一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物
阅读：650发布：2024-02-16
专利汇可以提供一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种等离子 刻蚀 真空 系统 泵 轴承 工作液组合物，采用 质量 比50％的氟氯 碳 油和50％的聚三氟氯乙烯油复合作为全合成复合 基础 油，配合抗 氧 防腐剂 和抗氧防锈剂。本发明的组合物具有良好的热氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低温流动和扩散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防锈蚀性、抗 辐射 、抗强电 磁场 等性能。，下面是一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物专利的具体信息内容。
一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物
技术领域
背景技术
[0002] 等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是在使暴露的电子区域的气体形成等离子体，由此而产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成等离子式离子。电离的气体原子通过电磁场的加速，会获得足够的能量和表面动力，来粘合材料成蚀刻表面。同样相似的离子情况实际上是等离子刻蚀的一种轻微程度的状况。进行干式蚀刻工艺的成套设置包括：反应室、电源、真空系统。刻蚀工件是存入被真空系统抽吸戴真空状的反应室内加工。气体被导入并与等离子体进行交换。当等离子体在工件表面发生反应，反应过程中产生的挥发性物质被真空系统抽吸出来。等离子体刻蚀工艺其压缩是一种反应性等离子工艺。被真空系统抽吸排出的挥发性物质，对其真空系统中的真空泵工作液会加速变质反应。
发明内容
[0004] 本发明采用如下技术方案解决上述技术问题：
[0007] 以上各组分的质量百分比含量为100％。
[0008] 抗氧防腐剂是磷代三嗪。
[0009] 抗氧防锈剂是全氟烷基二磷朵-对称-三嗪。
[0010] 本发明的优点在于：
[0011] 本发明等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物具有良好的热氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低温流动和扩散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防锈蚀性、抗辐射、抗强电磁场性能。
具体实施方式
[0012] 实施例1：
[0013] 将下列各组分按百分比含量调和而成：
[0014]组分 质量百分比含量
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.5％
磷代三嗪 1.0％
全氟烷基二磷杂-对称-三嗪 0.5％
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.5％
磷代三嗪 1.0％
全氟烷基二磷杂-对称-三嗪 0.5％
[0015] 实施例2：
[0016] 将下列各组分按百分比含量调和而成：
[0017]组分 质量百分比含量
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.6％
磷代三嗪 0.9％
全氟烷基二磷杂-对称-三嗪 0.5％
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.6％
磷代三嗪 0.9％
全氟烷基二磷杂-对称-三嗪 0.5％
[0018] 实施例3：
[0019] 将下列各组分按百分比含量调和而成：
[0020]组分 质量百分比含量
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.6％
磷代三嗪 1.0％
全氟烷基二磷染-对称-三嗪 0.4％
质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合 98.6％
磷代三嗪 1.0％
全氟烷基二磷染-对称-三嗪 0.4％
[0021] 实施例1典型技术指标：
[0022]
[0023]
[0024] 实施例2典型技术指标：
[0025]
[0026] 实施例3典型技术指标：
[0027]
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