一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法
专利汇可以提供一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种高透明度柔性 薄膜 晶体管及制作方法，所述柔性 薄膜晶体管 具体结构为层式结构， 自下而上 依次为柔性衬底层(1)、栅极层(2)、栅绝缘层(3)，有源区(4)以及源极(5)、漏极(6)；所述栅极层(2)采用重掺杂的ITO材料制成；所述栅绝缘层(3)采用氮化 硅 层SiNx材料制成；所述有源区(4)采用 氧 化铟层In2O3材料制成。与 现有技术 相比，本发明具有较高的 电子 迁移率，可以应用于高频集成 电路 ；并且整体透明度较高且具有可拉伸、弯折的特点，适用于柔性显示屏幕、 电子纸 、柔性光电设备以及可穿戴设备等。，下面是一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法专利的具体信息内容。
1.一种高透明度柔性薄膜晶体管，其特征在于，所述柔性薄膜晶体管具体结构为层式结构，自下而上依次为柔性衬底层(1)、栅极层(2)、栅绝缘层(3)，有源区(4)以及金属电极，所述金属电极包括源极(5)、漏极(6)；
所述栅极层(2)采用重掺杂的ITO材料制成；
所述栅绝缘层(3)采用氮化硅层SiNx材料制成；
所述有源区(4)采用氧化铟层In2O3材料制成。
2.如权利要求1所述的一种高透明度柔性薄膜晶体管，其特征在于，所述源极(5)、漏极(6)采用金属铝制电极AL材料制成。
3.一种高透明度柔性薄膜晶体管制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：
步骤1，将购买的PET柔性塑料放进盛有丙酮溶液的烧杯中，在超声波清洗器中清洗5分钟，随后使用异丙醇溶液将用丙酮清洗过的PET在超声波清洗器中将丙酮清洗干净，得到衬底层；
步骤2，利用光刻工艺在PET衬底上规划出相应的区域，并通过真空蒸镀在PET上蒸镀一层60nm厚的ITO底栅电极作为栅极层，长宽比为5:1；
步骤3，用等离子体增强化学气相沉积法蒸镀SiNx作为栅绝缘层，其厚度为200nm；
步骤4，In2O3晶体薄膜通过磁控溅射方法在室温条件下沉积在玻璃和白宝石衬底上，作为有源区，生长室的本底气压小于3×10-5Pa，溅射生长采用靶源为99.99％的高纯In2O3陶瓷靶，溅射气体为99.999％的高纯氩气Ar，气流大小为7sccm，溅射功率为100W；
步骤5，利用真空蒸镀的方法淀积一层铝电极并使用光刻工艺图案化，形成源极、漏极。
一种高透明度柔性薄膜晶体管及制作方法
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具体实施方式
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