专利汇可以提供一种单层多晶硅、多位的非易失性存储元件及其制造方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种非易失性存储元件,包括 基板 与形成于基板上的 电介质 层。控制栅极与两个浮动栅极形成于电介质层上,所述两个浮动栅极分别形成于控制栅极的两侧。因此,该非易失性存储元件可利用单一多晶 硅 工艺而形成,该工艺与传统互补金属 氧 化物 半导体 场效应晶体管 工艺兼容。此外,该器件可储存二位数据,各储存于每一浮动栅极中。该器件可包括两个扩散区域于基板中、并分别接近每一浮动栅极,或包括四个扩散区域、并分别接近每一浮动栅极的每一边缘。,下面是一种单层多晶硅、多位的非易失性存储元件及其制造方法专利的具体信息内容。
1、一种非易失性存储元件,包括:
基板;
电介质层,其形成于该基板上;
控制栅极,其形成于该电介质层上;
第一浮动栅极,其形成于该电介质层上并位于该控制栅 极的一侧;
第二浮动栅极,其形成于该电介质层上并位于该控制栅 极的另一侧;
第一扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮动栅极 处;以及
第二扩散区域,其形成于该基板中接近该第二浮动栅极 处。
2、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该基 板为p型基板。
3、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该基 板为n型基板。
4、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该第 一与第二浮动栅极以及控制栅极,可利用单一多晶硅工艺而 制造。
5、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该控 制栅极与该第一扩散区域配置成施加至控制栅极以及第一 扩散区域的电压与该第一浮动栅极耦合。
6、如权利要求5所述的非易失性存储元件,其中介于 该控制栅极与该第一浮动栅极之间的电容,为介电常数乘以 该控制栅极的高度,再乘以该控制栅极的宽度,而接着除以 介于该控制栅极与该浮动栅极之间的距离。
7、如权利要求6所述的非易失性存储元件,其中该控 制栅极的高度约为800至1500埃(angstrom)。
8、如权利要求6所述的非易失性存储元件,其中介于 该控制栅极与该第一浮动栅极之间的距离约为160至300 埃。
9、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中介于 该第一浮动栅极与该第一扩散区域之间的电容,为介电常数 乘以在该第一浮动栅极之下、该第一扩散区域之上的该电介 质层的长度,再乘以该第一浮动栅极的宽度,而接着除以该 电介质层的厚度。
10、如权利要求9所述的非易失性存储元件,其中位于 该第一浮动栅极之下、该第一扩散区域之上的该电介质层的 长度,约为100至300埃。
11、如权利要求9所述的非易失性存储元件,其中该电 介质层的厚度约为50至250埃。
12、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该控 制栅极与该第二扩散区域,配置成通过施加至该控制栅极及 该第二扩散区域的电压而与该第二浮动栅极耦合。
13、如权利要求12所述的非易失性存储元件,其中介 于该控制栅极与该第二浮动栅极之间的电容,为介电常数乘 以该控制栅极的高度,再乘以该控制栅极的宽度,而接着除 以介于该控制栅极与该浮动栅极之间的距离。
14、如权利要求13所述的非易失性存储元件,其中该 控制栅极的高度约为800至1500埃。
15、如权利要求13所述的非易失性存储元件,其中介 于该控制栅极与该第二浮接电极之间的距离为约160至300 埃。
16、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中介于 该第二浮动栅极与该第二扩散区域之间的电容为介电常数 乘以该电介质层的长度,再乘以该第二浮动栅极的宽度,而 接着除以该电介质层的厚度,其中该电介质层位于该第二浮 动栅极之下以及该第二扩散区域之上。
17、如权利要求16所述的非易失性存储元件,其中位 于该第二浮动栅极之下以及该第二扩散区域之上的该电介 质层的长度为约100至300埃。
18、如权利要求9所述的非易失性存储元件,其中该电 介质层的厚度为约50至250埃。
19、如权利要求1所述的非易失性存储元件,还包括第 三扩散区域、以及第四扩散区域,该第三扩散区域形成于该 基板中接近该第一浮动栅极与该控制栅极处,该第四扩散区 域形成于该基板中接近该第二浮动栅极与该控制栅极处。
20、如权利要求1所述的非易失性存储元件,其中该器 件配置成存储二位的信息。
21、在包括有基板、电介质层、第一浮动栅极、第二浮 动栅极、以及控制栅极均形成于该电介质层之上、第一扩散 区域形成于该基板中接近该第一浮动栅极处、以及第二扩散 区域形成于该基板中接近该第二浮动栅极处的非易失性存 储元件中,一种用以对该器件进行编程的方法,包括:
施加高电压至该控制栅极,其中配置该控制栅极以将该 所施加电压与该第一浮动栅极耦合,以在该基板中该第一浮 动栅极之下生成沟道;以及
施加高电压至该第一扩散区域,并施加低电压至该第二 扩散区域,以生成高水平电场于该第一与第二扩散区域之 间。
22、如权利要求21所述的方法,其中所施加至该控制 栅极的该高电压为约8至12伏特。
23、如权利要求21所述的方法,其中所施加至该第一 扩散区域的该高电压为约4至6伏特。
24、如权利要求21所述的方法,还包括注入电荷于该 第二浮动栅极中,其中注入电荷于该第二浮动栅极的步骤系 包括:
施加高电压至该控制栅极,其中配置该控制栅极以将所 施加的电压与该第二浮动栅极耦合,以在该基板中位于该第 二浮动栅极之下处生成沟道;以及
施加高电压至该第二扩散区域,并施加低电压至该第一 扩散区域,以生成高水平电场于该第一与第二扩散区域之 间。
25、如权利要求21所述的方法,其中该器件还包括第 三扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮动栅极与该控 制栅极处;以及第四扩散区域,其形成于该基板中接近该第 二浮动栅极与该控制栅极处,且其中用以注入电荷于该第一 浮动栅极的该高水平电场,形成于该第一与该第三扩散区域 之间。
26、如权利要求21所述的方法,其中该器件还包括第 三扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮动栅极与该控 制栅极处;以及第四扩散区域,其形成于该基板中接近该第 二浮动栅极与该控制栅极处,且其中用以注入电荷于该第二 浮动栅极的该高水平电场,形成于该第二与该第四扩散区域 之间。
27、在包括有基板、电介质层、第一浮动栅极、第二浮 动栅极、以及控制栅极均形成于该电介质层之上、第一扩散 区域形成于该基板中接近该第一浮动栅极处、以及第二扩散 区域形成于该基板中接近该第二浮动栅极处的非易失性存 储元件中,一种用以擦除该器件的方法,包括:
施加大负电压至该控制栅极,配置该控制栅极以将该所 施加的电压与该第一浮动栅极耦合;
施加高电压至该第一扩散区域,其中生成于该第一浮动 栅极与该第一扩散区域之间的电场生成次要载流子于该第 一扩散区域中,并提供该些次要载流子足够的能量以注入穿 透该电介质层,并注入该第一浮动栅极中;以及
施加低电压至该第二扩散区域。
28、如权利要求27所述的方法,其中还包括第三扩散区 域,其形成于该基板中接近该第一浮动栅极与该控制栅极 处;以及第四扩散区域,其形成于该基板中接近该第二浮动 栅极与该控制栅极处,且该器件的擦除包括使该器件受到紫 外线(UV)照射。
29、在包括有基板、电介质层、第一浮动栅极、第二浮 动栅极、以及控制栅极均形成于该电介质层之上、第一扩散 区域形成于该基板中接近该第一浮动栅极处、以及第二扩散 区域形成于该基板中接近该第二浮动栅极处的非易失性存 储元件中,一种用以擦除该器件的方法,包括:
施加大负电压至该控制栅极,配置该控制栅极以将该所 施加的电压与该第一浮动栅极耦合;
施加高电压至该第一扩散区域,其中生成于该第一浮动 栅极与该第一扩散区域之间的电场生成次要载流子于该第 一扩散区域中,并提供该些次要载流子足够的能量以注入穿 透该电介质层,并注入该第一浮动栅极中;以及
施加低电压至该第二扩散区域。
30、如权利要求29所述的方法,其中施加至该控制栅 极的该大负电压约为-15至-25伏特。
31、如权利要求29所述的方法,其中所施加至该第一 扩散区域的高电压约为4至6伏特。
32、如权利要求29所述的方法,还包括致使空穴注入 该第二浮动栅极,其中致使空穴注入该第二浮动栅极的步骤 包括:
施加大负电压至该控制栅极,配置该控制栅极以将所施 加的电压与该第二浮动栅极耦合;
施加高电压至该第二扩散区域,其中生成于该第二浮动 栅极与该第二扩散区域之间的电场,生成次要载流子于该第 二扩散区域中,并提供该些次要载流子足够的能量以注入穿 透该电介质层,并注入该第二浮动栅极中;以及
施加低电压至该第一扩散区域。
33、如权利要求29所述的方法,其中该非易失性存储 元件还包括第三扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮 动栅极与该控制栅极处;以及第四扩散区域,其形成于该基 板中接近该第二浮动栅极与该控制栅极处。
34、在包括有基板、电介质层、第一浮动栅极、第二浮 动栅极、以及控制栅极均形成于该电介质层之上、第一扩散 区域形成于该基板中接近该第一浮动栅极处、以及第二扩散 区域形成于该基板中接近该第二浮动栅极处的非易失性存 储元件中,一种用以读取该器件的该第一浮动栅极的方法, 包括:
施加高电压至该控制栅极;
施加低电压至该第一扩散区域;以及
施加高电压至该第二扩散区域。
35、如权利要求34所述的方法,其中施加至该控制栅 极的该高电压为约5至9伏特。
36、如权利要求34所述的方法,其中施加至该第二扩 散区域的高电压为约1至2.5伏特。
37、如权利要求34所述的方法,其中施加至该第一扩 散区域的低电压为约0伏特。
38、如权利要求34所述的方法,其中该非易失性存储 元件还包括第三扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮 动栅极与该控制栅极处;以及第四扩散区域,其形成于该基 板中接近该第二浮动栅极与该控制栅极处。
39、在包括有基板、电介质层、第一浮动栅极、第二浮 动栅极、以及控制栅极均形成于该电介质层之上、第一扩散 区域形成于该基板中接近该第一浮动栅极处、以及第二扩散 区域形成于该基板中接近该第二浮动栅极处的非易失性存 储元件中,一种用以读取该器件的第二浮动栅极的方法,包 括:
施加高电压至该控制栅极;
施加高电压至该第一扩散区域;以及
施加低电压至该第二扩散区域。
40、如权利要求39所述的方法,其中施加至该控制栅 极的该高电压为约5至9伏特。
41、如权利要求39所述的方法,其中施加至该第一扩 散区域的高电压为约1至2.5伏特。
42、如权利要求39所述的方法,其中施加至该第二扩 散区域的该低电压为约0伏特。
43、如权利要求39所述的方法,其中该非易失性存储 元件还包括第三扩散区域,其形成于该基板中接近该第一浮 动栅极与该控制栅极处;以及第四扩散区域,其形成于该基 板中接近该第二浮动栅极与该控制栅极处。
44、一种制造易失性存储元件的方法,包括:
形成控制栅极结构于基板上;
形成第一浮动栅极结构于该基板上、位于该控制栅极结 构的一侧处;
形成第二浮动栅极结构于该基板上、位于该控制栅极的 另一侧处;
形成第一扩散区域于该基板中接近该第一浮动栅极结 构处;以及
形成第二扩散区域于该基板中接近该第二浮动栅极结 构处。
45、如权利要求44所述的方法,还包括形成第三扩散 区域于该基板中接近该第一浮动栅极结构与该控制栅极结 构处。
46、如权利要求45所述的方法,还包括形成第四扩散 区域于该基板中接近该第二浮动栅极结构与该控制栅极结 构处。
47、如权利要求44所述的方法,其中形成该第一浮动 栅极结构、该第二浮动栅极结构、以及该控制栅极结构的步 骤包括:
沉积电介质层于该基板上;
沉积多晶硅层于该电介质层上;
利用光刻胶层定义该多晶硅层;以及
蚀刻该经定义的多晶硅层与该电介质层。
48、如权利要求47所述的方法,其中该电介质层与该 多晶硅层利用化学气相沉积法而沉积。
49、如权利要求48所述的方法,其中该电介质层系利 用高密度等离子体化学气相沉积法而沉积。
50、如权利要求44所述的方法,还包括形成氧化物隔 离物于所述栅极结构之间。
本发明的实施例涉及非易失性存储元件,尤其涉及一种 与互补金属氧化物半导体场效应晶体管工艺兼容的单层多晶硅非易 失性存储元件。
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