专利汇可以提供具有集成式光学结构的空间光调制器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 揭示一种空间光 调制器 ,其包括一集成式光学补偿结构,例如一布置于一衬底与复数个可单独寻址的光调制元件之间的光学补偿结构,或一位于所述光调制元件的与所述衬底相对的一侧上的光学补偿结构。所述可单独寻址的光调制元件经构造以调制透射过所述透明衬底或自所述透明衬底反射的光。用于制作此种空间光调制器的方法包括在一衬底上制作一光学补偿结构并在所述光学补偿结构上制作复数个可单独寻址的光调制元件。所述光学补偿结构可为一无源式光学补偿结构。所述光学补偿结构可包括一辅助 正面 照明源、一漫射体、一黑色掩膜、一衍射式光学元件、一滤色镜、一抗反射层、一散射光的结构、一微透镜阵列、及一全息 薄膜 中的一者或多者。,下面是具有集成式光学结构的空间光调制器专利的具体信息内容。
1、一种空间光调制器,其包括:
一衬底;
复数个可单独寻址的光调制元件,其布置于所述衬底上方并经构造以调制透射过 所述衬底的光;及
一光学补偿结构;
其中所述光学补偿结构布置于所述衬底与所述复数个可单独寻址的光调制元件 之间。
2、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述可单独寻址的光调制元件包括 一干涉式调制器。
3、如权利要求2所述的空间光调制器,其中所述干涉式调制器包括一可移动元 件及一空腔。
4、如权利要求1所述的空间光调解器,其中所述光学补偿结构包括一黑色掩膜。
5、如权利要求1或4所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一滤色 镜。
6、如权利要求1或4所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一漫射体。
7、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一抗反射层。
8、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括复数个散射元件。
9、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一微透镜阵列。
10、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一全息膜,所述全 息膜用于减轻对于透射过所述衬底的所述光的一入射角的所反射色彩的色移。
11、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一衍射式光学元件。
12、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构在所述光调制元件的前 面设置成使透射过所述衬底的光穿过所述光学补偿结构以便由所述光调制元件来加以调制。
13、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一包含一散射元件 的平坦化层。
14、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一无源式光学补偿 结构。
15、如权利要求1所述的空间光调制器,其进一步包括一平坦化层。
16、如权利要求1所述的空间光调制器,其中所述衬底为局部反射性的。
17、一种光调制器,其包括:
一衬底;
复数个可单独寻址的光调制元件,其布置于所述衬底上方并经构造以调制光;及
一光学补偿结构,其包括一滤色镜、黑色掩膜、及抗反射层中的至少一者,
其中所述复数个可单独寻址的光调制元件布置于所述衬底与所述光学补偿结构之间。
18、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述可单独寻址的光调制元件包括一干 涉式调制器。
19、如权利要求18所述空间光调制器,其中所述干涉式调制器包括一可移动元件及一 空腔。
20、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一黑色掩膜。
21、如权利要求17或20所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一滤色镜。
22、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构进一步包括一抗反射 层。
23、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构进一步包括一包含一 散射元件的平坦化层。
24、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一黑色掩膜及一 漫射体。
25、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述光学补偿结构包括一滤色镜及一漫 射体。
26、如权利要求17所述的空间光调制器,其进一步包括一平坦化层。
27、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述衬底至少局部透明以便所述光调制 元件调制透射过所述衬底的光。
28、如权利要求17所述的空间光调制器,其中所述衬底为至少局部反射性的。
29、一种用以制作一空间光调制器的方法,其包括:
在一透明衬底上制作一光学补偿结构;及
在所述光学补偿结构上制作复数个可单独寻址的光调制元件,所述可单独寻址的光调制 元件经构造以调制透射过所述透明衬底的光。
30、如权利要求29所述的方法,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括制作一空 腔及一可移动元件。
31、如权利要求29所述的方法,其进一步包括在所述透明衬底上制作一第二光学补偿 结构。
32、如权利要求29所述的方法,其进一步包括在所述光学补偿结构上制作一平坦化层。
33、如权利要求29所述的方法,其中制作所述光学补偿结构包括制作一滤色镜及漫射 体中的至少一者。
34、如权利要求33所述的方法,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括制作一干 涉式调制器。
35、如权利要求29所述的方法,其中所述制作所述光学补偿结构包括在所述透明衬底 上沉积材料,以使透射过所述透明衬底的光穿过所述材料以由所述光调制元件调制。
36、如权利要求35所述的方法,其中所述材料包括经染色的光阻剂或旋涂的聚酰亚胺。
37、如权利要求29所述的方法,其中制作所述光学补偿结构包括制作一无源式光学补 偿结构。
38、一种通过如权利要求29所述的方法制作的空间光调制器,其中所述透明衬底包括 塑料及玻璃中的至少一者。
39、一种用以制作一空间光调制器的方法,其包括:
在一衬底上方制作复数个可单独寻址的光调制元件;及
在所述复数个可单独寻址的光调制元件上方制作一光学补偿结构,所述光学补偿结构包 括一滤色镜、掩膜、及抗反射层中的至少一者,所述可单独寻址的光调制元件经构造以调制 透射过所述光学补偿结构的光。
40、如权利要求39所述的方法,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括制作一空 腔及一可移动元 件。
41、如权利要求39所述的方法,其进一步包括在所述复数个可单独寻址的光调制元件 上制作一第二光学补偿结构。
42、如权利要求39所述的方法,其进一步包括在所述复数个可单独寻址的光调制元件 上制作一平坦化层。
43、如权利要求39所述的方法,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括制作一干 涉式调制器。
44、一种通过如权利要求39所述的方法制作的空间光调制器,其中所述衬底包括塑料 或玻璃。
45、一种空间光调制器,其包括:
一透明衬底;
复数个可单独寻址的干涉式光调制元件,其布置于所述透明衬底上并经构造以调制透射 过所述透明衬底的光,所述干涉式光调制元件包括一空腔及一可移动壁;及
至少一个光学补偿结构,其布置于所述透明衬底与所述复数个可单独寻址的干涉式光调 制元件之间,所述光学补偿结构包括一滤色镜或漫射体。
46、一种空间光调制器,其包括:
一衬底;
一用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件;及
一用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件;
其中所述用于补偿所述光的构件以可操作方式布置于所述衬底与所述用于调制透射过 所述衬底或自所述衬底反射的光的构件之间。
47、如权利要求46所述的空间光调制器,其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述 衬底反射的光的构件包括复数个布置于所述衬底上的可单独寻址的光调制元件。
48、如权利要求46所述的空间光调制器,其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述 衬底反射的光的构件包括复数个干涉式调制器。
49、如权利要求46所述的空间光调制器,其中所述用于补偿透射过所述衬底或自所述 衬底反射的所述光的构件包括一衍射式光学元件、一滤色镜、一漫射体、一抗反射层、复数 个散射元件、一微透镜阵列、或一全息膜。
50、如权利要求46所述的空间光调制器,其中所述用于补偿透射过所述衬底或自所述 衬底反射的所述光的构件包括一滤色镜或一漫射体。
51、一种空间光调制器,其包括:
一衬底;
一用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件;及
一用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件,所述用于补偿的构件 包括一滤色镜、一黑色掩膜、及一抗反射层中的至少一者;
其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件以可操作方式布置于 所述衬底与所述用于补偿所述光的构件之间。
52、如权利要求51所述的空间光调制器,其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述 衬底反射的光的构件包括复数个布置于所述衬底上的可单独寻址的光调制元件。
53、如权利要求52所述的空间光调制器,其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述 衬底反射的光的构件包括复数个干涉式调制器。
54、一种通过一种包括如下的方法制作的空间光调制器:
在一透明衬底上方制作一光学补偿结构;及
在所述光学补偿结构上制作复数个可单独寻址的光调制元件,所述可单独寻址的光调 制元件经构造以调制透射过所述透明衬底的光。
55、如权利要求54所述的空间光调制器,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括 制作一空腔及一可移动元件。
56、如权利要求54所述的空间光调制器,其中所述方法进一步包括在所述透明衬底上 制作一第二光学补偿结构。
57、如权利要求56所述的空间光调制器,其中所述方法进一步包括在所述光学补偿结 构上制作一平坦化层。
58、如权利要求54所述的空间光调制器,其中制作所述光学补偿结构包括制作一滤色 镜及漫射体中的至少一者。
59、如权利要求58所述的空间光调制器,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括 制作一干涉式调制器。
60、如权利要求54所述的空间光调制器,其中制作所述光学补偿结构包括制作一无源 式光学补偿结构。
61、一种通过一种包括如下的方法制作的空间光调制器:
在一衬底上方制作复数个可单独寻址的光调制元件;及
在所述复数个可单独寻址的光调制元件上制作一光学补偿结构,所述光学补偿结构包 括一滤色镜、一抗反射过滤器及一黑色掩膜中的一者,所述可单独寻址的光调制元件经构 造以调制透射过所述光学补偿结构的光。
62、如权利要求61所述的空间光调制器,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括 制作一空腔及一可移动元件。
63、如权利要求61所述的空间光调制器,其中所述方法进一步包括在所述复数个可单 独寻址的光调制元件上制作一第二光学补偿结构。
64、如权利要求61所述的空间光调制器,其中所述方法进一步包括在所述复数个可单 独寻址的光调制元件上制作一平坦化层。
65、如权利要求61所述的空间光调制器,其中制作所述可单独寻址的光调制元件包括 制作一干涉式调制器。
66、一种显示区,其包括:
一黑白光调制元件,其包括第一及第二反射表面及其间的一空腔,所述第二表面可相 对于所述第一表面移动;及
一滤色镜,其经构造以在由白光照明时透射彩色光,
其中所述滤色镜相对于所述光调制元件定位成使来自所述光调制元件的光输出经所述 滤色镜过滤。
67、如权利要求66所述的显示区,其中所述光调制元件包括一干涉式调制器。
68、如权利要求66所述的显示区,其进一步包括一形成所述第一表面的光学堆叠。
69、如权利要求66所述的显示区,其中所述第一及第二反射表面中的至少一者为局部 反射性。
70、一种显示区,其包括:
复数个光调制元件,所述光调制元件中的每一个均包括第一及第二反射表面及其间的 一空腔,所述第二表面可相对于所述第一表面移动;及
一包括复数个滤色镜元件的滤色镜阵列,所述复数个滤色镜元件经构造以在由一较宽 的波长范围照明时透射一较窄的波长范围,所述滤色镜阵列相对于所述光调制元件定位成 使来自所述光调制元件的光输出经所述滤色镜元件过滤,
其中在光调制元件输出光时,所述第一反射表面与所述第二反射表面分开一对于所述 复数个光调制元件中的每一个而言均基本相等的距离且其中所述滤色镜元件中的至少两个 经构造以产生不同色彩的输出。
71、如权利要求70所述的显示区,其中所述光调制元件包括干涉式调制器。
72、如权利要求70所述的显示区,其进一步包括一形成所述第一表面的光学堆叠。
73、如权利要求70所述的显示区,其中所述滤色镜元件中的至少三个经构造以产生不 同色彩的输出。
74、如权利要求73所述的显示区,其中所述复数个滤色镜元件包括红、绿、及蓝滤色 镜元件。
75、如权利要求70所述的显示区,其中所述复数个滤色镜元件包括在由一较宽的波长 范围照明时透射一较窄的波长范围的材料。
76、如权利要求75所述的显示区,其中所述材料包括经染色的材料。
77、一种用以制造一显示装置的方法,其包括:
提供一包括第一及第二光学表面的黑白光调制元件,所述第二光学表面可相对于所述 第一光学表面移动;及
相对于所述光调制元件定位一滤色镜,以使来自所述光调制元件的白光输出经所述滤 色镜过滤,所述滤色镜经构造以在由白光照明时透射彩色光。
78、一种通过如权利要求77所述的方法制作的显示装置。
79、一种用以制造一显示区的方法,其包括:
提供复数个分别包括第一及第二光学表面及其间的一空腔的光调制元件,在所述光调 制元件输出光时所述第一反射表面与所述第二反射表面分开一对于所述复数个光调制元件 中的每一个而言均基本相等的距离;及
相对于所述光调制元件定位滤色镜元件以使来自所述光调制元件的光输出经相应滤色 镜元件过滤,所述滤色镜元件包括经构造以在由一宽的波长范围照明时透射一窄的波长范 围的材料。
80、如权利要求79所述的方法,其中所述提供一光调制元件阵列包括提供一干涉式调 制器阵列。
81、一种通过如权利要求79所述的方法制作的显示区。
82、一种显示装置,其包括:
用于产生一经调制的白光信号的构件,其包括第一及第二光学表面,所述第二光学表 面可相对于所述第一光学表面移动;及
用于过滤所述经调制的白光信号以将所述白光信号变换成一彩色光信号的构件。
83、如权利要求82所述的显示装置,其中所述用于提供一经调制的白光信号的构件包 括一光调制装置阵列,在所述光调制装置阵列中,在所述光调制元件输出白光时所述第一 反射表面与所述第二反射表面分开一对于所述复数个光调制元件中的每一个而言均基本相 等的距离。
84、如权利要求82所述的显示装置,其中所述用于过滤所述白光信号的构件包括一滤 色镜阵列,所述滤色镜阵列包括至少两个经构造以产生不同于白光的色彩输出的色彩元件。
本发明涉及对例如干涉式调制器等空间光调制器的制造及性能的改良。
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