专利汇可以提供化学气相沉积设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及高熔点金属(难熔金属及贵金属) 化学气相沉积 制备所用的专用设备。设备由3部分组成:(一)主体结构;(二)动 力 传动装置;(三)气体调配系统。主体部分结构由5个功能部件组成,分别为:沉积室(I),密封室(II),蜗轮箱(III),升降操纵箱(IV),热电势 信号 接转装置(V)。本发明在于实现基体沉积件在高温、高 真空 或多种气氛(氩气、 氧 气、氯气、一氧化 碳 以及甲烷等)条件下,按设定参数进行材料的沉积,基体可进行轴向圆周、螺旋以及自动循环运动。输入 温度 、气氛压力和流量均可精确控制。所制备的难熔金属和贵金属材料的致密性达到或接近理论 密度 ,硬度( 耐磨性 )超过熔铸和粉末 冶金 法生产的同类材料。,下面是化学气相沉积设备专利的具体信息内容。
1.一种化学气相沉积设备,由连接在一起的3部分组成,它们是:(一)主体结构、(二)动 力传动装置、(三)气体调配系统,其特征在于:所述的主体结构由5个功能部件组成,分别为: 沉积室(I),密封室(II),蜗轮箱(III),升降操纵箱(IV)以及热电势信号接转装置(V),所述 的沉积室(I)安装在密封室(II)上,所述的蜗轮箱(III)与密封室(II)下部连接,所述的升降 操纵箱(IV)与蜗轮箱(III)相连接,所述的热电势信号接转装置(V)连接于密封室(II)下部, 热电势信号接转装置(V)由外壳(13)、转轴(14)、滑环(12)和电刷(11)组成一个与外界环 境呈封闭的部件,外壳与开有导槽的固定支板(15)相连,转轴用螺纹与花键螺杆轴(1)连接并 以螺母锁紧;所述热电势信号接转装置(V)能够实现热电信号的旋转传输。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的沉积室(I)由安装在密封室 (II)上的石英管(7)和密封组件,电炉(8),热电偶以及DWT-702温度调节仪构成,沉积基体 支承在花键螺杆轴(1)上,感应圈(5)通过电控柜监控的中频感应电源加热沉积基体。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的密封室(II)由三层夹套组 成,中心的密封组件对花键螺杆轴(1)作动密封,中间夹套形成一定空间与沉积室沟通,经真空 阀门接真空系统或废气排放及净化系统,外层腔体通冷却水。
4.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的蜗轮箱(III)与密封室(II) 下部连接的蜗轮用花键螺杆轴(1)连接。
5.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的升降操纵箱(IV)与蜗轮箱 (III)相连接后固定于机架(K)上,内有两端带端尺的诱导螺母(6),该部壳体开有滑槽,滑键 (3)装入其中并与电磁铁连接,可在滑槽中作上下滑动,通过电控控制电磁铁(2),实现基体轴 向、圆周、螺旋及自动循环运动,在诱导螺母(6)的下方与花键螺杆轴(1)的上方设有一离合 块(9)与滑键(3)连接,滑键(3)向上到位时它与诱导螺母(6)接合。
6.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的热电势信号接转装置(V) 由外壳(13),转轴(14),滑环(12),电刷(11)组成一个与外界环境呈封闭的部件,外壳与开 有导槽的固定支板(15)相连,转轴用螺纹与花键螺杆轴(1)连接并以螺母锁紧,热电偶取得的 温度信号通过滑环-电刷输出至温度监控系统进行自动控制。
7.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的动力传动装置由调频器(22) 对防腐电机(21)进行调制,经皮带轮(A)(B)(C)(D)和蜗杆(E)、蜗轮(F)三级减速后 到达花键螺杆轴。
8.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备,其特征在于所述的气体调配系统由气体钢瓶 (31)供给经质量流量控制器(36)、流量显示仪(37)作自动监控输入主体结构的沉积室,废气 由真空机组(312)从主体结构的密封室抽出,经过净化系统(314)排出。
本发明涉及一种制备难熔金属和贵金属的化学气相沉积设备,特别是涉及高熔点金属及贵金 属的化学气相沉积制备所用的专用设备。
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