技术领域
[0001] 本
发明属于
液晶显示技术领域，具体涉及一种佳能光罩制作色组层的挡板标识及其使用方法。
背景技术
[0002] 液晶显示装置(LCD，Liquid Crystal Display)具有
机身薄、省电、无
辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为
背光型液晶显示装置，其包括液晶
显示面板及背光模组(backlight module)。通常液晶显示面板由彩膜
基板(CF，Color Filter)、
薄膜晶体管基板(TFT，Thin Film Transistor)、夹于彩膜基板与
薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封框胶(Sealant)组成。
[0003] CF基板是LCD用来实现彩色显示的主要器件，其基本构成通常包括：玻璃基板、黑色矩阵、彩色色阻层等等。
背光源发出的光经过液晶分子的调制入射到CF基板，通过CF基板上彩色色阻层的红色色阻、绿色色阻、以及蓝色色阻的滤光作用，分别显示红，绿，蓝三种光线，不同
颜色的色阻分别透射对应颜色波段的光，从而实现显示器的彩色显示。
[0004] 光罩(Mask)，又称为光掩膜板、掩膜板，是由
石英玻璃作为衬底，在其上面
镀上一层金属铬和感光胶的感光材料。把已设计好的
电路图形通过
电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后底片的光掩
模版，然后应用于集成电路的投影
定位，通过集成电路
光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
[0005] 佳能光罩的对位
精度较高，当使用佳能光罩制作色阻层时，由于色阻的显影精度较低，若套用佳能光罩常用的挡板标识，会导致该标识上的数字、小线宽标尺等细节无法成型，因而佳能光罩常用的挡板标识无法正常使用。若该标识不能正常使用，会导致挡板无法进行对应的调节，影响色阻曝光范围的控制和补偿。
发明内容
[0006] 本发明所要解决的技术问题是针对
现有技术的不足提供一种佳能光罩制作色组层的挡板标识及其使用方法，利用该标识替代原本无法用于色阻制作的挡板标识，能够对挡板的遮挡范围进行估算，进而对色阻的曝光范围进行控制和补偿。
[0007] 为此，本发明提供了一种佳能光罩制作色阻层的挡板标识，其包括前制程层和色阻层，所述的前制程层上形成有刻度标尺，且所述刻度标尺至少有一部分与色阻层重叠。
[0008] 在本发明的一些
实施例中，所述的色阻层为间隔设置的平行条带结构，且相邻条带在
水平方向上的投影相接和/或部分重叠。
[0009] 在本发明的另一些实施例中，所述的前制程层为金属层或黑矩阵。
[0010] 本发明还提供了一种佳能光罩制作色阻层的挡板标识的使用方法，其包括以下步骤：
[0011] 步骤A：利用佳能光罩上的刻度标尺图形在基板上形成带有刻度标尺的前制程层；
[0012] 步骤B：利用另一佳能光罩上的色阻层图形在前制程层上形成色阻层；
[0013] 步骤C：通过读取色阻层与前制程层上刻度标尺重叠部分的读数，判断色阻层制备时挡板的遮挡范围是否合理。
[0014] 在本发明的一些实施例中，所述前制程层上的刻度标尺至少有一部分与色阻层重叠。
[0015] 在本发明的另一些实施例中，所述色阻层图形为间隔设置的平行条带，且相邻条带在水平方向上的投影相接和/或部分重叠。
[0016] 在本发明的一些实施例中，所述的前制程层为金属层或黑矩阵。
[0017] 在本发明的另一些实施例中，所述的基板为玻璃基板。
[0018] 由于色阻材料的曝光解析度较低，当使用佳能光罩制作色组层时，若套用佳能光罩常用的刻度标尺作为挡板标识，会使该标识上的数字、小线宽标尺等细节无法成型，使得佳能光罩常用的刻度标尺挡板标识无法正常使用，进而导致挡板无法进行对应的调节，影响色阻曝光范围的控制和补偿。
[0019] 将佳能光罩常用的刻度标尺
刻蚀在曝光解析度好的前制程层上，使得前制程层上形成有结构完整的刻度标尺，然后再将色阻层制备在前制程层上，并且色阻层
覆盖前制程层上的刻度标尺，色阻层制作完成后通过观察色阻层对下方前制程层刻度标尺的覆盖情况，就能判断色阻层制作时挡板的遮挡距离是否合理，是否需要补偿。本发明正是基于上述方法做出的。
[0020] 本发明的有益效果为：色阻层制作完成后，通过观察色阻层对前制程层中的刻度标尺的覆盖情况，既可判断色阻层制作时挡板的遮挡距离是否合理，是否需要补偿。利用该标识替代原本无法用于色阻制作的挡板标识，进而对色阻层的曝光范围进行控制和补偿。另外，所述挡板标识中的色阻层为间隔设置的平行条带结构，相邻条带在水平方向上的投影相接和/或部分重叠，既能使色阻层的至少一部分与前制程层上的刻度标尺重叠，又克服了色阻曝光解析度低的问题。
附图说明
[0021] 下面将结合附图来说明本发明。
[0022] 图1为佳能光罩上的刻度标尺图形。
[0023] 图2为本发明的佳能光罩制作色阻层的挡板标识在基板上形成的所述挡板标识的俯视图；图中附图标记的含义如下：1利用佳能光罩上的刻度标尺图形在基板上形成带有刻度标尺的金属层；2利用另一佳能光罩上的色阻层图形在金属层上形成的色阻层。
[0024] 图3为本发明的佳能光罩制作色阻层的挡板标识在基板上形成的所述挡板标识的俯视图；图中附图标记的含义如下：3利用佳能光罩上的刻度标尺图形在基板上形成带有刻度标尺的黑矩阵；4利用另一佳能光罩上的色阻层图形在黑矩阵上形成的色阻层。
具体实施方式
[0025] 为使本发明容易理解，下面将结合附图和实施例来详细说明本发明，这些实施例仅起说明性作用，并不局限于本发明的应用范围。本发明中所使用的原料或组分若无特殊说明均可以通过商业途径或常规方法制得。
[0026] 具体实施方式一：
[0027] 一种佳能光罩制作色阻层的挡板标识：
[0028] 所述佳能光罩制作色阻层的挡板标识包括前制程层和色阻层，所述的前制程层上形成有刻度标尺，且所述刻度标尺至少有一部分与色阻层重叠。
[0029] 佳能光罩上的刻度标尺图形如图1。
[0030] 在一些实施例中，所述的色阻层为间隔设置的平行条带结构，且相邻条带在水平方向上的投影相接和/或部分重叠。
[0031] 在一些实施例中，所述的前制程层为金属层或黑矩阵。
[0032] 在一些实施例中，所述的基板为玻璃基板。
[0033] 具体实施方式二
[0034] 图2为本发明的佳能光罩制作色阻层的挡板标识在基板上形成的所述挡板标识的俯视图，佳能光罩制作色阻层的挡板标识的使用方法包括以下步骤：
[0035] (1)利用佳能光罩上的刻度标尺图形(如图1所示)在玻璃基板上形成带有刻度标尺的金属层1。
[0036] (2)另一佳能光罩上的色阻层图形在金属层1上形成色阻层2，且所述金属层1上的刻度标尺至少有一部分与色阻层2重叠；所述佳能光罩上的色阻层图形为间隔设置的平行条带，且相邻条带在水平方向上的投影相接或部分重叠；形成的挡板标识的俯视图如图2所示。
[0037] (3)通过读取色阻层2与金属层1上刻度标尺重叠部分的度数，判读色阻层制备时挡板的遮挡范围是否合理。
[0038] 具体实施方式三
[0039] 佳能光罩制作色阻层的挡板标识的使用方法包括以下步骤：
[0040] (1)利用佳能光罩上的刻度标尺图形(如图1所示)在玻璃基板上形成带有刻度标尺的黑矩阵3。
[0041] (2)另一佳能光罩上的色阻层图形在黑矩阵3上形成色阻层4，且所述黑矩阵3上的刻度标尺至少有一部分与色阻层4重叠；所述佳能光罩上的色阻层图形为间隔设置的平行条带，且相邻条带在水平方向上的投影部分相接或部分重叠；形成的挡板标识的俯视图如图3所示。
[0042] (3)通过读取色阻层4与黑矩阵3上刻度标尺重叠部分的度数，判读色阻层制备时挡板的遮挡范围是否合理。
[0043] 应当注意的是，以上所述的实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明的任何限制。通过参照典型实施例对本发明进行了描述，但应当理解为其中所用的词语为描述性和解释性词汇，而不是限定性词汇。可以按规定在本发明
权利要求的范围内对本发明作出
修改，以及在不背离本发明的范围和精神内对本发明进行修订。尽管其中描述的本发明涉及特定的方法、材料和实施例，但是并不意味着本发明限于其中公开的特定例，相反，本发明可扩展至其他所有具有相同功能的方法和应用。
