一种电沉积装置
阅读：39发布：2020-05-12
专利汇可以提供一种电沉积装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 电沉积 装置，包括 阴极 和 阳极 ，阳极包括阳极套、阳极金属、阳极板、 配重 块 及盖板；阳极金属、阳极板、配置块置于阳极套内，阳极板置于所述阳极金属上，配重块置于所述透 水 阳极板的边端上，盖板盖于阳极套上，且盖板中间设有入水口。阳极套由透水有机 纤维 布、滤 棉 、增强刚性耐蚀绝缘骨架构成，阳极板由 碳 纤维毡和耐蚀金属骨架构成，配重块由高比重耐蚀金属构成，盖板由耐蚀绝缘板构成。本发明使阴阳极区内液流不存在滞留区；液流流速大，冲刷效果明显。，下面是一种电沉积装置专利的具体信息内容。
一种电沉积装置
技术领域
[0001] 本发明涉及一种电沉积装置，属于电共相沉积法生产微晶金属技术领域。 背景技术
[0002] 现有的一种用于电共相沉积的装置，如图1所示，包括阴极1’和阳极2’，工件4’置于阴极1’处，阳极2’为高耐蚀不溶性阳极，阴极1’与阳极2’之间为盐溶液3’，置于盐溶液槽(图未示)内，其中盐溶液3’为选取各种组分金属的盐后按比例预先混合成的盐溶液，在生产过程中，盐溶液3’的浓度下降，通过定时添加高浓度混合盐来补充与维持盐溶液的浓度。这种装置产生的问题是：采用的直流电源会发生倒灌现象；盐溶液的补充靠经验判断往往不准确，或者通过化学分析然后再添加补充盐离子浓度，往往用时长，难以及时维护。
发明内容
[0004] 所采用的技术方案为：
[0005] 一种电沉积装置，包括阴极和阳极，其特征在于：还包括高频电源与电源分配器，所述电源分配器一端与高频电源电连接，另一端分别与阳极、阴极电连接；所述阳极由多个阳极组组成，所述阳极组包括阳极套、阳极金属、阳极板、配重块及盖板；所述阳极金属、阳极板、配置块置于阳极套内，所述阳极板置于所述阳极金属上，所述配重块置于所述透水阳极板的边端上，所述盖板盖于阳极套上。
[0006] 优选的，所述阳极组为三组。
[0007] 所述电源分配器穿过盖板与阳极组的阳极板电连接。
[0008] 按合成金属元素数量将阳极套和阳极板分成几组，根据需求将高频电源输出的电流经由电源分配器以时间分配的方式或功率分配的方式施于各阳极板，进一步施于各阳极金属，阳极金属作为阳极反应区，从而在生产过程中，确保各阳极相位一致防止电源电流倒灌；又可适时按比例溶解各阳极金属，确保合 成盐溶液中各金属离子浓度。 附图说明
[0009] 图1为背景技术电沉积装置的结构示意图；
[0010] 图2为本发明的结构示意图。
具体实施方式
[0011] 下面结合附图，对本发明做进一步的阐述。
[0012] 如图2所示，一种电沉积装置，包括阴极1、阳极2、高频电源3与电源分配器4，电源分配器4一端与高频电源3电连接，另一端分别与阳极2、阴极电连接(图未示)；阴极1和阳极2之间为盐溶液6，置于盐溶液槽(图未示)内，阳极由3个阳极组组成，每个阳极组包括阳极套21、多块阳极金属22、阳极板23、配重块24及盖板25；阳极金属22、阳极板23、配置块24置于阳极套21内，其中，阳极板23置于阳极金属22上，配重块24置于阳极板23的边端上，盖板25盖于阳极套21上。电源分配器4通过导线穿过盖板25与阳极组的阳极板23电连接。
[0013] 按合成金属元素数量将阳极套21和阳极板23分成三组，根据需求将高频电源3输出的电流经由电源分配器4以时间分配的方式或功率分配的方式施于各阳极板23，进一步施于各阳极金属22，阳极金属22作为阳极反应区，从而在生产过程中，确保各阳极相位一致防止电源电流倒灌；又可适时按比例溶解各阳极金属，确保合成盐溶液6中各金属离子浓度。
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