专利汇可以提供薄膜晶体管阵列基板及其制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 薄膜 晶体管阵列 基板 及其制作方法,包括:基板(1),及形成于基板(1)上的 薄膜晶体管 和存储电容;该存储电容包括位于基板(1)上的第一极板(31),位于第一极板(31)之上的栅极绝缘层(3)或者蚀刻阻挡层(5),位于栅极绝缘层(3)或者蚀刻阻挡层(5)之上的第二极板(32);存储电容的两 电极 板之间只存在栅极绝缘层(3)或者蚀刻阻挡层(5)一层绝缘层,存储电容的绝缘层厚度较薄,电容相对面积较小, 开口率 较高。,下面是薄膜晶体管阵列基板及其制作方法专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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