皮带带动抬升减速机13转动；
[0035] 2)抬升减速机13的
输出轴通过驱动齿轮14带动螺套5旋转；
[0036] 3)螺套5旋转过程中，与螺套6旋合，螺套6将螺套5的旋转运动转化为竖直的直线运动；
[0037] 4)螺套6通过拉杆8带动托板7，托板7通过太阳轮驱动轴2带动太阳轮10做上下运动，与此同时，螺套6驱动升降套31，升降套31通过齿圈支架带动内齿圈11上下运动，实现太阳轮及内齿圈高度的调整。
[0038] 本发明以上实施例可以很方便的同时调整太阳轮及内齿圈的高度。仅通过控制升降
电机就可以完成对太阳轮及内齿圈高度调整，不用拆卸零件，不会更变设备装配精度，保证机床长期工作稳定性。本发明以上实施例对太阳轮及内齿圈高度可以实现无级调整，并且可以非常频繁地进行调整，太阳轮及内齿圈的磨损会非常均匀，使用寿命可以提高数倍。
