一种等离子体增强型化学气相沉积设备专利检索-等离子体增强化学气相沉积真空镀膜表面处理表面处理和涂层专利检索查询-专利查询网

一种 等离子体增强型 化学气相沉积设备

阅读：652发布：2020-05-12

专利汇可以提供一种等离子体增强型化学气相沉积设备专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。本发明电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀、稳定。，下面是一种等离子体增强型化学气相沉积设备专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述正负电极杆从所述炉管的后盖引入，所述正电极杆上靠近后盖的固定块为导电电极固定块，远离后盖的固定块为绝缘电极固定块，所述负电极杆上靠近后盖的固定块为绝缘电极固定块，远离后盖的固定块为导电电极固定块。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述正负电极杆分别从所述炉管的前盖和后盖引入，靠近引入侧的固定块为导体，远离引入侧的固定块为绝缘体。

说明书全文

一种等离子体增强型 化学气相沉积设备

技术领域

[0001] 本发明涉及太阳能电池制作设备技术领域，更具体地说是涉及一种等离子体增强型化学气相沉积设备。

背景技术

[0002] 等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）是当前薄膜太阳能电池的关键制备技术之一，如何实现大面积沉膜的均匀性，提高薄膜电池的效率及稳定性，是PECVD未来发展的重要方向，而大面积电容耦合PECVD影响沉膜均匀性的关键因素是：电场、温度场和流体场。随着技术发展，对产品的效率要求越来越高，出现了超大产能的PECVD设备，设备产能加大及石英管内部体积变大，所以电场、温度场和流体场都会更难保证稳定。

[0003] 图1是现有技术中一种产生电场的电极装置。如图1所示，通入石英管内部的正电极杆21和负电极杆22都是从炉管尾盖11进入，顶到石墨舟30上，在石墨舟30内部形成电场，这样电场就从整个石墨舟30的尾端传递到石墨舟30的前端，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场有很大差异。

发明内容

[0004] 为解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种等离子体增强型化学气相沉积设备，通过将电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀、稳定。

[0005] 本发明采用的技术方案为：一种等离子体增强型化学气相沉积设备，包括炉管，设于该炉管内的石墨舟和电极装置，该炉管由腔体、位于腔体两端的前盖和后盖组成，其特征在于，所述的电极装置包括两个分开设置并固定在所述的前盖和后盖上的电极固定杆和正负电极杆，所述的正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸。

[0006] 所述正负电极杆从所述炉管的后盖引入，所述正电极杆上靠近后盖的固定块为导电电极固定块，远离后盖的固定块为绝缘电极固定块，所述负电极杆上靠近后盖的固定块为绝缘电极固定块，远离后盖的固定块为导电电极固定块。

[0007] 所述正负电极杆分别从所述炉管的前盖和后盖引入，靠近引入侧的固定块为导体，远离引入侧的固定块为绝缘体。

[0008] 本发明提出的等离子体增强型化学气相沉积设备，正负电极杆分别使用固定块固定在电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸，这样电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀、稳定。附图说明

[0009] 图1为现有技术中的结构示意图；

[0010] 图2为本发明的结构示意图；

[0011] 图3为从图2 中底面看的结构示意图。

具体实施方式

[0012] 如图2和图3所示，本发明提出的等离子体增强型化学气相沉积设备包括炉管、石墨舟30和电极装置，炉管由腔体、位于腔体两端的前盖12和后盖11组成，石墨舟30和电极装置设于该炉管内。

[0013] 电极装置包括两个分开设置并固定在前盖12和后盖11上的电极固定杆40和正负电极杆，正负电极杆分别使用固定块固定在电极固定杆40上，并在整个石墨舟30长度上延伸。

[0014] 本实施例中，正负电极杆从所述炉管的后盖引入，正电极杆21上靠近后盖11的固定块为导电电极固定块51，远离后盖11的固定块为绝缘电极固定块52，负电极杆22上靠近后盖11的固定块为绝缘电极固定块52，远离后11盖的固定块为导电电极固定块51。正负电极杆也可以分别从炉管的前盖和后盖引入，靠近引入侧的固定块为导电电极固定块，远离引入侧的固定块为绝缘电极固定块。

[0015] 正负电极杆包括直线段和弯折段，直线段的后端固定在导电电极固定块51上，弯折段的前端固定在导电电极固定块51上，导电电极固定块51固定在电机固定杆40上。

[0016] 正电极杆21包括直线段和弯折段，该弯折段呈直角弯折两次，弯折段先呈直角向下弯折，然后再呈直角向外水平弯折靠近电极固定杆40，弯折段的前端与电极固定杆40平行，弯折段的前端固定在导电电极固定块51上，直线段靠近电极固定杆40且与电极固定杆40平行，直线段的后端固定在导电电极固定块51，同时该导电电极固定块51固定在电极固定杆40上，直线段上靠近石墨舟30尾端的位置处固定在导电电极固定块51上，该导电电极固定块51固定在电极固定杆40上及石墨舟30的尾端上，直线段的前端固定在绝缘电极固定块52上，该绝缘电极固定块52固定在电极固定杆40上及石墨舟30的前端上，这样正电极杆
21直接从石墨舟的尾端导电。

[0017] 负电极杆22包括直线段和弯折段，该弯折段呈直角弯折两次，弯折段先呈直角向下弯折，然后再呈直角向外水平弯折靠近电极固定杆40，弯折段的前端与电极固定杆40平行，弯折段的前端固定在导电电极固定块51上，直线段靠近电极固定杆40且与电极固定杆40平行，直线段的后端固定在导电电极固定块51，同时该导电电极固定块51固定在电极固定杆40上，直线段上靠近石墨舟30尾端的位置处固定在绝缘电极固定块52，该绝缘电极固定块52固定在电极固定杆40上及石墨舟30的尾端上，直线段的前端固定在导电电极固定块
51上，该导电电极固定块51固定在电极固定杆40上及石墨舟30的前端上，这样负电极杆22直接从石墨舟的前端导电。

[0018] 本发明通过将正负电极杆分别使用固定块固定在所述的电极固定杆上，并在整个石墨舟长度上延伸，这样电场从石墨舟前后两端导入，使得石墨舟尾部电场与石墨舟前部电场差异减小，整个石墨舟电场更加均匀。另外，从石墨舟前端导电的电极杆通过固定块固定在电极固定杆或石墨舟上，这样使得从石墨舟前端导电的电极杆能够长期在高温环境下不变型。

[0019] 以上的具体实施例仅用以举例说明本发明的构思，本领域的普通技术人员在本发明的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本发明的保护范围之内。

标题	发布/更新时间	阅读量
等离子体增强化学气相沉积腔室背板强化	2020-05-13	526
等离子体增强化学气相沉积装置	2020-05-12	491
大面积平板式等离子体增强化学气相沉积系统	2020-05-14	448
一种螺旋波等离子体增强化学气相沉积装置	2020-05-14	298
透明导电膜的等离子体增强化学气相沉积设备	2020-05-14	659
一种弧形电极等离子体增强化学气相沉积装置	2020-05-13	882
加热腔室及等离子体增强化学气相沉积装置	2020-05-13	698
等离子体增强式化学气相沉积处理方法	2020-05-14	498
上电极结构及等离子体增强化学气相沉积装置	2020-05-15	229
一种等离子体增强式化学气相沉积处理方法	2020-05-15	841

一种等离子体增强型化学气相沉积设备

一种等离子体增强型化学气相沉积设备

技术领域

背景技术

发明内容

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：