专利汇可以提供用于LED照明应用的、热沉中的电子器件的热隔离专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 电子 器件,所述电子器件用于提供改善的热传输能 力 ,用于保护热敏感电子装置,以及一种制造这种电子器件的方法。本发明还涉及这种电子装置的多种用途,所述用途包括用在诸如用于发 信号 、标志、 汽车 和照明应用的 LED灯 中,或用在显示装置中,或用在上述LED灯和显示装置的任意组合中。,下面是用于LED照明应用的、热沉中的电子器件的热隔离专利的具体信息内容。
1、一种电子器件,所述电子器件包括衬底、发热电子装置和其 它电子装置、用于热绝缘的装置和用于热耗散的装置,其中所述发热 电子装置和其它电子装置布置在衬底上,用于热绝缘的装置布置在衬 底中以防止热量从发热电子装置沿着第一方向向其它电子装置耗散, 其特征在于:用于热耗散的装置布置在衬底中,用于沿着与第一方向 不同的第二方向通过衬底来耗散热。
2、根据权利要求1所述的电子器件,其中所述衬底是导热的。
3、根据权利要求1或2所述的电子器件,其中所述衬底制作在 硅中。
4、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述衬 底包括热传导率在100W/K.m至200W/K.m之间、优选地为140W/K.m 的材料。
5、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述发 热电子装置包括发光器件(LED),优选地,高功率LED。
6、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述其 它电子装置包括集成电子元件、诸如二极管和/或晶体管之类的有源元 件、诸如电阻器、电容器、电感器之类的无源元件、或它们的组合。
7、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述其 它电子装置与发热电子装置连接,并且设置为控制发热电子装置的特 性,诸如LED的光输出颜色和/或光输出通量设置等。
8、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述用 于热绝缘的装置包括热传导率等于或小于100W/K.m,优选地,等于 或小于50W/K.m,优选地,等于或小于10W/K.m,优选地,2W/K.m 的材料。
9、根据权利要求8所述的电子器件,其中所述材料是氧化硅。
10、根据前述任何一项权利要求所述的电子器件,其中所述用于 热耗散的装置包括热传导率等于或大于200W/K.m,优选地,等于或 大于300W/K.m,更优选地,等于或大于400W/K.m的材料。
11、根据权利要求10所述的电子器件,其中所述用于热耗散的 装置包括金属材料,优选地,包括铜。
12、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述用 于热绝缘的装置占据衬底中的沟槽。
13、根据权利要求12所述的电子器件,其中所述沟槽相对于第 一方向横向延伸,优选地,穿过衬底至少一半的深度。
14、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述用 于热耗散的装置包括填充有热耗散材料的衬底通孔。
15、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述其 它电子器件还包括至少第一齐纳二极管,用于保护发热电子装置防止 静电放电(ESD)。
16、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件,其中所述器 件是芯片模块,优选地,多芯片模块。
17、一种用于制造电子器件的方法,所述电子器件包括衬底、发 热电子装置和其它电子装置、用于热绝缘的装置和用于热耗散的装置, 布置为保护其它电子装置免受发热电子装置的影响,所述方法包括以 下步骤:
将电子装置与衬底集成,
完成器件的扩散、隔离和连接,以及
在衬底中通过光刻技术形成窗口图案。
18、根据权利要求17所述的方法,其中所述方法还包括以下步 骤:
在窗口中刻蚀沟槽,
氧化衬底,
在沟槽中沉积导热性大于衬底的材料,
在实质上与第一表面相反的衬底表面上沉积电介质,并在所述电 介质中形成窗口图案,
在窗口中,从第二表面向第一表面干法刻蚀第二沟槽;
在第二沟槽中沉积氧化物;
在第二沟槽中沉积籽晶层;
在第二沟槽中生长电镀铜;以及
在衬底的第二表面上焊接管芯。
19、根据权利要求17或18任何一项所述的方法,其中所述方法 还包括以下步骤:
在衬底的第一表面上沉积非可氧化电介质,并在所述非可氧化电 介质中形成窗口图案;
干法刻蚀以去除沟槽外的TEOS,而保留沉积在沟槽中的TEOS;
对衬底的第二表面进行化学机械抛光,以去除不需要的铜残留 物;以及
在衬底的第二表面上沉积金属,优选地,沉积TiNiAg(钛、镍和 银)。
20、根据权利要求17至19中任何一项所述的方法,其中所述高 导热性材料包括四乙氧基硅烷(TEOS)氧化物。
21、根据权利要求18至20所述的方法,其中沉积所述籽晶层以 包括厚度在400至之间的钛和厚度在4000至之间的铜。
22、根据权利要求18至21任何一项所述的方法,其中刻蚀沟槽 的步骤优选地包括干法刻蚀。
23、根据权利要求18至22任何一项所述的方法,其中所述刻蚀 沟槽的步骤优选地包括刻蚀到30至50μm之间的范围内的深度。
24、根据前述权利要求中任何一项所述的电子器件的用途,所述 用途是用在用于发信号、标志、汽车和照明应用的LED灯中,或用在 显示装置中,或用在上述LED灯和显示装置的任意组合中。
本发明涉及一种电子器件,所述电子器件用于提供改善的热传输 能力,用于保护热敏感电子装置,以及一种制造这种电子器件的方法。 本发明还涉及所述电子器件针对多种应用的用途。
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