专利汇可以提供化合物、樹脂、組成物,以及阻劑圖型形成方法及圖型形成方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本發明提供選自由下述式(1)表示之化合物所成之群的化合物。 (式(1)中,RS各自獨立地為氫 原子 、可具有取代基之 碳 數1~30之烷基、可具有取代基之碳數6~30之芳基、可具有取代基之碳數2~30之烯基、可具有取代基之碳數1~30之烷 氧 基、鹵素原子、硝基、胺基、 羧酸 基、硫醇基或羥基,前述烷基、前述芳基、前述烯基及前述烷氧基,亦可包含醚鍵、 酮 鍵或酯鍵,此處,RS之至少1者為羥基, RT各自獨立地為氫原子、可具有取代基之碳數1~30之烷基、可具有取代基之碳數6~30之芳基、可具有取代基之碳數2~30之烯基、可具有取代基之碳數1~30之烷氧基、鹵素原子、硝基、胺基、羧酸基、硫醇基或羥基,前述烷基、前述芳基、前述烯基及前述烷氧基,亦可包含醚鍵、酮鍵或酯鍵,此處,2個RT亦可鍵結而包含環狀結構)。,下面是化合物、樹脂、組成物,以及阻劑圖型形成方法及圖型形成方法专利的具体信息内容。
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