专利汇可以提供溫度調整裝置及基板處理裝置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且目的在於減輕因相異之2個以上的溫度控制部所控制之媒體所導致的熱負荷。 提供一種被處理 基板 之溫度調整裝置,係具有:載置台,係載置被處理基板;第1溫度控制部,係將第1溫度調整媒體之溫度控制為第1溫度;第2溫度控制部,係將第2溫度調整媒體之溫度控制為較第1溫度要高之第2溫度;載置台流道,係設置於該載置台內部,並切換該第1溫度調整媒體與該第2溫度調整媒體而加以流通;第1流道,係流通有該載置台流道所流出之該第1溫度調整媒體;第2流道,係流通有該載置台流道所流出之該第2溫度調整媒體;以及熱 泵 構造體,係進行該第1溫度調整媒體與該第2溫度調整媒體之間的熱量收授。,下面是溫度調整裝置及基板處理裝置专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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一种基于热泵的泵驱两相流体回路控温系统 | 2020-05-08 | 329 |
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一种多循环系统 | 2020-05-08 | 991 |
一种可防止冷媒滞留的换热器 | 2020-05-08 | 412 |
一种适用于中深层地热能应用的高效换热装置 | 2020-05-08 | 858 |
一种冷暖型全直流变频低温空气源热泵热风机 | 2020-05-11 | 966 |
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一种储能式双源热泵空调系统 | 2020-05-11 | 950 |
一种热泵机组 | 2020-05-11 | 764 |
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