专利汇可以提供嵌入式薄层电容器、分层结构、及其制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种薄层电容器,其包括第一和第二金属 电极 层以及置于金属层之间的具有 介电常数 至少为15的基于BiZnNb(铋锌铌)的非晶体金属 氧 化物介电层,并且涉及一种具有其的分层结构。分层结构包括:第一金属电极层,形成在基于 聚合物 的复合衬底上;介电层,形成在第一金属电极层上,且由具有介电常数至少为15的基于BiZnNb的非晶体金属氧化物制成;以及第二金属电极层,形成在介电层上。本发明中的基于BiZnNb的非晶体金属氧化物在未经过用于结晶的 热处理 的情况下具有高介电常数,这对于制造基于聚合物的分层结构(例如PCB)的薄层电容器是有用的。,下面是嵌入式薄层电容器、分层结构、及其制造方法专利的具体信息内容。
1.一种薄层电容器,包括第一和第二金属电极层以及置于所述金属层之间的基于BiZnNb的金属氧化物的介电层,其中所述基于BiZnNb的金属氧化物表示为BixZnyNbzO7,其中1.3<x<2.0,0.8<y<1.5,且1.4<z<1.6,所述介电层的介电常数至少为15,其中,所述介电层使用低温沉积在达到100℃的温度时形成,由此所述介电层具有非晶态。
2.根据权利要求1所述的薄层电容器,其中,所述介电层的介电常数至少为30。
3.根据权利要求1所述的薄层电容器,其中,所述介电层的厚度为50nm到1μm。
4.根据权利要求1所述的薄层电容器,其中,所述第一和第二金属电极层中的至少一个是由选自包括Cu、Ni、Al、Pt、Ta和Ag的组中的至少一种制成的。
5.根据权利要求1所述的薄层电容器,还包括缓冲层,在所述第一和第二金属电极层中的至少一个和所述介电层之间,以增强所述至少一个金属电极层和所述介电层之间的粘附力。
6.根据权利要求5所述的薄层电容器,其中,所述缓冲层由Ni制成。
7.一种分层结构,包括:
第一金属电极层,形成在基于聚合物的复合衬底上;
介电层,形成在所述第一金属电极层上,所述介电层由介电常数至少为15的基于BiZnNb的金属氧化物制成,其中所述基于BiZnNb的金属氧化物表示为BixZnyNbzO7,其中
1.3<x<2.0,0.8<y<1.5,且1.4<z<1.6,其中所述介电层使用低温沉积在达到
100℃的温度时形成,由此所述介电层具有非晶态;以及
第二金属电极层,形成在所述介电层上。
8.根据权利要求7所述的分层结构,其中,所述介电层的介电常数至少为30。
9.根据权利要求7所述的分层结构,其中,所述介电层的厚度为50nm到1μm。
10.根据权利要求7所述的分层结构,其中,所述第一和第二金属电极层中的至少一个是由选自包括Cu、Ni、Al、Pt、Ta和Ag的组中的至少一种制成的。
11.根据权利要求7所述的分层结构,还包括缓冲层,在所述第一和第二金属电极层中的至少一个和所述介电层之间,以增强所述第一和第二金属电极层中的至少一个和所述介电层之间的粘附力。
12.根据权利要求11所述的分层结构,其中,所述缓冲层由Ni制成。
13.根据权利要求7所述的分层结构,其中,所述基于聚合物的复合衬底包括聚酰亚胺或环氧树脂。
14.根据权利要求7所述的分层结构,包括印刷电路板(PCB)。
15.一种薄层电容器的制造方法,包括以下步骤:
在第一金属电极层上形成介电层,所述介电层由介电常数至少为15的基于BiZnNb的金属氧化物制成,其中所述基于BiZnNb的金属氧化物表示为BixZnyNbzO7,其中1.3<x<2.0,0.8<y<1.5,且1.4<z<1.6,其中所述介电层使用低温沉积在达到100℃的温度时形成;以及
在所述介电层上形成第二电极层。
16.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,其中,形成介电层的步骤包括选自包括低温溅射、脉冲激光沉积和化学气相沉积的组中的一种。
17.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,还包括在所述形成介电层的步骤之后,在所述金属氧化物不结晶的温度范围进行热处理的步骤。
18.根据权利要求17所述的薄层电容器的制造方法,其中,所述介电层的所述热处理可以在100℃到200℃的温度范围内执行。
19.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,其中,所述介电层的介电常数至少为30。
20.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,其中,所述介电层的厚度为50nm到1μm。
21.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,其中,形成第二金属电极层的步骤包括选自包括低温下可进行的溅射、蒸发、无电镀的组中的一个。
22.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,其中,所述第一和第二金属电极层中的至少一个是由选自包括Cu、Ni、Al、Pt、Ta和Ag的组中的至少一种制成的。
23.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,还包括在形成所述介电层的步骤之前,在所述第一金属电极层和所述介电层之间形成缓冲层,以增强所述第一金属电极层和所述介电层之间的粘附力的步骤。
24.根据权利要求15所述的薄层电容器的制造方法,还包括在形成所述介电层的步骤和形成所述第二金属电极层的步骤之间,在所述第二金属电极层和所述介电层之间形成缓冲层,以增强所述第二金属电极层和所述介电层之间的粘附力的步骤。
25.根据权利要求24所述的薄层电容器的制造方法,其中,所述缓冲层由Ni制成。
26.一种分层结构的制造方法,包括以下步骤:
在基于聚合物的复合衬底上形成第一金属电极层;
在所述第一金属电极层上形成介电层,所述介电层由介电常数至少为15的基于BiZnNb的金属氧化物制成,其中,所述基于BiZnNb的金属氧化物被表示为BixZnyNbzO7,其中
1.3<x<2.0,0.8<y<1.5,且1.4<z<1.6。,其中所述介电层使用低温沉积在达到
100℃的温度时形成;以及
在所述介电层上形成第二金属电极层。
27.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,形成介电层的步骤包括选自包括低温溅射、PLD和CVD的组中的一种。
28.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,还包括在所述形成介电层的步骤之后,在所述金属氧化物不结晶和所述衬底不变形的条件下执行热处理的步骤。
29.根据权利要求28所述的分层结构的制造方法,其中,所述介电层的所述热处理在
100℃到200℃的温度范围内执行。
30.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,所述介电层的介电常数至少为30。
31.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,所述介电层的厚度为50nm到
1μm。
32.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,形成所述第一和第二金属电极层的所述步骤包括选自包括低温溅射、蒸发和无电镀的组中的一种。
33.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,所述第一和第二金属电极层中的至少一个是由选自包括Cu、Ni、Al、Pt、Ta和Ag的组中的至少一种制成的。
34.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,还包括在形成所述介电层的所述步骤之前,在所述第一金属电极层和所述介电层之间形成缓冲层,以增强所述第一金属电极层和所述介电层之间的粘附力的步骤。
35.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,还包括在所述形成所述介电层的步骤和所述形成所述第二金属电极层的所述步骤之间,在所述第二金属电极层和所述介电层之间形成缓冲层,以增强所述第二金属电极层和所述介电层之间的粘附力。
36.根据权利要求34或35所述的分层结构的制造方法,其中,所述缓冲层由Ni制成。
37.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,所述基于聚合物的复合衬底包括聚酰亚胺或环氧树脂。
38.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,其中,所述分层结构包括印刷电路板(PCB)。
39.根据权利要求26所述的分层结构的制造方法,还包括在所述第二金属电极层上压制所述基于聚合物的复合衬底的步骤。
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