近年来，随着电子仪器的小型化、高性能化，印制电路基 材的高密度化、多层化不断发展，作为MPU用封装电路板等特 殊用途，电路基材的厚度较厚的制品也不断增加。对于这样的 印制电路基材的多层化，使用热固化型树脂组成物或者感光性 树脂组成物来作为电绝缘层，在预先形成的内层电路上涂敷上 述热固化型树脂组成物或者感光性树脂组成物，或层压由上述 热固化型树脂组成物或者感光性树脂组成物构成的膜状树脂 层。另外，在该膜状树脂层的单面层压有普通铜箔、支承体膜 (隔离膜)，在层压铜箔的情况下，将其半蚀刻或者蚀刻其整个 表面，在层压支承体膜的情况下，可有效地采用将其剥离，随 后利用激光或者紫外线开孔，接着实施镀铜，然后再次使用光 刻胶片、利用光形成图案而制成电路的方法，即所谓的积层工 艺方法。
在上述积层工艺方法中，在具有凹凸的基材上平坦地层压 膜状树脂层的技术较为重要。作为这样的技术，存在膜片式真 空层压装置或者非膜片式的真空层压装置。
作为上述膜片式真空层压装置，存在如图31所示的真空加 压装置。该真空加压装置的真空室71由固定于支承块72的上侧 机壳构件73、和通过气缸74a升降自由的下侧机壳构件75构成， 在上述上侧机壳构件73内配置有上侧加压块76，在上述下侧机 壳构件75内配置有通过气缸装置74b升降自由的下侧加压块 77。另外，在上述上侧加压块76内收容有加热板78，并且，该 加热板78的加压面侧被膜片79覆盖，由此，将上述上侧加压块 76的内部空间(被膜片79覆盖的空间)做成密闭构造，可以使 其形成真空状态、或者加压状态。另外，同样地在上述下侧加 压块77内也收容有加热板80，并且，该加热板80的加压面侧被 膜片81覆盖，由此，将上述下侧加压块77的内部空间(被膜片 81覆盖的空间)也做成密闭构造，可以使其形成真空状态、或 者加压状态。
并且，在对电路板82加热并加压时，将电路板82定位于真 空室71内的中央部，使气缸74a上升而使下侧机壳构件75紧贴 于上侧机壳构件73对所形成的真空室71内减压，同时利用加热 板78、80加热保持于电路板82表面的膜状材料，在该状态下伸 长气缸装置74b而使下侧加压块77上升，将电路板82夹在上下 两加压块76、77之间而对其加压，在该加压时，使上下两加压 块76、77的内部空间中的一个或两者形成加压状态，利用膜片 79、81中的一个或者两者加压电路板82表面的膜状材料(例如， 参照专利文献1)。
另外，作为不是膜片式的真空层压装置(非膜片式真空层 压装置)，提出了一种图32所示的层压成形装置。该层压成形 装置包括真空层压装置91和平坦化加压机92，在真空层压装置 91及平坦化加压机92两者中设有上下成一对的热盘93a、93b、 94a、94b。并且，在真空层压装置91中，在真空状态下利用两 热盘93a、93b加热并加压层压材料95、被层压材料96而将被层 压材料96层压于层压材料95，在平坦化加压机92中，在两热盘 94a、94b互相的相对面上隔着缓冲材料层设置可弹性变形的镜 面板(均未图示)，利用两镜面板加热并加压层压材料95、被 层压材料96而使层压材料95的表面平坦化。另外，对于上述真 空层压装置91，也公开有在两热盘93a、93b互相的相对面上隔 着缓冲材料层设置可弹性变形的镜面板(均未图示)，在真空状 态下，利用两镜面板加热并加压层压材料95、被层压材料96而 将被层压材料96层压于层压材料95(例如，参照专利文献2)。
专利文献1:日本特开2003-181697号公报
专利文献2:日本特开2002-120100号公报
但是，在膜片式真空层压装置中，由于膜片79、81的厚度 较厚(2～3mm左右)，因此，在电路板82的凹凸的间隔微细 (20μm左右)或者凹凸较深(40μm以上)的情况下，难以使 膜状材料紧贴并追随于电路板82，会在电路板82与膜状材料之 间残留气泡。另一方面，非膜片式真空层压装置在可以容易以 较强的压力对从厚度较薄的基材到厚度较厚的基材加压这一点 上，较膜片式真空层压装置更为有利，但由于像上述层压成形 装置那样利用上下成一对的热盘93a、93b、镜面板加压层压材 料95、被层压材料96，因此，与膜片式真空层压装置同样，在 被层压材料96的凹凸的间隔微细(20μm左右)或者凹凸较深 (40μm以上)的情况下，难以使层压材料95紧贴并追随于被 层压材料96，有时在被层压材料96与层压材料95之间残留气 泡。

本发明即是鉴于这样的情况而做成的，其目的在于提供即 使在基材凹凸的间隔微细或者凹凸较深的情况下，也使膜状树 脂层紧贴并追随于基材而不在基材与膜状树脂层之间残留气泡 的层压装置以及使用该层压装置的层压方法。
为了达到上述目的，本发明的层压装置包括真空加压装置， 该真空加压装置设置有一对相面对的带有加热部件带有加热部 件的热盘，这两个热盘中的至少一个可相对于另一个进退，利 用该真空加压装置，在表里两面中的至少一面上具有凹凸的基 材的上述凹凸面上层压膜状树脂材料而形成层压体，其第1要 点在于，一种层压装置，该层压装置在与上述膜状树脂材料相 面对的热盘的、上述膜状树脂材料侧的面上设有对膜状树脂材 料加压的弹性加压板；其第2要点在于，一种层压方法，该层 压方法使用上述层压装置，在表里两面中的至少一面上具有凹 凸的基材的上述凹凸面上，层压膜状树脂材料而形成层压体。
即，本发明的层压装置包括真空加压装置，该真空加压装 置设置有一对相面对的带有加热部件的热盘，这两个热盘中的 至少一个可相对于另一个进退，利用该真空加压装置，在表里 两面中的至少一个上具有凹凸的基材的上述凹凸面上，层压膜 状树脂材料而形成层压体。而且，在与上述膜状树脂材料相面 对的热盘的、上述膜状树脂材料侧的面上设有对膜状树脂材料 加压的弹性加压板。这样，在本发明的层压装置中，由于使用 上述弹性加压板，利用其对膜状树脂材料的表面加压，因此， 可以利用上述弹性加压板以较强的压力对膜状树脂材料的表面 加压，从而在该加压时，可以利用上述弹性加压板的弹性使其 加压面(对上述膜状树脂材料的表面加压的面)沿着基材的凹 凸面弹性变形。因此，即使在基材凹凸的间隔微细或者凹凸较 深的情况下，也可以在上述加压时使膜状树脂层紧贴并追随于 基材，不在该基材与膜状树脂层之间残留气泡。另一方面，由 于本发明的层压方法是使用上述层压装置的方法，因此起到上 述优良的效果。
另外，在本发明中，在上述弹性加压板由耐热性硅酮橡胶 或耐热性氟化橡胶构成的情况下，上述弹性加压板的耐热性优 良，并且，通过在上述弹性加压板中设置纤维层或将上述弹性 加压板硫化粘接于不锈钢板等板体来使用，可抑制上述弹性加 压板沿上述弹性加压板在压缩时压缩的加压方向、及与该加压 方向正交的正交方向的伸长，在对基材的凹面上的膜状树脂材 料和凸面上的膜状树脂材料均等地传递加压力而改善膜状树脂 材料相对于基材的紧贴追随性的同时，在强度上也较为优良， 即使在高温条件下反复加压，也可以抑制上述弹性加压板的伸 长变形。
并且，在本发明中，在上述弹性加压板具有纤维层的情况 下，即使在高温条件下反复加压，也可以抑制上述弹性加压板 的伸长变形，膜状树脂材料相对于基材的追随性、紧贴性优良， 从而可以提高上述弹性加压板的耐久性。
另外，在本发明中，在上述弹性加压板的肖氏A硬度为40 度以上的情况下，上述弹性加压板可以在较好地伸长而难以扯 裂的同时、获得较强的扯裂强度，另一方面，也可以获得充分 的剥离性，层压体易于自弹性加压板剥下。并且，为了获得剥 离性，也可以对与层压体接触的弹性加压板的表面实施压花加 工或者化学的离形处理。
而且，在本发明中，在上述弹性加压板的、与膜状树脂材 料接触的表面被粗糙化的情况下，由上述弹性加压板加压之后， 该弹性加压板在使用层压体或者后述的带状膜的情况下，易于 自该带状膜剥离。
另外，在本发明中，在与上述膜状树脂材料相面对的热盘 和弹性加压板之间设置板状体，将该板状体与弹性加压板粘接 固定的情况下，即使在高温条件下反复加压，也可以利用上述 板状体抑制弹性加压板的伸长变形，膜状树脂材料相对于基材 的追随性、紧贴性优良，可以提高上述弹性加压板的耐久性。
并且，在本发明中，在上述热盘与上述板状体之间设置缓 冲材料的情况下，可以利用缓冲材料的缓冲作用吸收制作上述 热盘、板状体时的尺寸误差等，从而可以消除上述热盘与板状 体的单面接触等。
另外，在本发明中，包括卷绕有第1带状膜的第1膜卷绕辊、 与该第1膜卷绕辊相对峙地设置且卷绕有第2带状膜的第2膜卷 绕辊、将卷绕于上述第1及第2膜卷绕辊的第1及第2带状膜以相 面对的状态拉出而使它们通过上述真空加压装置的两热盘之间 而将它们卷取的第1及第2膜卷取辊、以及向形成于自上述两膜 卷绕辊拉出的两带状膜之间的间隙中供给在基材的至少单面临 时固定有膜状树脂材料而成的临时层压体的供给部件，从而， 在可以利用上述两带状膜将临时层压体供给到真空加压装置而 形成层压体的同时，可以防止在层压体形成时软化的膜状树脂 附着于真空加压装置的两热盘等。另外，在基材的至少单面临 时固定有膜状树脂材料而成的临时层压体，可以是使用与基材 的尺寸相配合地切割连续带状的膜状树脂材料并将其临时固定 于基材的自动切片层压装置(オ—トシ—トカツトラミネ—タ) (伯东公司制Mach630，Mach610，日立インダストリ—ズ公 司制TLD-6500，TLD-2400)等而做成，来供给到本发明的 层压装置。
而且，在本发明中，包括卷绕有将膜状树脂材料做成带状 的第1带状膜状树脂材料的第1树脂材料卷绕辊、与该第1树脂 材料卷绕辊相对峙地设置且卷绕有将膜状树脂材料做成带状的 第2带状膜状树脂材料的第2树脂材料卷绕辊、和向形成于自上 述两树脂材料卷绕辊拉出的两带状膜状树脂材料之间的间隙中 供给基材的供给部件，并包括将自上述第1及第2树脂材料卷绕 辊拉出的第1及第2带状膜状树脂材料以相面对的状态引导到 上述真空加压装置的两热盘之间的引导部件、即第1及第2引导 辊、将中间夹着上述基材的第1及第2带状膜状树脂材料导入到 上述两热盘之间、通过该动作形成在基材的表里两面层压上述 第1及第2带状膜状树脂材料而成的带状层压体的真空加压装 置、和牵拉上述带状层压体的部件(卷取上述带状层压体的层 压体卷取辊、牵拉上述带状层压体的夹持辊或者利用卡盘机构 夹持上述带状层压体并将其牵拉的机构等)，从而，可以向真空 加压装置连续地供给上述两带状膜状树脂材料、基材，而可形 成将多个层压体连接成一连串的(连续或者间断的)带状层压 体。在本发明中，不需要将膜状树脂材料临时固定于基材的单 面，不需要为了形成在基材的至少单面临时固定有膜状树脂材 料的临时层压体所需要的上述自动切片层压装置等。另外，本 发明并不限定为上述第1及第2引导辊，只要可以同样地拉回带 状材料，则可以是任意机构。对于后述的第3引导辊，本发明 的构造也同样地并不限定为引导辊。
并且，在本发明中，在基材是单张电路板或者带状电路板 的情况下，可以向真空加压装置间断或连续地供给上述两带状 膜状树脂材料、基材，而形成将层压体连接成一连串的带状层 压体。
另外，在本发明中，还设有卷绕有第1带状膜的第1膜卷绕 辊、卷绕有第2带状膜的第2膜卷绕辊、引导它们的第1及第2引 导部件、和卷取上述第1及第2带状膜的卷取辊，以由自上述两 膜卷绕辊拉出的两带状膜夹着自上述第1及第2树脂材料卷绕 辊拉出、并在中间夹着基材的第1及第2带状膜状树脂材料的状 态形成带状层压体，相对于上述带状层压体另外卷取上述第1 及第2带状膜，从而，可以防止在带状层压体形成时软化的膜 状树脂附着于真空加压装置的两热盘等。
另外，在本发明中，包括设置有相面对的一对热盘、这两 个热盘中的至少一个可相对于另一个进退的平面加压装置，利 用该平面加压装置的两热盘对由上述真空加压装置形成的层压 体的表里两面加压而使其平滑，从而，可以利用平面加压装置 使层压体的表里两面平滑。
附图说明
图1是表示本发明的层压装置的一个实施方式的结构图。
图2是临时层压体的剖视图。
图3是层压体的剖视图。
图4是表示输送膜卷绕部的结构图。
图5是表示输送膜卷取部的结构图。
图6是表示真空层压装置的结构图。
图7是表示上述真空层压装置的主要部分的结构图。
图8是表示上述真空层压装置的另一例子的结构图。
图9是表示上述真空层压装置的可动真空框架的作用的剖 视图。
图10是表示上述真空层压装置的可动真空框架的作用的 剖视图。
图11是表示上述真空层压装置的可动真空框架的作用的 剖视图。
图12是表示平面加压装置的结构图。
图13是层压体的剖视图。
图14是表示弹性加压板的一个例子的剖视图。
图15是表示弹性加压板的另一例子的剖视图。
图16是表示上述真空层压装置的作用的结构图。
图17是表示上述真空层压装置的作用的结构图。
图18是表示上述真空层压装置的作用的结构图。
图19是表示本发明的层压装置的另一实施方式的结构图。
图20是表示膜等开卷部的结构图。
图21是表示膜等卷取部的结构图。
图22是阶梯辊的说明图。
图23是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图24是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图25是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图26是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图27是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图28是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图29是表示本发明的层压装置的又一实施方式的结构图。
图30是表示上述真空层压装置的变形例的结构图。
图31是表示以往例的侧视图。
图32是表示另一以往例的结构图。
附图标记说明
2、真空层压装置；8a、基材；9、层压体；23、26、热盘； 24、27、弹性加压板。

接着，根据附图详细说明本发明的实施方式。但是，本发 明并不限定于该实施方式。
图1表示本发明的层压装置的一个实施方式。在本实施方 式中，上述层压装置由输送膜开卷部1、真空层压装置(真空 加压装置)2、平面加压装置3以及输送膜卷取部4构成，自电 路板(参照图2及图3)的流程方向(参照图1的箭头)的上游 朝向下游地以该顺序配设。
如图4的放大图所示，上述输送膜开卷部1包括卷绕有上侧 输送膜(第1带状膜)5的上侧输送膜卷绕辊(第1膜卷绕辊) 11、卷绕有下侧输送膜(第2带状膜)6、且与上侧输送膜卷绕 辊11相对峙地配设于上侧输送膜卷绕辊11的更下侧的下侧输 送膜卷绕辊(第2膜卷绕辊)12、和配设于上下两输送膜卷绕 辊11、12之间的搬入传送带13。并且，自上侧输送膜卷绕辊11 拉出的上侧输送膜5在真空层压装置2及平面加压装置3的相面 对的上下成一对的热盘23、26、47、51(参照图6及图12的放 大图)之间通过之后，被卷取在输送膜卷取部4(参照图5的放 大图)的上侧卷取辊(第1膜卷取辊)14中，自下侧输送膜卷 绕辊12开卷的下侧输送膜6也同样，在真空层压装置2及平面加 压装置3的相面对的上下成一对的热盘23、26、47、51之间通 过之后，被卷取在输送膜卷取部4的下侧卷取辊(第2膜卷取辊) 15中。另外，还包括在热盘23、26、47、51每一次动作时卷取 驱动上侧卷取辊14的第1驱动部件(第1膜驱动部件)14b、和 与上述上侧卷取辊14同步并间断地卷取驱动下侧卷取辊15的 第2驱动部件(第2膜驱动部件)15a。另外，在本发明中，热 盘是具有加热部件的盘，其被加热而形成热盘。
作为上述上下两输送膜5、6，列举出聚对苯二甲酸乙二醇 酯(PET)膜，具体地讲，可使用UNITIKA公司制的“EMBLET PTH系列”、或ダイアフォイル公司制“消光膜系列”。另外， 出于防止被加热并加压后的膜状树脂向支承体膜的外侧渗出而 附着于真空层压装置2及平面加压装置3，上述上下两输送膜5、 6的宽度设定为比临时层压体7、层压体9的宽度宽出10～ 40mm左右。在真空层压装置2及平面加压装置3中附着有渗出 的膜状树脂时，附着的膜状树脂再次附着于后续制品的支承体 膜。附着有渗出的树脂的部位的膜状树脂材料8b的厚度，增厚 了附着的树脂的厚度的量，造成制品不良。这样的上下两输送 膜5、6以被付与0.5～150kN范围内的张力的状态运行。另外， 上下两输送膜5、6的输送速度通常设定在1～20m/分的范围 内。
如上所述，图4的放大图所示的搬入传送带(供给部件) 13起到接纳临时层压体7而向上下两输送膜5、6之间供给该临 时层压体7的作用。临时层压体7也可以通过根据需要使临时层 压体7的与投入侧的输送方向正交的边的整体或者两端、中央 部等多个部位抵接于可利用气缸13b升降的临时层压体制动器 13a而停止，从而该临时层压体7在被向上下两输送膜5、6之间 供给之前正确地定位。临时层压体7由具有凹凸的基材8a(以 下简称作基材8a)、和以将该基材8a的凹凸面覆盖的状态重叠 (例如，通过对膜状树脂材料8b的角、外侧的边的中央部以点 状加热并加压或加压，或者对其周缘部的1个边以线状加热并 加压或加压等而将其粘接固定)而临时固定在其上的膜状树脂 材料8b构成(参照图2)。作为具有凹凸的基材8a，例如使用铜、 焊锡等施加了图案等的印制电路板，另外，也可以使用积层工 艺方法等所采用的多层电路板。对于基材8a的厚度、纵横尺寸 并没有特别的限定，但厚度优选为0.1～10mm的范围内，纵横 尺寸优选为150～800mm的范围内。作为膜状树脂材料8b(真 空层压后形成膜状树脂层8c)，只要是具有粘着性、粘接性、热 熔性的材料、以在玻璃转变温度以上软化的树脂为主要成分的 树脂组成物，则没有特别的限定，特别是可使用具有电绝缘性 的材料。作为这样的树脂组成物，主要列举出环氧树脂、由环 氧树脂构成的热固化性树脂组成物、由乙烯性不饱和化合物及 光聚合引发剂构成的感光性树脂组成物等。在本实施方式中， 上述临时层压体7由在表里两面具有凹凸的基材8a、和预先临 时固定于该基材8a表里两面的凹凸面的上下成一对的膜状树 脂材料8b(利用上述自动切片层压装置等，将卷绕于卷芯的带 状的膜状树脂材料8b切割成长方形片状而成的材料)构成，但 也可以在仅基材8a表里两面中的一个具有凹凸的情况下，仅在 具有凹凸的面临时固定膜状树脂材料8b。
接着，真空层压装置2在真空状态下对被上下两输送膜5、 6输送来的临时层压体7加热并加压，做成在基材8a上层压膜状 树脂层8c而成的层压体9(参照图3)，如图6的放大图所示，真 空层压装置2包括直立设置于加压台17上的多根(图6中仅图示 2根)支柱18、利用螺栓、螺母等固定部件19固定于这些各支 柱18的上部板20、和以可上下移动的方式安装于上述各支柱18 的下部板21等。该下部板21通过联轴器28连结于液压缸或气缸 29，其通过该液压缸或气缸29的动作(随着活塞杆29a的上升 或下降)而上下移动。
在上部板20上，从上侧起按顺序固定有平板状的上侧绝热 材料22、上侧热盘23、真空层压时对临时层压体7的上侧膜状 树脂材料8b(参照图2)的表面加压的橡胶制上侧弹性加压板 24，在下部板21上，从下侧起按顺序固定有平板状的下侧绝热 材料25、下侧热盘26、真空层压时对临时层压体7的下侧膜状 树脂材料8b(参照图2)的表面加压的橡胶制下侧弹性加压板 27(参照图7)。
另外，对于上述两弹性加压板24、27固定于两热盘23、26 的方法并没有特别的限定，可以采用使用框体、螺栓、套环等 固定部件(未图示)的方法，或者采用在将两弹性加压板24、 27与两热盘23、26之间密封的状态下，对其内部减压而将两弹 性加压板24、27吸附固定于两热盘23、26的方法等各种方法。
另外，作为其他的固定方法，也可以使用这样的方法，即， 在上述两弹性加压板24、27与两热盘23、26之间分别设置金属 板24a、27a(参照图8)，在这两个金属板24a、27a的一个侧 面硫化粘接两弹性加压板24、27，并且，利用螺栓、套环等固 定部件(未图示)将其另一侧面(未硫化粘接弹性加压板24、 27的侧面)固定于两热盘23、26。但并不限定于此，也可以适 当地使用在将两热盘23、26与两金属板24a、27a之间密封的状 态下，对其内部减压而将两金属板24a、27a吸附固定于两热盘 23、26的方法等。另外，如图8所示，优选在设置于上述两弹 性加压板24、27和两热盘23、26之间的两金属板24a、27a与 两热盘23、26之间，分别设置具有橡胶弹性等的缓冲材料24b、 27b，也可以在两金属板24a、27a的两侧面硫化粘接弹性加压 板24、27，将一个侧面的弹性加压板24、27作为缓冲材料24b、 27b使用。如上所述，在两金属板24a、27a的两侧面硫化粘接 弹性加压板24、27时，弹性加压板24或者27被异物等损伤了表 面的情况下，可以将硫化粘接有损伤的弹性加压板24、27的金 属板24a、27a自主体拆下，表里调换安装以将损伤的弹性加压 板24、27作为缓冲材料使用，从而继续进行生产，在装置的维 修性方面较佳。
上侧绝热材料22利用螺栓、螺母等固定部件(未图示)固 定于上部板20的下表面。上侧热盘23利用螺栓、螺母等固定部 件(未图示)固定于上侧绝热材料22，上侧弹性加压板24直接 粘接固定于上侧热盘23的下表面。另外，下侧绝热材料25利用 螺栓、螺母等固定部件(未图示)固定于下部板21的上表面。 下侧热盘26利用螺栓、螺母等固定部件(未图示)固定于下侧 绝热材料25，下侧弹性加压板27直接粘接固定于下侧热盘26 的上表面。另外，在利用螺栓、螺母等固定部件直接固定上部 (下部)板20(21)和上侧(下侧)热盘23(26)时，上侧(下 侧)热盘23(26)的热量易于通过螺栓、螺母等传导到上部(下 部)板20(21)，不令人满意。
在上下两热盘23、26的内部适当地配置有用于加热弹性加 压板24、27的、可控制温度的加热部件。在本实施方式中，作 为上述加热部件，在上下两热盘23、26的内部并列配置有多根 套状加热器23a、26a。后述的上下两热盘47、51也是同样构造。
另外，真空层压装置2包括可动真空框架30。如图9(在该 图9中，上下两绝热材料22、25、上下两热盘23、26、上下两 弹性加压板24、27、金属板24a、27a、缓冲材料24b、27b未 图示。图10及图11也相同)所示，该可动真空框架30包括气密 状地固定于上部板20的下表面的大致四边形框架状的上侧固 定框架部31、和气密状地固定于下部板21的上表面的可动框架 32。在上侧固定框架部31中的贯穿设置于其周侧壁的通孔31a 中固定有抽取真空用喷嘴33，在上下两板20、21密封契合时， 可以利用该抽取真空用喷嘴33将形成于上侧固定框架部31与 可动框架32之间的空间部34(参照图10)内抽成真空，调整该 空间部34的压力(即，使其形成规定压力的真空状态)。另外， 抽取真空用喷嘴33也可以不在上侧固定框架部31中、而在上部 板20中设置通孔来配置，并且，在其设置于多个部位时，可以 高效率地调整空间部34的压力。
上述可动框架32包括气密状地固定于下部板21的上表面 的大致四边形框架状的下侧固定框架部35、可动框架部36和以 上下自由移动的方式支承该可动框架部36的弹簧37。上述下侧 固定框架部35上部的整周突出形成到外侧，在形成于该突出形 成部的外周面的整周上的凹槽35a中嵌合固定有环状的密封构 件38。密封构件38的形状较佳为唇形密封圈。
上述可动框架部36以上下滑动自由的方式外套于下侧固 定框架部35的突出形成部，在该状态下，其通过弹簧37支承于 下侧固定框架部35。即，在形成于上述可动框架部36的下表面 的多个(图9～图11中仅图示2个)凹部36a中插入有弹簧37的 上部，这些弹簧37分别载置于下侧固定框架部35的下端突出部 35b上。由此，上述可动框架部36借助弹簧37，以上下自由移 动的方式支承于下侧固定框架部35。另外，上述可动框架部36 的内周面以气密状且滑动自由的抵接于下侧固定框架部35的 密封构件38。
在可动框架部36上表面的整周上形成有凹槽36b，在该凹 槽36b中嵌合固定有大致四边形环状的密封构件39。该密封构 件39起到在上下两板20、21契合密封时将上述空间部34内保持 气密状的作用。另外，该密封构件39的形状较佳为唇形密封圈。 在图9～图11中，40a、40b是密封构件。
这样的可动真空框架30通过液压缸或者气缸29(参照图6) 的动作使下部板21上升，从而，可以使上侧固定框架部31的下 表面与可动框架部36的上表面紧贴(参照图10)而使其内部空 间(上述空间部34)形成密封空间(即，可以使上下两板20、 21密封契合)。并且，可以在使上述各弹簧37收缩的同时、使 下部板21上升，从而也可以使下部板21上升，直到使可动框架 部36的下表面抵接于下侧固定框架部35的下端突出部35b的上 表面为止(参照图11)。
接着，平面加压装置3将由上下两输送膜5、6自真空层压 装置2输送来的层压体9定位于上下两加压块41、42(参照图12) 之间，利用这些上下两加压块41、42对其加热并加压，使层压 体9的表里两面平滑(参照图13)，如图12所示，其包括直立设 置于加压台43的多根(图12中仅图示2根)支柱43a、利用螺栓、 螺母等固定部件43b固定于这些各支柱43a的上加压块41、和以 可上下移动的方式安装于上述各支柱43a的下加压块42等。该 下加压块42通过联轴器54连结于液压缸或气缸55，其通过该液 压缸或气缸55的动作(随着活塞杆55a的上升或下降)而上下 移动。
对于上述上下两加压块41、42，在本实施方式中，上加压 块41在上部基底层44上、自上侧起按顺序固定有平板状的上侧 绝热材料46、上侧热盘47、平板状的上侧缓冲材料48以及上侧 挠性金属板49而构成，下加压块42在下部基底层45上、自下侧 起按顺序固定有平板状的下侧绝热材料50、下侧热盘51、平板 状的下侧缓冲材料52以及下侧挠性金属板53而构成。
上侧绝热材料46利用螺栓、螺母等固定部件(未图示)固 定于上部基底层44的下表面。上侧热盘47利用螺栓、螺母等固 定部件(未图示)固定于上侧绝热材料46，上侧挠性金属板49 利用螺栓、套环等固定部件(未图示)，隔着上侧缓冲材料48 固定于上侧热盘47。另外，下侧绝热材料50利用螺栓、螺母等 固定部件(未图示)固定于下部基底层45的上表面。下侧热盘 51利用螺栓、螺母等固定部件(未图示)固定于下侧绝热材料 50，下侧挠性金属板53利用螺栓、套环等固定部件(未图示)， 隔着下侧缓冲材料52固定于下侧热盘51。另外，在利用螺栓、 螺母等固定部件直接固定上部(下部)基底层44(45)和上侧 (下侧)热盘47(51)时，上侧(下侧)热盘47(51)的热量 易于通过螺栓、螺母等传导到上部(下部)基底层44(45)， 不令人满意。在图中，47a、51a是并列配置在上下两热盘47、 51内部的套状加热器。
接着，如图5的放大图所示，输送膜卷取部4包括卷取有上 侧输送膜5的上侧卷取辊14、卷取有下侧输送膜6且配设于上侧 卷取辊14的更下侧的下侧卷取辊15、和配设于上下两卷取辊 14、15之间的排出传送带(未图示)。另外，也可以不配设该 排出传送带。另外，在输送膜卷取部4中，也可以利用冷却风 扇56等冷却部件来冷却表里两面平滑的层压体9，使层压体9的 表面的、软化了的膜状树脂层8c固化而使层压体9的表面难以 变形，并且，易于剥离渗出的膜状树脂层8c和输送膜5、6。
如上所述，本发明的层压装置的最大特征在于，在真空层 压装置2中的、上下两热盘23、36的、临时层压体7侧的面分别 设置对临时层压体7的膜状树脂材料8b的表面加压的弹性加压 板24、27。
作为构成上下两弹性加压板24、27的构成材料，可使用耐 热性硅酮橡胶、耐热性氟化橡胶等橡胶材料、具有弹性的各种 树脂材料，适合使用在内部等设有纤维层的材料。通过设置该 纤维层，可以提高上下两弹性加压板24、27的耐久性，从而即 使在高温条件下反复加压，也可以抑制上下两弹性加压板24、 27的伸长变形，发挥膜状树脂材料8b、膜状树脂层8c相对于基 材8a的追随性、紧贴性优良的效果。另一方面，在上下两弹性 加压板24、27中不设置纤维层的情况下，通过在金属板24a、 27a上硫化粘接上下两弹性加压板24、27，与设置纤维层的情 况同样，即使在高温条件下反复加压，也可以抑制上下两弹性 加压板24、27的伸长变形，发挥膜状树脂材料8b、膜状树脂层 8c相对于基材8a的追随性、紧贴性优良的效果。
对于上述纤维层并没有特别的限定，适合使用将化学纤维、 玻璃纤维织成布状而成的材料，例如，在橡胶制的板状主体61 的内部设置1层或多层将化学纤维织成布状而成的纤维层62而 使它们一体化(参照图14)，或者在橡胶制的板状主体61的表 里两面中的至少一面上设置1层或多层上述纤维层62并使它们 一体化(参照图15)。
对于上述金属板24a、27a并没有特别的限定，但从防锈的 方面考虑适合使用不锈钢板，厚度并没有特别的限定，但优选 为0.1～10mm的范围内，更优选为1～5mm的范围内。
作为上述氟系橡胶，可列举出偏二氟乙烯系橡胶、含氟硅 橡胶、四氟乙烯系橡胶、含氟乙烯基醚系橡胶、含氟磷腈系橡 胶、含氟丙烯酸酯系橡胶、含氟亚硝基甲烷系橡胶、含氟聚酯 橡胶、含氟三嗪橡胶等，作为市售品，例如可列举出金阳公司 制“KINYO BOARD”系列、KUREHA ELASTOMER CO.Ltd. 制“FLUORIDE RUBBER SHEET FB”系列、DAIKIN工业 公司制“DAI-EL”系列、DUPONT公司制“VITON”系列、 DOW CORNING公司制“SILASTIC”系列、MONTEDISON 公司制“TECNOFLON”系列、3M公司制“FLUOREL”系 列、“KEL-F”系列等。
作为上述纤维层的纤维原料，从易于与橡胶材料粘接的方 面考虑，优选为玻璃纤维、聚酯或其他的极性硬质原料、聚乙 烯等非极性硬质原料、聚酯系及尼龙系等极性软质原料、链烯 烃等无极性软质原料等。从强度、耐热性优良的方面来看优选 聚酯、尼龙。特别优选为，将耐热性氟化橡胶用作橡胶材料， 在其内部设置耐热性尼龙制的布(将耐热性尼龙织成布状而制 成的纤维层)，强度及耐热性非常优良。作为市面出售的商品， 例如有金阳公司制“KINYO BOARD”系列，其中优选“F- 200”。
对于上下两弹性加压板24、27的硬度，优选肖氏A硬度设 定为40度以上。即，对于上下两弹性加压板24、27寻求相反的 较强的扯裂强度和较高的剥离性，上述硬度对扯裂强度和剥离 性的影响较大。在上述肖氏A硬度为40度以上时，上下两弹性 加压板24、27可以较好地伸长而难以扯裂，同时获得抗加压层 裂的较强的扯裂强度。另一方面，关于剥离性，可获得充分的 剥离性，层压体9易于自上下两弹性加压板24、27剥下。这些 上下两弹性加压板24、27的优选硬度为50度以上，更优选为60 度以上。另外，在本发明中，肖氏A硬度是以JIS Z2246(2000) 为基准测定的。
另外，上下两弹性加压板24、27的厚度优选为0.1～10mm 的范围内，更优选为0.5～3mm的范围内。在上述厚度过薄时， 存在纤维层的网纹呈现于上下两弹性加压板24、27的表面而在 膜状树脂层8c的表面转印有纤维层的网纹的倾向，在上述厚度 过厚时，存在自上侧热盘23、下侧热盘26向膜状树脂层8c的热 传导恶化，上侧热盘23、下侧热盘26的温度分布不均匀的倾向。 另外，上下两弹性加压板24、27的表面优选被粗糙化，其表面 粗糙度Rz优选为1μm以上，更优选为20～400μm的范围内，进 一步优选为20～60μm的范围内。上述表面粗糙度Rz越大，加 热并加压后，上下两弹性加压板24、27越易于自膜状树脂层8c 或上下两输送膜5、6分离，但存在上下两弹性加压板24、27 的表面粗糙转印到膜状树脂层8c的表面，而损坏层压体9的表 面镜面性的倾向，在上述表面粗糙度过小时，其与膜状树脂层 8c或上下两输送膜5、6的紧贴性过强，存在加热并加压后，上 下两弹性加压板24、27难以自膜状树脂层8c剥下的倾向。另外， 在本发明中，表面粗糙度Rz是以JIS B0601(2001)为基准测 定的。
在本发明中，使用图1的层压装置，如下制作层压体9。首 先，预先准备将膜状树脂材料8b临时固定于基材8a的凹凸面而 成的临时层压体7。其次，将临时层压体7进给到搬入传送带13， 自该搬入传送带13将其供给到两输送用膜5、6之间。该被供给 来的临时层压体7被上下两输送用膜5、6夹持而搬入到真空层 压装置2。
在该真空层压装置2中，如下进行真空层压工序。首先， 利用上下两输送用膜5、6将上述临时层压体7输送到真空层压 装置2内，而将其定位于规定位置(压紧位置)(参照图1及图 16，在该图16中，上下两输送用膜5、6未图示。图17及图18 也相同)。其次，使液压缸或者气缸29动作而使下部板21上升， 使上部板20的上侧固定框架部31的下表面与下部板21的可动 框架部36的上表面紧贴而使上下两板20、21密封契合(参照图 10及图17)。
在该密封契合之后，使空间部34形成减压状态。具体地讲， 利用真空泵(未图示)并通过真空抽取用喷嘴33(参照图9) 对空间部34减压(参照图17)。使上述空间部34的压力成为 200Pa以下、优选为100Pa以下的真空状态。在上述压力过大 时，在基板8a与膜状树脂材料8b之间残留有微小空隙，在后工 序中使层压后的膜状树脂层8c热固化时，残留有微小空隙的部 位的表面下陷而导致制品不良的倾向。
接着，使液压缸或者气缸29动作，使下部板21上升，利用 上下两弹性加压板24、27夹压临时层压体7而对其加热并加压 (参照图18)，在基材8a的表里两面粘合膜状树脂材料8b而制 成层压体9。具体地讲，上述压力的调整是在对空间部34减压 的状态下调节下侧弹性加压板27的压力即可，利用上下两弹性 加压板24、27按压临时层压体7的上下两膜状树脂材料8b，将 基材8a与膜状树脂材料8b压紧。这样，临时层压体7被真空层 压而形成层压体9。该层压体9的表面，虽然在基材8a的凹凸上 紧贴并追随有膜状树脂层8c，但基材8a的凹凸显现而并不平 滑。
在上述加热并加压时，优选使上侧热盘23及下侧热盘26的 温度为30～185℃，更优选为70～140℃。在上述温度过低时， 存在无法向基材8a中填充膜状树脂层8c，追随性恶化而残留微 小空隙的倾向。另一方面，在上述温度过高时，存在膜状树脂 材料8b引起热分解固化，因分解气体而使追随性降低而产生微 小空隙的倾向。对于这样的温度控制方法并没有特别的限定， 可利用内置于上下两热盘23、26的套状加热器23a、26a等调整。
在上述加热并加压过程中，加压条件设定为0.1～2MPa的 范围内，较佳为0.4～1.5MPa。
上述加热并加压工序结束之后，通过真空抽取用喷嘴33释 放上述空间部34的真空状态而使其恢复常压，使液压缸或者气 缸29动作而使下部板21下降。之后，层压体9被上下两输送用 膜5、6夹持，搬入到下一工序的平面加压装置3。
在该平面加压装置3中，如下进行平面加压工序。首先， 利用上下两输送用膜5、6将上述层压体9输送到平面加压装置3 内而将其定位于规定位置(加压位置)。其次，使液压缸或者气 缸55动作而使下加压块42上升，利用上下两挠性金属板49、53 夹压层压体9而对其加热并加压，使层压体9的膜状树脂层8c的 表面平滑。
接着，使液压缸或者气缸55动作，使下加压块42下降。之 后，层压体9利用上下两输送用膜5、6自平面加压装置3排出， 在输送膜卷取部4中，被空冷风扇56冷却之后自上下两输送用 膜5、6剥离，利用排出传送带排出。
在上述平面加压工序中，加热温度设定为30～200℃，较 佳为70～140℃，加压条件设定为0.1～2MPa，较佳为0.5～ 1.5MPa。
如上所述，在本实施方式中，在设置于真空层压装置2的 两热盘23、26上分别固定有弹性加压板24、27，使用这两个弹 性加压板24、27对膜状树脂材料8b的表面加压，因此，可以利 用上述两弹性加压板24、27以较强的压力对膜状树脂材料8b 的表面加压，从而可以在该加压时，利用上述两弹性加压板24、 27的弹性使其加压面(对上述膜状树脂材料8b的表面加压的 面)沿着基材8a的凹凸面弹性变形。因此，即使在基材8a的凹 凸的间隙微细或者凹凸较深的情况下，在加压时也可以使膜状 树脂材料8b紧贴并追随于基材8a，在该基材8a与膜状树脂材料 8b之间不残留气泡。而且，在本实施方式中包括平面加压装置 3，因此，可以利用该平面加压装置3对在上述真空层压装置2 中形成的层压体9的表里两面加压而使其平滑。
图19表示本发明的层压装置的另一实施方式。在本实施方 式中，并不是像上述实施方式那样，利用搬入传送带13将临时 层压体7逐个搬入到上下两输送膜5、6之间而将其供给到真空 层压装置2。取而代之，使用带状电路板10c，同时使用上侧带 状膜状树脂材料10a、下侧带状膜状树脂材料10b，并且，设置 卷绕有这些材料的各卷绕辊11a～11c、和卷取将自这些各卷绕 辊11a～11c拉出的上下两带状膜状树脂材料10a、10b、以及将 带状电路板10c导入真空层压装置2而获得的带状层压体9a(在 带状电路板10c的表面层压有上侧带状膜状树脂材料10a、在其 背面层压有下侧带状膜状树脂材料10b的材料)的层压体卷取 辊14a。由此，将上下两带状膜状树脂材料10a、10b及带状电 路板10c连续供给到真空层压装置2、平面加压装置3。
本实施方式的层压装置由膜等开卷部1a、真空层压装置2、 平面加压装置3及膜等卷取部4a构成，真空层压装置2、平面加 压装置3的构造与上述实施方式相同，起到同样的作用。另外， 在本实施方式中，由于不使用临时层压体7，因此，不使用自 动切片层压装置及搬入传送带13。
上述膜等开卷部1a与上述实施方式(的输送膜开卷部1) 同样，不仅包括上侧输送膜卷绕辊11及下侧输送膜卷绕辊12， 在这些上下两输送膜卷绕辊11、12的基础之上，还包括卷绕有 上侧带状膜状树脂材料10a的上侧树脂材料卷绕辊11a、卷绕有 下侧带状膜状树脂材料10b且配设于上侧树脂材料卷绕辊11a 的更下侧(与上侧树脂材料卷绕辊11a相对峙)的下侧树脂材 料卷绕辊11b、和卷绕有带状电路板10c的带状电路板卷绕辊 11c。该层压装置还包括第1引导辊12a和第2引导辊12b；上述 第1引导辊12a将自上侧树脂材料卷绕辊11a拉出的上侧带状膜 状树脂材料10a引导至上述真空层压装置2的两热盘23、26之 间；上述第2引导辊12b(与该第1引导辊12a相对峙地配设于该 第1引导辊12a的更下侧)将自下侧树脂材料卷绕辊11b拉出的 下侧带状膜状树脂材料10b以与上侧带状膜状树脂材料10a相 面对的状态引导至上述两热盘23、26之间。该层压装置还包括 第3引导辊12c，该第3引导辊12c将自带状电路板卷绕辊11c拉 出的带状电路板10c定位于上述上下两带状膜状树脂材料10a、 10b之间并将其引导至上述热盘23、26之间。而且，该层压装 置还包括卷取带状层压体9a的层压体卷取辊14a，该带状层压 体9a通过将上下两带状膜状树脂材料10a、10b及带状电路板 10c导入到上述两热盘23、26之间，并使上述两热盘23、26动 作而形成。
在此，如图19所明示，自上述膜等开卷部1a中，自各卷绕 辊11、12、11a～11c拉出的上下两输送膜5、6、上下两带状膜 状树脂材料10a、10b及带状电路板10c(参照图20)，以自上侧 朝向下侧按照上侧输送膜5、上侧带状膜状树脂材料10a、带状 电路板10c、下侧带状膜状树脂材料10b、下侧输送膜6的顺序 排列的状态被送出。因此，在相对于上下输送膜卷绕辊11、12 靠近基板流程方向(参照图19的箭头)的上游侧(图19中的右 侧)配置上下两树脂材料卷绕辊11a、11b，在上下两输送膜5、 6之间定位上下两带状膜状树脂材料10a、10b，并且，在相对 于上下两树脂材料卷绕辊11a、11b靠近上述流程方向的上游侧 (图19中的右侧)配置带状电路板卷绕辊11c，在上下两带状 膜状树脂材料10a、10b之间定位带状电路板10c。另外，也可 以将上下两树脂材料卷绕辊11a、11b设置在相对于上下输送膜 卷绕辊11、12靠近基板流程方向(参照图19的箭头)的下游侧。
另外，在用覆盖膜(未图示)保护上下两带状膜状树脂材 料10a、10b的树脂面(与带状电路板10c相面对的面)，使用时 需要剥下覆盖膜的情况下，在上下两树脂材料卷绕辊11a、11b 附近设置用于卷取覆盖膜的卷取辊(未图示)。对于该卷取辊的 驱动部件并没有特别的限定，可以设置专用的电动机等驱动部 件，也可以使卷取辊外周与上下两树脂材料卷绕辊11a、11b的 外周接触而将上下两树脂材料卷绕辊11a、11b的旋转传递到卷 取辊来卷取。
作为上述上下两带状膜状树脂材料10a、10b，可以使用与 上述实施方式中采用的膜状树脂材料8b完全相同的材料(在上 述实施方式中形成为长方形片状，但在本实施方式中形成为纵 长)，从而可以使用卷绕于卷芯(未图示)的带状树脂材料8b。 另外，作为上述带状电路板10c，可使用具有可以做成辊状安 装于带状电路板卷绕辊11c、且可卷取于层压体卷取辊14a的程 度的柔软性的材料，例如，也可以使用以具有挠性的膜连结具 有挠性的多个基材8a而成的材料，或者在具有挠性的纵长的基 底膜上形成有多处电路配线等而成的材料(形成有电路配线等 的部分成为基材8a)。对于带状电路板10c的厚度和长度并没有 特别的限定，厚度优选为0.02～2mm的范围内，长度优选为 10～1000mm的范围内。另外，上述上下两输送膜5、6可以使 用与上述实施方式中采用的输送膜相同的材料。这样的上下两 带状膜状树脂材料10a、10b、带状电路板10c及上下两输送膜5、 6以被付与0.5～150kN范围内的张力的状态运行，输送速度通 常设定在1～20m/分的范围内。
上述膜等卷取部4a与上述实施方式(的输送膜卷取部4) 同样，不仅包括上侧卷取辊14、下侧卷取辊15、第1驱动部件 及第2驱动部件，在此基础之上，还包括卷取经由真空层压装 置2及平面加压装置3而制成的带状层压体9a(多个柔软的层压 体9连接成一串而成的材料)的层压体卷取辊14a。该层压体卷 取辊14a配置于相对于上下两卷取辊14、15靠近上述流程方向 的下游侧(图19中的左侧)，在上下两输送膜5、6之间定位有 带状层压体9a。该膜等卷取部4a还包括与上述上下两卷取辊 14、15同步并间断地卷取驱动层压体卷取辊14a的层压体驱动 部件14c(参照图21)。另外，在本实施方式中，不配设排出传 送带。
自上述上侧输送膜卷绕辊11被开卷的上侧输送膜5在通过 真空层压装置2及平面加压装置3之后，卷取于膜等卷取部4a的 上侧卷取辊14，自下侧输送膜卷绕辊12被开卷的下侧输送膜6 也同样在通过真空层压装置2及平面加压装置3之后，卷取于膜 等卷取部4a的下侧卷取辊15。另外，自各卷绕辊11a～11c被开 卷的上下两带状膜状树脂材料10a、10b及带状电路板10c经由 各引导辊12a～12c而被导入到真空层压装置2、平面加压装置 3，形成一体的带状层压体9a而卷取于层压体卷取辊14a。
另外，在真空层压装置2中，上下两输送膜5、6、上下两 带状膜状树脂材料10a、10b及带状电路板10c在真空状态下被 加热并加压，在上下两输送膜5、6之间形成层压有上下两带状 膜状树脂材料10a、10b和带状电路板10c的带状层压体9a。另 外，在平面加压装置3中，自真空层压装置2被输送来的上下两 输送膜5、6、上下两带状膜状树脂材料10a、10b及带状电路板 10c被加热并加压，在上下两输送膜5、6之间使上述带状层压 体9a的表里两面平滑。
在本实施方式中获得的带状层压体9a中，沿长度方向连续 地形成有由1个基材8a和层压于其上的上下两膜状树脂材料8b 构成的1个制品。因而，带状层压体9a在后工序中被切断为每1 个制品。为了高效率地获得1个制品，优选为制品间的距离较 短。在本实施方式中，由于真空层压装置2与平面加压装置3之 间存在距离，因此，无法在相当于该距离的量的带状层压体9a 的空间中形成制品。如图22所示，为了消除该问题，在上下两 装置2、3之间设置阶梯辊15a，在利用该阶梯辊15a使相当于真 空层压装置2的热盘23、26的1个动作周期的距离的量的带状层 压体9a弯曲并将其保持时，可以缩短相邻的制品之间的距离。 由此，可以消除因真空层压装置2与平面加压装置3之间的距离 而产生的浪费。另外，也可以空开规定的间隔(相当于上述热 盘23、26的1个动作周期的距离)而设置真空层压装置2和平面 加压装置3。
如上所述，本实施方式起到与上述实施方式同样的作用和 效果。而且，相对于在上述实施方式中需要高价的自动切片层 压装置等附带设备，本实施方式具有不需要高价的附带设备的 优点。而且，在基材8a的绝缘层(基底膜)的厚度为100μm以 下的情况下，由于在将绝缘层切割为长方形片状时其翘起而卷 边、或者强度不足，因此，难以形成和输送临时层压体7，但 在本实施方式中，通过在使带状电路板10c形成带状且付与张 力的状态下将其处理，在上述绝缘层的厚度为100μm以下的情 况下，也可以层压上下两带状膜状树脂材料10a、10b及带状电 路板10c，并使其平滑化。
图23表示本发明的层压装置的又一实施方式。在本实施方 式中，不包括在图19所示的实施方式中的上下两输送膜卷绕辊 11、12、上下两卷取辊14、15以及两驱动部件。除此之外的部 分与图19所示的实施方式相同，对相同的部分标注相同的附图 标记。本实施方式也起到与图19所示的实施方式同样的作用和 效果。
图24表示本发明的层压装置的又一实施方式。在本实施方 式中，不包括在图19所示的实施方式中的卷取带状层压体9a的 层压体卷取辊14a。另外，将带状层压体9a的驱动部件14c设置 于图24所示的位置。除此之外的部分与图19所示的实施方式相 同，对相同的部分标注相同的附图标记。本实施方式也起到与 图19所示的实施方式同样的作用和效果。另外，在本实施方式 中，自本发明的层压装置拉出的带状层压体9a沿长度方向连续 地形成有由1个基材8a和层压于其上的上下两膜状树脂材料8b 构成的1个制品，带状层压体9a被与本发明的层压装置相邻配 置的切断装置(未图示)切断为每1个制品。另外，虽未图示， 但也可以将切断装置配置于带状层压体9a的驱动部件14c下游 的本发明的层压装置内。
图25表示本发明的层压装置的又一实施方式。在本实施方 式中，不包括图19所示的实施方式中的卷取带状层压体9a的层 压体卷取辊14a。另外，将带状层压体9a的驱动部件14c设置于 图25所示的位置，并且，不包括上下两输送膜卷绕辊11、12、 上下两卷取辊14、15以及两驱动部件。除此之外的部分与图19 所示的实施方式相同，对相同的部分标注相同的附图标记。本 实施方式也起到与图19所示的实施方式同样的作用和效果。本 实施方式可用于这样的情况，即，在利用本发明的层压装置加 热并加压上侧带状膜状树脂材料10a、下侧带状膜状树脂材料 10b时，树脂自这两个带状膜状树脂材料10a、10b的端部溶化 而渗出，不附着于本发明的层压装置。具体地讲，其适合用于 感光性聚酰亚胺膜等。
图26表示本发明的层压装置的又一实施方式。本实施方式 是这样的构造，即，替代图19所示的实施方式中的带状电路板 10c，使用基材(单张电路板)8a，将其供给到真空层压装置2。 同时，通过替代图19所示的卷绕辊11c而设置搬入传送带13， 可以利用搬入传送带13将基材(单张电路板)8a逐个搬入到上 下两带状膜状树脂材料10a、10b之间而将其供给到真空层压装 置2。除此之外的部分与图19所示的实施方式相同，对相同的 部分标注相同的附图标记。本实施方式也起到与图19所示的实 施方式同样的作用和效果。而且，在本实施方式中，不针对基 材8a使用高价的自动切片层压装置等附带设备，就可以层压上 下两带状膜状树脂材料10a、10b。
图27表示本发明的层压装置的又一实施方式。在本实施方 式中，不包括图19所示的实施方式中的、卷取带状层压体9a的 层压体卷取辊14a。另外，带状层压体9a的驱动部件14c是这样 的构造，即，设置于图27所示的位置，并且替代带状电路板10c 而使用基材(单张电路板)8a，将其供给到真空层压装置2。 同时，通过替代图19所示的卷绕辊11c而设置搬入传送带13， 可以利用搬入传送带13将基材8a逐个搬入到上下两带状膜状 树脂材料10a、10b之间而将其供给到真空层压装置2。除此之 外的部分与图19所示的实施方式相同，对相同的部分标注相同 的附图标记。本实施方式也起到与图19所示的实施方式同样的 作用和效果。而且，在本实施方式中，不针对基材8a使用高价 的自动切片层压装置等附带设备，就可以层压上下两带状膜状 树脂材料10a、10b。并且，自本发明的层压装置拉出的带状层 压体9a由1个基材(单张电路板)8a和层压于其上的上下两带 状膜状树脂材料10a、10b构成，沿长度方向连续的带状层压体 9a被与本发明的层压装置相邻配置的切断装置(未图示)切断 为每1个制品。另外，虽未图示，但也可以将切断装置配置于 带状层压体9a的驱动部件14c下游的本发明的层压装置内。
图28表示本发明的层压装置的又一实施方式。本实施方式 是这样的构造，即，不包括图19所示的实施方式中的带状电路 板10c而使用基材(单张电路板)8a，并将其供给到真空层压 装置2。同时，通过替代图19所示的卷绕辊11c而设置搬入传送 带13，可以利用搬入传送带13将基材(单张电路板)8a逐个搬 入到上下两带状膜状树脂材料10a、10b之间而将其供给到真空 层压装置2。并且，相对于图19，不包括上下两输送膜卷绕辊 11、12、上下两卷取辊14、15以及两驱动部件。除此之外的部 分与图19所示的实施方式相同，对相同的部分标注相同的附图 标记。本实施方式也起到与图19所示的实施方式同样的作用和 效果。而且，在本实施方式中，不针对基材(单张电路板)8a 使用高价的自动切片层压装置等附带设备，就可以层压上下两 带状膜状树脂材料10a、10b。并且，本实施方式可用于这样的 情况，即，在利用本发明的层压装置加热并加压上下两带状膜 状树脂材料10a、10b时，树脂自这两个带状膜状树脂材料10a、 10b的端部溶化而渗出，不附着于本发明的层压装置。具体地 讲，其适合用于感光性聚酰亚胺膜等。
图29表示本发明的层压装置的又一实施方式。在本实施方 式中，不包括图19所示的实施方式中的卷取带状层压体9a的层 压体卷取辊14a。另外，带状层压体9a的驱动部件14c是这样的 构造，即，设置于图29所示的位置，并且，替代带状电路板10c 而使用基材(单张电路板)8a，将其供给到真空层压装置2。 同时，通过替代图19所示的卷绕辊11c而设置搬入传送带13， 可以利用搬入传送带13将基材(单张电路板)8a逐个搬入到上 下两带状膜状树脂材料10a、10b之间而将其供给到真空层压装 置2。并且，相对于图19，不包括上下两输送膜卷绕辊11、12、 上下两卷取辊14、15以及两驱动部件。除此之外的部分与图19 所示的实施方式相同，对相同的部分标注相同的附图标记。本 实施方式也起到与图19所示的实施方式同样的作用和效果。而 且，在本实施方式中，不针对基材(单张电路板)8a使用高价 的自动切片层压装置等附带设备，就可以层压上下两带状膜状 树脂材料10a、10b。并且，自本发明的层压装置拉出的带状层 压体9a由1个基材(单张电路板)8a和层压于其上的上下两带 状膜状树脂材料10a、10b构成，沿长度方向间断地形成的带状 层压体9a被与本发明的层压装置相邻配置的切断装置(未图 示)切断为每1个制品。另外，虽未图示，但也可以将切断装 置配置于带状层压体9a的驱动部件14c下游的本发明的层压装 置内。并且，本实施方式可用于这样的情况，即，在利用本发 明的层压装置加热并加压上下两带状膜状树脂材料10a、10b 时，树脂自上下两带状膜状树脂材料10a、10b的端部溶化而渗 出，不附着于本发明的层压装置。具体地讲，其适合用于感光 性聚酰亚胺膜等。
另外，在图1中形成一并设置真空层压装置2及平面加压装 置3而成的连续层压装置，但并不限定于此，也可以独立地设 置真空层压装置2及平面加压装置3。另外，在图1中，为了输 送临时层压体7、层压体9并消除自膜状树脂材料8b、膜状树脂 层8c的渗出，一并使用上下两输送膜5、6，但为了控制调节这 样的上下两输送膜5、6的张力及输送速度，输送膜开卷部1配 置于真空层压装置2的临时层压体7的搬入口附近，输送膜卷取 部4配置于平面加压装置3的层压体9的搬出口附近。另外，在 图19、图24、图26及图27中，为了消除树脂自带状层压体9a 渗出，一并使用上下两输送膜5、6，但为了控制调节这样的上 下两输送膜5、6的张力及输送速度，膜等开卷部1a配置于真空 层压装置2的膜入口附近，膜等卷取部4a配置于平面加压装置3 的膜出口附近。
另外，在上述真空层压装置2及平面加压装置3中，使用上 部板20、上加压块41可上下移动而下部板21、下加压块42固定 的构造，但从由上部板20、上加压块41的升降机构产生异物尘 埃的方面考虑，优选图1、图19及图24～图29的构造。
另外，在图1、图19、图24、图26及图27中，表示了在利 用真空层压装置2及平面加压装置3处理时均使用上下两输送 膜5、6的情况，但也可以仅在利用真空层压装置2处理时使用 上下两输送膜5、6，或仅在利用平面加压装置3处理时使用上 下两输送膜5、6。另外，也可以分别在真空层压装置2及平面 加压装置3中各自设置上下两输送膜5、6。
图30表示上述各实施方式中采用的真空层压装置2的变形 例。在该例子中，在上述真空层压装置2中不设置可动真空框 架30，在上部板20的下表面气密状地固定有大致四边形框架状 的上侧固定框架部63，在下部框架21上固定有大致四边形框架 状的下侧固定框架部64。另外，在该例子中，在上侧固定框架 部63中不固定有真空抽取用喷嘴33，而在下部板21中沿着下侧 固定框架部64设有真空抽取用通孔65，通过该真空抽取用通孔 65将空间部34内的空气抽成真空。
另外，在该例子中，设有以升降自由的方式支承下部板21 的液压缸或者气缸66、和以升降自由的方式支承隔着下侧绝热 材料25固定于下侧热盘26的支承板67的液压缸或者气缸68，利 用液压缸或者气缸66使下部板21上下移动，利用液压缸或者气 缸68使下侧热盘26上下移动。图中，69是固定于下侧固定框架 部64上表面的环状密封构件，起到在真空层压时将空间部34保 持为气密状的作用。除此之外的部分与上述各实施方式中采用 的真空层压装置2相同，对相同的部分标注相同的附图标记。 在使用该例子的真空层压装置2的情况下，也起到与上述各实 施方式的层压装置同样的作用和效果。
另外，也可以为，使用上述两层压装置，在进行本发明的 层压方法之前配置微粘着辊或超声波清洁器等清洁器装置，利 用它们清洁基板8a的表面和上下两输送膜5、6的表面。
另外，在真空层压装置2之前、平面加压装置3之后配置有 搬入传送带13、排出传送带(未图示)，利用搬入传送带13将 临时层压体7供给到上下两输送膜5、6，利用排出传送带排出 自上下两输送膜5、6剥离的层压体9，但也可以替代这两个传 送带13而使用旋转辊组、环形带。另外，两传送带13的原料为 难于污染且不起尘的材料即可。另外，上述两传送带13的尺寸 为长度在0.3～3m的范围内、优选为0.5～1.5m即可，另外，其 输送速度通常为1～25m/分的范围内。
在自平面加压装置3排出层压体9时，为了防止在后工序中 产生压痕(打入痕迹)，优选在排出之后立即使其冷却为室温程 度而固化，对这样的冷却方法并没有特别的限定，可以通过自 然散热来冷却，也可以在紧接平面加压装置3之后设置冷却装 置。该冷却装置在工业上可使用冷冻机、使用利用空气的隔热 膨胀而得的冷气的冷却风扇或冷风吹拂器、在管中通入有冷水 的冷却辊等。
在该冷却时，更优选在被上下两输送膜5、6夹持的状态下 冷却层压体9，优选为，在上下两输送膜5、6中夹持着由平面 加压装置3输送来的层压体9的状态下将其冷却，在冷却后将其 排出到后侧的传送带。
优选为，在排出传送带的入口设置用于在平面加压装置3 中加热并加压处理之后剥下层压体9和上下两输送膜5、6的剥 离辊等剥离装置、例如跳起防止装置(未图示)。也可以适当地 配置用于在平面加压装置3之后存储被压紧的层压体9的储料 器，或者为了提高层压体9的表面平滑性而适当地进一步设置 加压装置等。另外，为了应对静电，也可以在上下两输送膜5、 6的膜线或各处设置消电棒等。
另外，也可以替代图19中的上下两带状膜状树脂材料10a、 10b及上下两树脂材料卷绕辊11a、11b，将带状电路板卷绕辊 11c配置在自动切片层压装置的上游而将自带状电路板卷绕辊 11c拉出的带状电路板10c插入到自动切片层压装置，将被切割 为长方形片状的膜状树脂材料8b临时固定于带状电路板10c而 将其供给到真空层压装置2，如图26、图27所示，也可以替代 带状电路板10c及带状电路板卷绕辊11c，利用搬入传送带13将 基材8a逐个搬入到上下两带状膜状树脂材料10a、10b之间而将 其供给到真空层压装置2。另外，在图30中，也可以替代带状 电路板10c及带状电路板卷绕辊11c，如图28及图29所示利用搬 入传送带13将基材(单张电路板)8a逐个搬入到上下两带状膜 状树脂材料10a、10b之间而将其供给到真空层压装置2。
本发明对于处印制电路板之外的其他用途，例如在LCD电 路板上贴合带有粘着剂的偏振光板、带有粘着剂的相位差板时， 在向标签带贴合各种基材时，在各种电路板上粘合切割胶带等 或附着有热熔树脂的膜、例如贴合IC卡等时，也是有效的装置 和方法。并且，通过使用本发明的真空加压装置，在可以在具 有凹凸的基材上紧贴并追随膜状树脂材料的同时，使由基材的 凹凸引起的膜状树脂材料表面的凹凸平坦化，在进一步利用平 面加压装置使在本发明的真空加压装置中层压的制品平滑化的 用途，由于膜状树脂材料的表面如上所述形成平坦化，因此， 在缩短平面加压时间的同时，抑制树脂自膜状树脂材料周围渗 出而改善膜状树脂材料外围部的树脂厚度均匀性。
实施例
下面，列举实施例更加具体地说明本发明，但本发明只要 不超出主旨，则并不限定于以下的实施例。
实施例1
使用图1所示的真空层压装置2及平面加压装置3。利用真 空层压装置2的上下两板20、21的热盘23、26将空间部34预先 调整为110℃。首先，将由热固化性树脂组成物(玻璃转变温 度80℃)和聚对苯二甲酸乙二醇酯支承膜构成的膜状树脂材料 8b配设在表里两面具有凹凸的基板8a的表里两面，该热固化性 树脂组成物由环氧树脂构成，利用自动切片层压装置以使两膜 状树脂材料8b(树脂层的厚度为38μm)的树脂面与上述基板 8a的凹凸面(凹凸的厚度为18μm，凹凸的间隔为20μm)接触 的方式将其临时固定，准备好临时层压体7。
其次，在利用由聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的上下两输送 膜5、6(厚度为38μm，表面粗糙度为0.5μm)将上述临时层压 体7输送到真空层压装置2内的压紧位置之后，使下部板21上升 而使其与上部板20密封契合，之后，进入减压操作。
利用真空泵(未图示)自真空抽取用喷嘴33吸引空气，使 开始吸引30秒之后的空间部34为100Pa，利用厚度为2mm、尺 寸为(纵×横)63cm×63cm的上下两弹性加压板24、27，以 1MPa的压力对临时层压体7加压20秒钟。作为上下两弹性加压 板24、27，将金阳公司制“KINYO BOARDF200”直接固定 于上下两热盘23、26来使用，在上下两热盘23、26的内部分别 内置9根套状加热器23a、26a。
接着，使空间部34恢复大气压，使下部板21下降，利用上 下两输送膜5、6将被压紧的临时层压体7(即，层压体9)自真 空层压装置2排出而将其输送到平面加压装置3。
接着，利用平面加压装置3加压层压体9。作为上下两挠性 金属板49、53，使用加压面的平面度为3μm的不锈钢板 (SUS630H，厚度为3mm)，作为上下两缓冲材料48、52，使 用以#1500的砂纸对偏二氟乙烯系橡胶(偏二氟乙烯、六氟化 丙烯、四氟化乙烯的共聚物)表面处理而将其调整为厚度为 2.5mm、表面粗糙度Rz为15μm、肖氏A硬度为70度而成的材 料。另外，在上下两热盘47、51的内部内置有9根套状加热器 47a、51a，作为下部板45，使用厚度为80mm的铁制材料。
首先，将平面加压装置3的上下两板44、45的热盘47、51 调整为120℃，使下部板45上升，利用上下两挠性金属板49、 53，以1.5MPa的压力对层压体9加压50秒钟。
之后，使下部板45下降，利用上下两输送膜5、6输送层压 体9而将其自平面加压装置3排出。按照以下要领对获得的层压 体9评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、褶皱的产生。
追随性
观察层压体9的表面，利用250倍显微镜观察是否沿着基板 8a的凹凸层压有膜状树脂层8c。
○......沿着凹凸填充有膜状树脂层8c，不存在微小空隙地 追随。
×......沿着凹凸未填充膜状树脂层8c，或者存在微小空隙。
膜厚均匀性
按照横截面法，利用电子显微镜观察层压体9的垂直截断 面，测定层压于基板8a的凸面上的树脂层的厚度，如下评价各 自厚度之差。
○......小于0.5μm
×......大于0.5μm
表面镜面性
目测观察以相对于层压体9的膜状树脂层8c表面倾斜45度 的角度落在基板8a上的荧光灯的反射光，如下进行评价。
○......接近镜面的状态
×......未形成镜面
褶皱的产生
观察层压体9的表面，观察是否未在膜状树脂层8c的表面 产生褶皱。
○......未产生褶皱
×......产生褶皱
实施例2
在实施例1的条件下，将基材8a放置在真空层压装置2的热 盘23、26的中央部，运转30万次之后，同样对在实施例1的条 件下获得的层压体9评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、 褶皱的产生。
实施例3
在实施例2的条件下，除了作为真空层压装置2的上下两弹 性加压板24、27，将肖氏A硬度为60度、厚度为4mm、表面粗 糙度Rz为3μm的含氟硅酮橡胶硫化粘接在平面度为3μm的不 锈钢板(SUS630H，厚度为2mm)的单面，在未硫化粘接含 氟硅酮橡胶的一侧表面，将金阳公司制“KINYO BOARDF200” 作为缓冲材料(尺寸(纵×横)63cm×63cm)固定于上下两 热盘23、26之外，以相同的条件形成层压体9，同样地评价追 随性、膜厚均匀性、表面镜面性、褶皱的产生。
实施例4
除了使用图19所示的真空层压装置2及平面加压装置3，如 图20所示将由用连续带状的环氧树脂构成的热固化性树脂组 成物(玻璃转变温度80℃)和聚对苯二甲酸乙二醇酯支承膜构 成的连续带状膜状树脂材料10a、10b、和在表里两面具有凹凸 的带状电路板10c(带状电路板10c的绝热层是70μm的聚酰亚 胺膜，凹凸的厚度为18μm，凹凸的间隔为20μm)插入之外， 以实施例2的条件形成连续带状层压体9a，同样地评价追随性、 膜厚均匀性、表面镜面性、褶皱的产生。
实施例5
除了在实施例2的条件下使用的两膜状树脂材料8b的树脂 层的厚度为68μm、基材8a的凹凸的厚度为50μm、凹凸的间隔 为50μm之外，以与实施例2相同的条件形成层压体9，同样地 评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、褶皱的产生。
实施例6
除了在实施例3的条件下使用的两膜状树脂材料8b的树脂 层的厚度为68μm、基材8a的凹凸的厚度为50μm、凹凸的间隔 为50μm之外，以与实施例3相同的条件形成层压体9，同样地 评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、褶皱的产生。
实施例7
除了在实施例4的条件下使用的连续带状两膜状树脂材料 10a、10b的树脂层的厚度为68μm、带状电路板10c(带状电路 板10c的绝热层是70μm的聚酰亚胺膜，凹凸的厚度为50μm，凹 凸的间隔为50μm)之外，以与实施例4相同的条件形成连续带 状层压体9a，同样地评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、 褶皱的产生。
比较例1
替代图1所示的真空层压装置2、平面加压装置3，使用1台 平面加压装置3来形成层压体9，同样地评价追随性、膜厚均匀 性、表面镜面性、褶皱的产生。
比较例2
除了作为真空层压装置2的上下两弹性加压板24、27，使 用不含有纤维层的、肖氏A硬度为60度、厚度为4mm、表面粗 糙度Rz为3μm的含氟硅酮橡胶之外，以与实施例2相同的条件 形成层压体9a，同样地评价追随性、膜厚均匀性、表面镜面性、 褶皱的产生。
将实施例1～7及比较例1、2的评价结果表示于下记表1中。
表1
  追随性 膜厚均匀性 表面镜面性 褶皱的产生 实施例1 ○ ○ ○ ○ 实施例2 ○ ○ ○ ○ 实施例3 ○ ○ ○ ○ 实施例4 ○ ○ ○ ○ 实施例5 ○ ○ ○ ○ 实施例6 ○ ○ ○ ○ 实施例7 ○ ○ ○ ○ 比较例1 × × × ×
  比较例2 × × × ○
由上记表1可判断出，对于追随性、膜厚均匀性、表面镜 面性以及褶皱的产生，实施例1～7优于比较例1。