专利汇可以提供多级半导体结构中对准带帽金属线和互连的形成专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且在集成 电路 技术中,提供了例如 铜 的金属的电迁移和扩散敏感导体及其加工程序,其中在平整化的化学 机械加工 的界面处,在可选择的低Keff介质材料的用一种材料围绕的区中 定位 该导体金属。选择所述一种材料以便防止外扩散并且作为膜形成厚度帽的源,该膜形成厚度帽将形成在导体金属上和/或起到催化层的作用,用于CoWP成帽层的化学选择淀积。,下面是多级半导体结构中对准带帽金属线和互连的形成专利的具体信息内容。
1.一种电迁移和扩散敏感金属的集成电路导电元件,所述电迁移 和扩散敏感金属由保护帽覆盖,并且所述电迁移和扩散敏感金属定位 在延伸至介质的平整表面的沟槽中,在所述沟槽中,由抗该电迁移和 扩散敏感金属的外扩散的、并且作为所述帽材料的扩散源的材料构成 的衬垫环绕所述电迁移和扩散敏感金属。
2.权利要求1的集成电路导电元件,其中所述介质是从各种 SiO2基介质中选取的至少一种材料。
3.权利要求2的集成电路导电元件,其中所述介质是SiCOH或 SILK材料。
4.权利要求2或3的集成电路导电元件,其中所述导电元件的金 属是铜。
5.权利要求4的集成电路导电元件,其中所述衬垫是由来自组A 和B的至少一种成分构成的衬垫叠层或一种合金,其中A选自W、 Ta、Ti、它们的氮化物和硅化物;B选自Ru、Rh、Pd、Pt、Ag、Co和Ir。
6.权利要求5的集成电路导电元件,其中所述帽是Ru、Pd、 Rh、Ir、Ag、Pt和Co中的至少一个元素。
7.带帽集成电路导体线和互连部件的制造方法,包括步骤:
形成延伸至介质的平整化表面的具有侧面和底部的沟槽,
在所述沟槽中定位衬垫材料,使其位于所述侧面和底部,
所述衬垫材料具有抗原子扩散通过所述衬垫材料的性能,
所述衬垫材料还具有作为成帽材料的扩散原子源的性能,
用导体金属填充所述带衬垫的沟槽,
平整化所述经填充的带有衬垫材料的沟槽,直到所述介质的所述 平整化表面,和
在以下温度循环中对所述介质中所述填充了的带衬垫的沟槽进行 退火,该温度循环使所述成帽材料的原子扩散,以便在所述平整化表 面处在所述导体金属上形成层。
8.权利要求7的方法,其中所述导体金属是Cu。
9.权利要求8的方法,其中所述介质是从SiO2基介质中选取的 至少一种材料。
10.权利要求9的方法,其中所述介质是SiCOH或SILK材料。
11.权利要求9或10的方法,其中所述衬垫是由来自组A和B的 至少一个成分构成的衬垫叠层或合金,其中A选自W、Ta、Ti、它们 的氮化物和硅化物;B选自Ru、Rh、Pd、Pt、Ag、Co和Ir。
12.权利要求11的方法,其中来自所述组B的元素的扩散原子在 后续的CoWP层的淀积中起到催化层的作用。
13.在介质层型集成电路导电元件中提供抗环境和抗电迁移和扩 散的方法,其改进在于在所述介质中的沟槽中形成导体和互连部件的 金属部分,用衬垫给所述沟槽作衬,所述衬垫抵抗原子扩散通过所述 衬垫,并且所述衬垫起到成帽材料的扩散原子源的作用,对所述金属 和所述衬垫施加扩散退火热循环。
本发明涉及使用会表现出扩散和电迁移性能的金属例如铜(Cu) 作为半导体集成电路中线和互连中的金属导体的领域,尤其是介质材 料内的这种集成电路中该材料的导体的形成,并且具有自对准金属帽 层。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
机械加工机 | 2020-05-12 | 629 |
机械加工头 | 2020-05-12 | 208 |
机械加工用刀柄专用车 | 2020-05-11 | 221 |
机械加工顶针 | 2020-05-11 | 766 |
一种新型多功能机械加工工作台 | 2020-05-11 | 900 |
用于机械加工的机床卷屑装置 | 2020-05-11 | 908 |
机械加工用刀柄 | 2020-05-12 | 473 |
机械加工设备 | 2020-05-12 | 557 |
机械加工设备 | 2020-05-12 | 263 |
一种耐用机械加工用工作台装置及其使用方法 | 2020-05-12 | 600 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。