一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜
专利汇可以提供一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及光学技术领域和MEMS领域，具体涉及一种基于SEBS 薄膜 的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其结构为：SEBS薄膜放置在两层不同厚度的玻璃层中间。两片环形 压电 致动器 分别粘结在玻璃薄膜的上下底面。当给 压电致动器 施加 电压 时，压电致动器会迫使玻璃薄膜弯曲，从而使整体形成透镜结构，不同的电压会使得玻璃薄膜有不同的弯曲 曲率 ，从而使得微透镜的焦距发生改变。压电驱动式微透镜是一种典型的微米级MEMS集成产品，其具有体积小，功耗低，无磁干扰，变焦范围广以及响应快速等优点。，下面是一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜专利的具体信息内容。
1.一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：包括两片圆环状压电致动器（1）、玻璃薄膜（2）、橡胶、支撑玻璃（4）和固定框架（5），两片压电致动器（1）分别固定在玻璃薄膜（2）上下表面，橡胶固定在玻璃薄膜（2）和支撑玻璃（4）之间，橡胶的上端端部位于玻璃薄膜（2）下表面处的压电致动器环内，固定框架（5）固定压电致动器（1）和玻璃薄膜（2）的边缘。
2.根据权利要求1所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：微透镜变焦由压电驱动，通过控制所加电压的大小实现微透镜的焦距变化。
3.根据权利要求2所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：玻璃薄膜（2）为二氧化硅玻璃薄膜。
4.根据权利要求3所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：橡胶材料是SEBS。
5.根据权利要求4所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：将颗粒状的SEBS放入圆筒状模具通孔中加热塑型，制作出来圆柱体橡胶。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：采用压电陶瓷材料制作压电驱动器（1）的过程如下：
a.将压电陶瓷粉末和聚乙烯醇粘结剂混合，造粒并过筛后，取出粉末放入模具中，挤压成型，得到圆形素坯，即压电致动器素坯；
b.将上述圆形素坯先烧除掉其中含有的粘结剂有机物，同时使素坯保持一定的机械强度；
c.在圆形素坯的几何中心处打孔，形成圆环形结构的压电板；
d.进行烧结，得到致密、均一的圆环形压电板；
e.在圆环形结构的压电板的上下表面上焙烧银电极，之后对其进行高压极化；
f.用砂纸打磨掉圆环形结构的压电板的上下表面的银电极，并经过超声清洗、烘干后，通过溅射或化学电镀方法在压电陶瓷的上下表面制备镀一层金膜。
7.根据权利要求5所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：SEBS薄膜的制备过程如下：
a.先将加热板上铺上一层锡纸，再把事先切割好的支撑玻璃（4）放置在锡纸上；
b.把圆筒状模具放在支撑玻璃的中心位置，然后粉末状的SEBS薄膜放入模具通孔中；
c.打开加热板的开关加热；
d.等待SEBS冷却固化后取下模具，支撑玻璃（4）和圆柱型的SEBS薄膜结合在了一起。
8.根据权利要求7所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：可变焦微透镜的组装：首先把结合在一起的支撑玻璃（4）和SEBS薄膜放置在金属框架底座并用高温环氧化胶在100℃下粘合在一起；然后用透明高温环氧化胶把SEBS薄膜的上端面和带有压电致动器（1）的玻璃薄膜（2）下表面粘合在一起；最后把玻璃薄膜（2）和压电致动器的边缘固定在金属框架（5）上。
9.根据权利要求7所述的一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜，其特征在于：模具的制作过程如下：
a. 玻璃片表面的处理：用丙酮、乙醇溶液分别超声清洗玻璃片，之后用去离子水冲洗，氮气吹干；再将其置于用烘箱烘干，冷却待用；
b.涂光刻胶：采用旋涂法用甩胶机旋涂光刻胶；
c.前烘：将旋涂光刻胶的玻璃片放置在加热板上加热并自然冷却至室温，从而完成胶层的前烘固化；
d.对准和曝光：首先把一个圆形图案在玻璃片表面上方准确定位或对准，其次通过曝光将图案转移到光刻胶涂层上；
e.后烘：使曝光区域的胶层能够充分发生交联反应进而形成致密结构；
f.显影：通过有机溶剂二甲苯溶液将没有被紫外光照射的胶层溶解、去除，即在光刻胶层上得到一个通孔；
g.硬烘：把玻璃片放置在加热板上加热；
h.剥离：采用湿法化学剥离的方法，使用强酸或强碱溶液在加热的条件下可以在不破坏光刻胶的前提下，完成胶层的剥离，模具形成, 模具为带有通孔的光刻胶块状结构。
一种基于SEBS薄膜的全固态可变焦压电驱动式微透镜
技术领域
背景技术
发明内容
b.将上述圆形素坯先烧除掉其中含有的粘结剂有机物，同时使素坯保持一定的机械强度；
c.在圆形素坯的几何中心处打孔，形成圆环形结构的压电板；
d.进行烧结，得到致密、均一的圆环形压电板；
e.在圆环形结构的压电板的上下表面焙烧银电极，之后对其进行高压极化；
f.用砂纸打磨掉圆环形结构的压电板的上下表面的银电极，并经过超声清洗、烘干后，通过溅射或化学电镀方法在压电陶瓷的上下表面制备镀一层金膜。
b.把圆筒状模具放在支撑玻璃的中心位置，然后粉末状的SEBS放入模具通孔中；
c.打开加热板的开关加热；
d.等待SEBS冷却固化后取下模具，支撑玻璃和圆柱型的SEBS薄膜结合在了一起。
b.涂光刻胶：采用旋涂法用甩胶机旋涂光刻胶；
c.前烘：将旋涂光刻胶的玻璃片放置在加热板上加热并自然冷却至室温，从而完成胶层的前烘固化；
d.对准和曝光：首先把一个圆形图案在玻璃片表面上方准确定位或对准，其次通过曝光将图案转移到光刻胶涂层上；
e.后烘：使曝光区域的胶层能够充分发生交联反应进而形成致密结构；
f.显影：通过有机溶剂二甲苯溶液将没有被紫外光照射的胶层溶解、去除，即在光刻胶层上得到一个通孔；
g.硬烘：把玻璃片放置在加热板上加热；
h.剥离：采用湿法化学剥离的方法，使用强酸或强碱溶液在加热的条件下可以在不破坏光刻胶的前提下，完成胶层的剥离，模具形成, 模具为带有通孔的光刻胶块状结构。
具体实施方式
b.将上述圆形素坯先烧除掉其中含有的粘结剂有机物，同时使素坯保持一定的机械强度；
c.在圆形素坯的几何中心处打孔，形成圆环形结构的压电板，圆环形结构的压电板内径为3mm，外径为6mm（内外半径的比例小于或等于0.9）；
d.在1000℃进行烧结，得到致密、均一的圆环形压电板；
e.在圆环形结构的压电板的上下表面焙烧银电极，之后对其进行高压极化，极化温度为450℃，电场强度为2.5kV/cm，极化时间为20分钟；
f.用砂纸打磨掉圆环形结构的压电板的上下表面的银电极，并经过超声清洗、烘干等流程后，通过溅射或化学电镀等方法在压电陶瓷的上下表面制备镀一层约300nm后的金膜。
如图5所示当不给压电致动器施加电压时，压电致动器不会发生形变，所以玻璃薄膜和SEBS薄膜不会发生形变。此时的微透镜相当于一个平面镜，它聚焦于无限远处。
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