一种化学气相沉积装置
专利汇可以提供一种化学气相沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 化学气相沉积 装置，所述化学气相沉积装置包括扩散器，用于扩散待沉积气体，以形成 薄膜 ；载台，用于放置待沉积 基板 ，所述载台与所述扩散器相对设置；在所述扩散器和所述载台之间设置有至少一组光距离检测组件，所述光距离检测组件用于测量所述扩散器和所述载台之间的间距。本发明的化学气相沉积装置，通过在扩散器和载台之间设置光距离检测组件，该光距离检测组件用于检测扩散器和所述载台之间的间距，由于检测过程不需要进行降温处理，因此提高了生产效率。，下面是一种化学气相沉积装置专利的具体信息内容。
1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括：
扩散器，用于扩散待沉积气体，以形成薄膜；
载台，用于放置待沉积基板，所述载台与所述扩散器相对设置；在所述扩散器和所述载台之间设置有至少一组光距离检测组件，所述光距离检测组件用于测量所述扩散器和所述载台之间的间距；
所述化学气相沉积装置还包括固定板和第一调节组件，所述固定板与所述扩散器相对设置；所述第一调节组件位于所述固定板和所述扩散器之间；所述光距离检测组件包括光发射器和光接收器，所述光发射器位于所述扩散器的内表面，所述光接收器位于所述载台的内表面；所述扩散器的内表面上还设置有第一保护罩，所述第一保护罩包裹在所述光发射器外；所述载台的内表面上还设置有第二保护罩，所述第二保护罩包裹在所述光接收器外；
在具体使用过程中，当所述化学气相沉积装置复位时，通过所述光距离检测组件获得各个预设检测区域中所述扩散器与所述载台之间的间距，以作为标准值；
当高温和重力使所述扩散器发生形变时，通过所述光距离检测组件测量个预设检测区域的距离值，将所述距离值与所述标准值进行比较；
若所述距离值与所述标准值不相等，则通过调节所述第一调节组件，使恢复所述扩散器与所述固定板之间的间距恢复至所述标准值。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述光接收器的位置与所述光发射器的位置相对应。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，在所述扩散器上设置有第一凹槽，所述光发射器位于所述第一凹槽中。
4.根据权利要求3所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述光发射器的顶部与所述扩散器的内表面位于同一平面内。
5.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，在所述载台上设置有第二凹槽，所述光接收器位于所述第二凹槽中。
6.根据权利要求5所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述光接收器的顶部与所述载台的内表面位于同一平面内。
7.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一保护罩的材料和所述第二保护罩的材料都为耐高温可透光材料。
8.根据权利要求7所述的化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一保护罩的顶部与所述扩散器的内表面位于同一平面内。
一种化学气相沉积装置
【技术领域】
子团；离子或离子团通过扩散方式到达固体基板表面发生化学反应生成固态产物并沉积在
基板表面；在成膜过程中，成膜腔室会产生等离子体来进行辅助成膜，为了使得膜厚均匀，
扩散器和载台必须有相同的间距。
降至室温，然后在扩散器与载台之间的多个监测区域设置测试间距的工具，通过调节使间
距一致，然而每次调整需要降温，延长了生产周期，导致生产效率较低。
所述载台之间的间距。
测距离，因此不需要在检测过程中进行降温处理，提高了生产效率。
【附图说明】
限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
组件13为三组，但是并不能对本发明构成限定，该装置100可以设置一组、两组或者三组以
上的光距离检测组件13。当该装置100包括一组光距离检测组件13时，该光距离检测组件13
可以设置在扩散器12的中间位置处。
件。在一实施例中，该光接收器132为红外接收器，该发射器131为红外发射器。
131和光接收器132为耐高温的器件。
的尺寸略大于该光发射器131的尺寸。从而便于待沉积气体的扩散，进而使得在基板上沉积
的薄膜更加均匀。在一实施方式中，该光发射器131的底部粘结在第一凹槽121内。
使得最后沉积的薄膜更加均匀。
形状相匹配。且该第二凹槽111的尺寸略大于该光接收器132的尺寸。在一实施方式中，该光
接收器132的底部粘结在第二凹槽111内。
加均匀。
内表面上还设置有第一保护罩31，该第一保护罩31包裹在该光发射器131外；该载台11的内
表面上还设置有第二保护罩32，该第二保护罩32包裹在该光接收器132外。该第一保护罩31
的尺寸可以略大于该光发射器131的尺寸，该第二保护罩32的尺寸可以略大于该光接收器
132的尺寸。
中，该第一保护罩31的材料和该第二保护罩32的材料都为耐高温可透光材料。
距离检测组件可以降低生产成本。
而使得最后沉积的薄膜更加均匀。
散器12的内表面；该光发射器131位于该载台11的内表面。
12的上方，而载台11位于扩散器12的下方。
固定在固定板14上，以防止扩散器12发生形变。此外，该第一调节组件15还可以用来调整该
扩散器12与该固定板14之间的间距，从而使得载台11与扩散器12之间的间距保持一致。
间的间距。其中该第二调节组件16用于小幅度地调节扩散器14和载台12之间的间距，而该
第一调节组件15用于大幅度地调整该扩散器12与该固定板14之间的间距。
将扩散器12向上调节一定的幅度，该幅度等于距离值与标准值之间的差值，从而使得扩散
器12与该固定板14之间的间距一致，进而使薄膜更加均匀。
距离，因此不需要在检测过程中进行降温处理，提高了生产效率。
饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
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