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基板搬运装置

阅读：310发布：2020-05-08

专利汇可以提供基板搬运装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种基板搬运装置，其具备：基板握持手；以及设置于基板握持手上，且具有保持基板（9）的爪部（41）及支持爪部（41）的支柱部的保持构件（4）；并且支柱部在对爪部（41）施加力时，以使施加于爪部（41）的力减少的形式屈曲。，下面是基板搬运装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种基板搬运装置，其特征在于，具备：
基板握持手；以及
设置于上述基板握持手上，且具有保持基板的爪部及支持上述爪部的支柱部的保持构件；
上述支柱部在对上述爪部施加力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。
2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，
上述支柱部在从下方朝上方对上述爪部施加大于预先设定的第一规定值的力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。
3.根据权利要求1或2所述的基板搬运装置，其特征在于，
上述支柱部在从上方朝下方对上述爪部施加预先设定的第二规定值以上的力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
上述支柱部构成为：对上述爪部施加力而发生屈曲后，若施加于上述爪部的力减少，则恢复为原本的状态。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
在上述支持部，以跨越梢端部及基端部的形式配设有弹性构件。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，
在上述支持部，以跨越梢端部及基端部的形式配设有铰链构件。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，还具备对上述支柱部发生屈曲进行检测的传感器。
8.一种基板搬运装置，其特征在于，具备：
基板握持手；以及
设置于上述基板握持手上，且具有保持上述基板的爪部及支持上述爪部的支柱部的保持构件；
上述支柱部构成为：若对上述爪部施加力，则梢端部从基端部脱离。
9.根据权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于，
上述支柱部构成为：若从下方朝上方对上述爪部施加大于预先设定的第一规定值的力，则梢端部从基端部脱离。
10.根据权利要求8或9所述的基板搬运装置，其特征在于，还具备对上述支柱部的上述梢端部从上述基端部脱离进行检测的传感器。

说明书全文

基板搬运装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种基板搬运装置。

背景技术

[0002] 半导体晶圆（半导体基板，以下，有时也简称为晶圆或基板）为在无尘室内进行多种处理而制造。又，半导体晶圆在各处理间由配置于无尘室内的机器人搬运。

[0003] 已知具有如下的搬运机器人来作为配置于无尘室内的机器人的半导体制造装置，该搬运机器人将收纳于石英舟的台阶部的多个半导体基板载置于多个板的各个基板载置面上，转移至匣盒（例如，参照专利文献1）。

[0004] 专利文献1中公开的半导体制造装置中，搬运机器人中的不进行回旋动作及前后（进退）方向的动作的部分设置有：对半导体基板载置进行检测的第一传感器；以及检测半导体基板的位置偏移的第二传感器。

[0005] 现有技术文献：专利文献：
专利文献1：日本特开2017-85015号公报。

发明内容

[0006] 发明要解决的问题：然而，上述专利文献1公开的半导体制造装置中，在搬运机器人中的不进行回旋动作及前后（进退）方向的动作的部分设置检测半导体基板的位置偏移的第二传感器。因此，在从石英舟中取出半导体基板时，无法检测是否产生半导体基板的位置偏移。

[0007] 此处，图22是表示在半导体基板偏移的状态下，由搬运机器人握持，且该搬运机器人进行前后方向的动作时的状态的示意图。此外，图22中省略搬运机器人的一部分。

[0008] 如图22所示，若在半导体基板900A偏移的状态下，由搬运机器人300握持，且该搬运机器人300进行前后方向的动作，则偏移的半导体基板900A与位于该偏移的半导体基板900A的上方的板400A抵接。又，存在与位于偏移的半导体基板900A的下方的板400A抵接的情况。

[0009] 而且，若搬运机器人300在前后方向进一步动作，则偏移的半导体基板900A卡挂于石英舟910的台阶部910A上，存在石英舟910破损的担忧。

[0010] 本发明解决上述现有问题，目的在于提供一种与现有的基板搬运装置相比，可抑制偏移的基板卡挂于石英舟的台阶部，抑制石英舟的破损的基板搬运装置。

[0011] 解决问题的手段：为解决上述现有课题，本发明的基板搬运装置具备：基板握持手；以及设置于上述基板握持手上，且具有保持基板的爪部及支持上述爪部的支柱部的保持构件；上述支柱部在对上述爪部施加力时，以使施加于上述爪部的力减少的形式屈曲。

[0012] 藉此，即便偏移的基板与位于该偏移的基板的上方或下方的爪部抵接，也藉由支柱部屈曲，使得抵接的爪部与偏移的基板分离。因此，与现有的基板搬运装置相比，可抑制偏移的基板卡挂于石英舟的台阶部，可抑制石英舟的破损。

[0013] 发明效果：根据本发明的基板搬运装置，与现有的基板搬运装置相比，可抑制偏移的基板卡挂于石英舟的台阶部，可抑制石英舟的破损。
附图说明

[0014] 图1为表示本实施形态1的基板搬运装置的概略结构的立体图；图2为概略示出图1所示的基板搬运装置的控制装置的结构的功能框图；
图3为图1所示的基板搬运装置中的基板握持手的侧面图；
图4为表示图1所示的基板搬运装置中的保持构件的概略结构的立体图；
图5为表示本实施形态1的基板搬运装置的动作的一例的示意图；
图6为表示本实施形态1的基板搬运装置的动作的一例的示意图；
图7为表示本实施形态1的基板搬运装置的动作的一例的示意图；
图8为表示本实施形态1的基板搬运装置的动作的一例的示意图；
图9为表示本实施形态1的变形例1的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图10为表示本实施形态1的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图11为表示本实施形态2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图12为表示本实施形态2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图13为表示本实施形态2的变形例1的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图14为表示本实施形态2的变形例1的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图15为表示本实施形态2的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图16为表示本实施形态2的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图17为表示本实施形态2的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图18为表示本实施形态3的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图19为表示本实施形态3的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图20为表示本实施形态4的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图21为表示本实施形态4的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图；
图22为表示在半导体基板偏移的状态下，由搬运机器人握持，且该搬运机器人进行前后方向的动作时的状态的示意图。

具体实施方式

[0015] 以下，参照附图，对本发明的实施形态进行说明。此外，所有附图中，对同一或相当部分标注同一符号，且省略重复的说明。又，所有附图中，选取用于对本发明进行说明的构成要素进行图示，关于其他构成要素，存在省略图示的情况。而且，本发明并不限定于以下的实施形态。

[0016] （实施形态1）本实施形态1的基板搬运装置具备：基板握持手；以及保持构件，其设置于基板握持手上，且具有保持基板的爪部、及支持爪部的支柱部；支柱部在对爪部施加力时，以使施加于该爪部的力减少的形式屈曲。

[0017] 又，本实施形态1的基板搬运装置中，支柱部可以在从下方朝上方对爪部施加大于预先设定的第一规定值的力时，以使施加于该爪部的力减少的形式屈曲。

[0018] 又，本实施形态1的基板搬运装置中，支柱部可构成为：对爪部施加力而发生屈曲后，若施加于该爪部的力减少，则恢复为原本的状态。

[0019] 又，也可以是，本实施形态1的基板搬运装置中，在支持部上，以跨越梢端部及基端部的形式配设有弹性构件。

[0020] 而且，也可以是，本实施形态1的基板搬运装置中，在支持部上，以跨越梢端部及基端部的形式配设有铰链构件。

[0021] 以下，参照图1～图8，对本实施形态1的基板搬运装置的一例进行说明。

[0022] [基板搬运装置的结构]图1为表示本实施形态1的基板搬运装置的概略结构的立体图。图2为概略示出图1所示的基板搬运装置的控制装置的结构的功能框图。此外，图1中，将基板搬运装置中的上下方向、前后方向、以及左右方向表示为图中的上下方向、前后方向、以及左右方向。

[0023] 如图1所示，本实施形态1的基板搬运装置1具备机械臂2、基板握持手3、及控制装置200，以将收纳于石英舟90（参照图5）内的基板9藉由保持构件4来握持（保持）而搬运的形式构成。此外，关于保持构件4的结构的详细说明如后述。

[0024] 基板9可为例如半导体基板及玻璃基板等成为半导体器件的基板的材料的圆形薄板。半导体基板例如可为硅基板、蓝宝石（单晶氧化铝）基板、其他各种基板等。玻璃基板例如可为FPD（Flat Panel Display，平板显示器）用玻璃基板、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）用玻璃基板等。

[0025] 此外，以下，作为机械臂2，对水平多关节机器人的结构进行说明，但机械臂2并不限定于水平多关节机器人，亦可以垂直多关节机器人为基础。

[0026] 机械臂2具备臂20、基台21、支持台22、支持轴23、及轴体24。支持台22的内部配置有控制装置200。此外，控制装置200亦可设置于支持台22的内部以外的部位。

[0027] 又，在支持台22上设置有支持轴23。支持轴23具有例如滚珠螺杆机构、驱动马达、检测驱动马达的旋转位置的旋转传感器、以及检测控制驱动马达的旋转的电流的电流传感器等（均未图示），以在上下方向伸缩且进行转动的形式构成。此外，驱动马达可为例如藉由控制装置200而伺服控制的伺服马达。又，旋转传感器可为例如编码器。

[0028] 在支持轴23的上端部，以能绕通过该支持轴23的轴心的旋转轴的轴转动的形式连接有臂20的下端部。在臂20的后端部，介由轴体24，以能转动的形式连接有基台21的后端部。又，在基台21的上表面配设有基板握持手3。

[0029] 又，机械臂2具有：用于绕轴体24的轴心地使基台21旋转移动的驱动马达、传动机构、旋转传感器、以及电流传感器（均未图示）。此外，驱动马达可为例如藉由控制装置200而伺服控制的伺服马达。又，旋转传感器可为例如编码器。

[0030] 如图2所示，控制装置200具备：CPU（Central Processing Unit，中央处理单元）等运算部200a；ROM（Read Only Memory，只读存储器）、RAM（Random Access Memory，随机存取存储器）等存储部200b；以及伺服控制部200c。控制装置200例如为具备微控制器等计算机的机器人控制器。

[0031] 存储部200b中存储有机器人控制器的基本程序、各种固定数据等信息。运算部200a藉由读取存储部200b中存储的基本程序等软件并执行，来控制机械臂2的各种动作。
即，运算部200a生成机械臂2的控制指令，且将其输出至伺服控制部200c。伺服控制部200c构成为：基于由运算部200a生成的控制指令，控制使与机械臂2的支持轴23及轴体24分别对应的旋转轴旋转的伺服马达的驱动。

[0032] 此外，控制装置200可由进行集中控制的单独的控制装置200构成，亦可由相互协作而进行分散控制的多个控制装置200构成。又，本实施形态1中，采用存储部200b配置于控制装置200内的形态，但并不限定于此，亦可采用存储部200b与控制装置200分开设置的形态。

[0033] 接着，参照图1及图3，对基板握持手3的结构进行详细说明。

[0034] 图3为图1所示的基板搬运装置中的基板握持手的侧面图。此外，图3中省略基板握持手的后端侧的一部分。又，图3中，将基板搬运装置中的上下及前后方向表示为图中的上下及前后方向。

[0035] 如图1及图3所示，基板握持手3具有：配置于基台21的前端侧的第一筐体31、及配置于基台21的后端侧的第二筐体30。第一筐体31和第二筐体30以各自的内部空间连通的形式连接。

[0036] 又，在第一筐体31的上表面，在前端（梢端）侧的左右的端部和后端（基端）侧的左右的端部分别设置有保持构件4。保持构件4构成为能藉由未图示的驱动器而在前后、及上下方向移动。设置于各端部的保持构件4分别设置有多个（此处为5个）。此外，以下，在将各保持构件4加以区别来说明的情况下，将各保持构件分别称为保持构件4A～4E。

[0037] 此处，参照图3及图4，对保持构件4进行详细说明。

[0038] 图4为表示图1所示的基板搬运装置中的保持构件的概略结构的立体图。

[0039] 如图4所示，保持构件4具有爪部41及柱状（此处为四棱柱）的支柱部42，且在支柱部42的梢端部配设爪部41。爪部41从水平方向看，形成为大致L字状。换言之，爪部41以具有底面41A及上表面41B的形式形成为台阶状。又，在爪部41的底面41A上载置基板9的下表面的周缘部。

[0040] 支柱部42在对爪部41施加铅直方向的力时，以使施加于该爪部41的力减少的形式屈曲。更详细而言，支柱部42构成为：若从下方朝上方对爪部41施加大于预先设定的第一规定值的力，则屈曲。又，支柱部42亦可构成为：对爪部41施加铅直方向的力而发生屈曲后，若施加于该爪部41的力减少，则恢复为直立状态。

[0041] 具体而言，支柱部42具有梢端部42A及基端部42B。在支柱部42上，以跨越梢端部42A和基端部42B的形式配设有弹性构件43。此外，弹性构件43可配设于支柱部42的外表面（基板搬运装置1的外方）侧的部分。

[0042] 弹性构件43构成为：在从下方朝上方对爪部41施加小于第一规定值的力的情况下、或者未对爪部41施加力的情况下，使支柱部42维持直立状态。而且构成为：若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，则弹性构件43屈曲。藉此，若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，则介由弹性构件43，支柱部42屈曲。又，在支柱部42屈曲后，若对爪部41施加的力减少，则藉由弹性构件43的恢复力，支柱部42恢复为原本的状态（直立状态）。

[0043] 弹性构件43可使用例如板弹簧、扭力弹簧、橡胶等。又，第一规定值可预先藉由实验等而设定，从抑制石英舟90的台阶部91的损伤的观点来看，可为0 N。

[0044] 此外，本实施形态1中，保持构件4配置为以保持构件4A～4E的顺序，其高度减小。又，本实施形态1中，采用在保持构件4A～4E的各个上配设弹性构件43的形态，但并不限定于此。例如，亦可采用在保持构件4A～4D上配设弹性构件43，且在保持构件4E上未配设弹性构件43的形态。

[0045] 又，本实施形态1中，采用在支柱部42上，以跨越梢端部42A及基端部42B的形式配设弹性构件43的形态，但并不限定于此。亦可采用在支柱部42上，以跨越梢端部42A及基端部42B的形式配设铰链构件的形态。铰链构件若具有屈曲点，且构成为在该屈曲点弯折，则可由任何材质构成。具体而言，铰链构件可由金属制的铰链或者布铰链构成，亦可由树脂等软质构件构成。

[0046] 而且，在支柱部42上，以跨越梢端部42A及基端部42B的形式配设有铰链构件的情况下，支柱部42亦可构成为：在该支柱部42屈曲后，若对爪部41施加的力减少，则藉由爪部41的自重而恢复为原本的状态（直立状态）。

[0047] [基板搬运装置的动作及作用效果]继而，参照图1～图8，对本实施形态1的基板搬运装置1的动作及作用效果进行说明。此外，关于基板搬运装置1的机械臂2进行由多个步骤构成的一系列作业的动作，由于与公知的机械臂同样地执行，故而省略其详细说明。又，以下的动作藉由控制装置200的运算部
200a读取存储部200b中存储的程序而执行。

[0048] 图5～图8为表示本实施形态1的基板搬运装置的动作的一例的示意图。此外，图5～图8中，将基板搬运装置中的上下及前后方向表示为图中的上下及前后方向。又，图5～图8中，省略石英舟90的一部分、及基板握持手3的一部分。

[0049] 如图5所示，在配置有基板搬运装置1的作业空间（例如无尘室）内，配置有石英舟90。在石英舟90上设置有多个台阶部91，且在该台阶部91上载置有基板9。

[0050] 而且，假设对控制装置200，由操作员通过未图示的输入设备输入表示执行一系列作业的指示信息。如此一来，控制装置200使机械臂2动作，移动至基板握持手3位于石英舟90的前方为止。此时，控制装置200以使基板握持手3位于比载置有握持的基板9的部分靠下方处的形式，使机械臂2动作。

[0051] 然后，控制装置200使机械臂2动作，直至基板握持手3位于石英舟90内的基板9的下方为止。此时，控制装置200使基板握持手3进入石英舟90内，直至可在基板握持手3的导引部分载置基板9的位置。

[0052] 继而，控制装置200以基板握持手3向上方移动的形式，使机械臂2动作，使基板9载置于保持构件4中的爪部41的底面41A上，捞起基板9，以基板握持手3来保持基板9。此时，如图5所示，若基板9正常地载置于底面41A上，则即便使基板握持手3向后方移动，也不会产生问题。

[0053] 另一方面，假设如图6所示，例如，在保持构件4A的底面41A上未正常地载置基板9A，基板9A的前方侧端部落至下方。该情况下，基板握持手3在基板9A与台阶部91A接触的状态下向后方移动。而且，若基板握持手3进一步向后方移动，则基板9A的前方端部与保持构件4A的爪部41的下表面接触，基板9A卡挂于台阶部91A，产生台阶部91A破损的担忧。

[0054] 然而，本实施形态1的基板搬运装置1中，构成为：若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，则支柱部42屈曲。因此，如图7所示，藉由保持构件4A的弹性构件43屈曲，从而支柱部42屈曲，爪部41的下表面与基板9A的接触解除，基板9A的前方侧端部向上方移动。藉此，基板9A对台阶部91A的卡挂消除，可抑制台阶部91A的破损。

[0055] 又，若基板9A向上方移动，则对爪部41施加的力减少，若小于第一规定值，则弹性构件43及支柱部42恢复为直立状态。藉此，如图8所示，基板9A载置于保持构件4A的爪部41的底面41A或者上表面41B（参照图4）上。因此，可使基板握持手3正常地向后方移动，可抑制台阶部91A的破损。

[0056] [变形例1]接着，对本实施形态1的基板搬运装置的变形例进行说明。

[0057] 本实施形态1的变形例1的基板搬运装置中，支柱部在从上方朝下方对爪部施加预先设定的第二规定值以上的力时，以使施加于爪部的力减少的形式屈曲。

[0058] 以下，参照图9，对本实施形态1的变形例1的基板搬运装置的一例进行说明。

[0059] 图9为表示本实施形态1的变形例1的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0060] 如图9所示，本变形例1的基板搬运装置1与实施形态1的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于，弹性构件43配设于保持构件4的内表面（内侧）。

[0061] 又，弹性构件43构成为：在对爪部41施加小于第二规定值的力的情况下、或者不对爪部41施加力的情况下，使支柱部42维持直立状态。而且构成为：若从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力，则弹性构件43屈曲。

[0062] 藉此，若从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力，则介由弹性构件43，支柱部42屈曲。又，在支柱部42屈曲后，若对爪部41施加的力减少，则藉由弹性构件43的恢复力，支柱部42恢复为原本的状态（直立状态）。

[0063] 此外，第二规定值可预先藉由实验等而设定，从抑制石英舟90的台阶部91的损伤的观点来看，可为1片基板9的荷重，亦可为多片基板9的荷重，可为10片基板9的荷重。

[0064] 如此构成的本变形例1的基板搬运装置1中，支柱部42可向内侧屈曲。因此，例如在基板握持手3上升时，爪部41与石英舟90的台阶部91等接触，从而从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力情况下，藉由支柱部42向内侧屈曲，可抑制石英舟90的台阶部91等的破损。

[0065] [变形例2]图10为表示本实施形态1的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0066] 如图10所示，本变形例2的基板搬运装置1与实施形态1的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于，弹性构件43配设于保持构件4的外表面和内表面这两者上。

[0067] 具体而言，支柱部42分成梢端部42A、中间部42C、以及基端部42B，以跨越梢端部42A及中间部42C的形式，在支柱部42的外表面侧配设有弹性构件43A。又，以跨越中间部42C及基端部42B的形式，配设有弹性构件43B。

[0068] 藉此，本变形例2的基板搬运装置1中，支柱部42可不仅向外侧，还向内侧屈曲。因此，例如在基板握持手3上升时，爪部41与石英舟90的台阶部91等接触，从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力的情况下，藉由支柱部42向内侧屈曲，可抑制石英舟90的台阶部91等的破损。

[0069] 如此构成的本变形例2的基板搬运装置1，也发挥与实施形态1的基板搬运装置1相同的作用效果。又，如上所述，本变形例2的基板搬运装置1中，可在从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力的情况下，藉由支柱部42向内侧屈曲，抑制石英舟90的台阶部91等的破损。

[0070] （实施形态2）本实施形态2的基板搬运装置是在实施形态1的基板搬运装置中，进一步具备对支柱部发生屈曲进行检测的传感器。

[0071] 以下，参照图11及图12，对本实施形态2的基板搬运装置的一例进行说明。

[0072] 图11及图12为表示本实施形态2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0073] 如图11及图12所示，本实施形态2的基板搬运装置1与实施形态1的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于进一步具备传感器50，该传感器50构成为对支柱部42发生屈曲进行检测，且将该检测信息输出至控制装置200。

[0074] 具体而言，本实施形态2中，传感器50由极限传感器（limit sensor）构成，具备传感器主体51、杆52、传感器销53、以及弹性构件54。传感器主体51配置于第一筐体31的内部空间中。又，在传感器主体51上设置有杆52，在杆52的梢端部，转动自如地连接有传感器销53。

[0075] 传感器销53配置为：在设置于第一筐体31的上表面的贯通孔311、以及以与该贯通孔311连通的形式设置于基端部42B上的贯通孔421中插通。

[0076] 又，在基端部42B上，以与贯通孔421连通的形式设置有内部空间422。在内部空间422中，配置有以向上方对传感器销53施力的形式构成的弹性构件54。弹性构件54可使用例如压缩弹簧等。

[0077] 而且，如图11所示，当支柱部42为直立状态时，传感器销53的梢端部与梢端部42A的下表面抵接。藉此，传感器销53无法向上方移动，因此与传感器销53的基端部（下端部）连接的杆52成为关闭（OFF）的状态，传感器50不会检测到支柱部42的屈曲。

[0078] 另一方面，如图12所示，若对爪部41施加第一规定值以上的力，支柱部42屈曲，则梢端部42A的下表面向上方移动。藉此，传感器销53的梢端部得以释放，因此藉由弹性构件54，传感器销53向上方移动。随之，杆52成为开启（ON）的状态，传感器50可检测支柱部42的屈曲。而且，传感器50将检测到支柱部42的屈曲的检测信息输出至控制装置200。

[0079] 此外，若从传感器50输入检测信息，则控制装置200可判定为产生基板9的位置偏移，且将该位置偏移信息向作业者等报知。报知方法例如可为将“产生基板的位置偏移”等文字信息显示于监视器上的方法，又，亦可为将该文字信息从扬声器以声音的形式输出的方法，亦可为藉由鸣响警报而向作业者等报知的方法。

[0080] 又，本实施形态2中，采用使用极限传感器来作为传感器50的形态，但并不限定于此。亦可采用使用例如压力传感器（应变传感器）来作为传感器50的形态。该情况下，传感器50亦可配置于基端部42B的上端面与梢端部42A的下端面之间。

[0081] 如此构成的本实施形态2的基板搬运装置1，也发挥与实施形态1的基板搬运装置1相同的作用效果。

[0082] [变形例1]接着，对本实施形态2的基板搬运装置1的变形例进行说明。

[0083] 图13及图14为表示本实施形态2的变形例1的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0084] 如图13及图14所示，本实施形态2的变形例1的基板搬运装置1与实施形态2的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于，弹性构件43配设于保持构件4的内表面（内侧）。

[0085] 又，弹性构件43构成为：在对爪部41施加小于第二规定值的力的情况下、或者不对爪部41施加力的情况下，使支柱部42维持直立状态。而且构成为，若从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力，则弹性构件43屈曲。

[0086] 藉此，若从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力，则介由弹性构件43，支柱部42屈曲。又，在支柱部42屈曲后，若施加于爪部41的力减少，则藉由弹性构件43的恢复力，支柱部42恢复为原本的状态（直立状态）。

[0087] 如此构成的本变形例1的基板搬运装置1中，支柱部42可向内侧屈曲。因此，例如在基板握持手3上升时，爪部41与石英舟90的台阶部91等接触，而从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力的情况下，藉由支柱部42向内侧屈曲，可抑制石英舟90的台阶部91等的破损。

[0088] [变形例2]图15～图17为表示本实施形态2的变形例2的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0089] 如图15～图17所示，本实施形态2的变形例2的基板搬运装置1与实施形态2的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于，在保持构件4的内表面也配设有弹性构件43，以及传感器50构成为对支柱部42的外侧的屈曲及内侧的屈曲这两者进行检测。

[0090] 具体而言，支柱部42分成梢端部42A、中间部42C、及基端部42B，以跨越梢端部42A及中间部42C的形式，在支柱部42的外表面侧配设有弹性构件43A。以跨越中间部42C及基端部42B的形式，配设有弹性构件43B。

[0091] 又，在中间部42C上，以与基端部42B的贯通孔421连通的形式设置有贯通孔423。传感器销55插通于贯通孔423中。在中间部42C的贯通孔423的中途，以与该贯通孔423连通的形式设置有内部空间424。在内部空间424中，配置有以向上方对传感器销55施力的形式构成的弹性构件56。弹性构件56可使用例如压缩弹簧等。

[0092] 而且，如图15所示，在支柱部42为直立状态时，传感器销55的梢端部与梢端部42A的下表面抵接。又，传感器销53的梢端部与传感器销55的基端部抵接。

[0093] 藉此，传感器销53无法向上方移动，因此与传感器销53的基端部（下端部）连接的杆52成为关闭（OFF）的状态，传感器50不会检测到支柱部42的屈曲。

[0094] 另一方面，如图16所示，若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，梢端部42A相对于中间部42C屈曲，则梢端部42A的下表面向上方移动。藉此，传感器销55的梢端部得以释放，因此藉由弹性构件54，传感器销53向上方移动。随之，杆52成为开启（ON）的状态，传感器50可检测支柱部42的屈曲。而且，传感器50将检测到支柱部42的屈曲的检测信息输出至控制装置200。

[0095] 又，如图17所示，若从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力，中间部42C相对于基端部42B屈曲，则中间部42C的下表面及传感器销55的基端部向上方移动。藉此，传感器销53的梢端部得以释放，因此藉由弹性构件54，传感器销53向上方移动。随之，杆52成为开启（ON）的状态，传感器50可检测支柱部42的屈曲。而且，传感器50将检测到支柱部42的屈曲的检测信息输出至控制装置200。

[0096] 此外，若从传感器50输入检测信息，则控制装置200可判定为产生基板9的位置偏移，且将该位置偏移信息向作业者等报知。

[0097] 如此构成的本变形例2的基板搬运装置1，也发挥与实施形态2的基板搬运装置1相同的作用效果。

[0098] 又，本变形例2的基板搬运装置1中，可在从上方朝下方对爪部41施加第二规定值以上的力的情况下，藉由支柱部42向内侧屈曲，抑制石英舟90的台阶部91等的破损。

[0099] （实施形态3）本实施形态3的基板搬运装置具备：基板握持手；以及保持构件，其设置于基板握持手上，且具有保持基板的爪部、及支持爪部的支柱部；支柱部构成为：若对爪部施加力，则梢端部从基端部脱离。

[0100] 又，本实施形态3的基板搬运装置中，支柱部可构成为：若从下方朝上方对爪部施加大于预先设定的第一规定值的力，则梢端部从基端部脱离。

[0101] 以下，参照图18及图19，对本实施形态3的基板搬运装置的一例进行说明。

[0102] 图18及图19为表示本实施形态3的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0103] 如图18及图19所示，本实施形态3的基板搬运装置1与实施形态1的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于构成为：若对爪部41施加力，则支柱部42的梢端部42A从基端部42B脱离。更详细而言，支柱部42构成为：若从下方朝上方对爪部41施加大于预先设定的第一规定值的力，则支柱部42的梢端部42A从基端部42B脱离。

[0104] 具体而言，在梢端部42A的下端面形成有凸部425，且在基端部42B的上端面形成有凹部426。凸部425与凹部426嵌合，并构成为：若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，则凸部425从凹部426脱离。

[0105] 此外，本实施形态3中，采用在梢端部42A的下端面形成凸部425，且在基端部42B的上端面形成凹部426的形态，但并不限定于此。只要以梢端部42A与基端部42B嵌合的形式形成即可，其形状为任意。例如，亦可采用在基端部42B的上端面形成凸部425，且在梢端部42A的下端面形成凹部426的形态。

[0106] 又，在第一筐体31的上表面设置有贯通孔311，且在基端部42B上，以与该贯通孔311连通的形式设置有贯通孔421。在凸部425的下端部固定有线构件57的一端。线构件57以在贯通孔421及贯通孔311中插通的形式配置，且其另一端固定于第一筐体31的适当部位。

[0107] 又，线构件57在第一筐体31内，为了可从贯通孔421中拉出该线构件57，而以具有规定长度的余裕部分的形式来配置。

[0108] 如此构成的本实施形态3的基板搬运装置1中，如图19所示构成为：若从下方朝上方对爪部41施加第一规定值以上的力，则梢端部42A从基端部42B脱离。藉此，与实施形态1的基板搬运装置1同样地，基板9对台阶部的卡挂消除，可抑制该台阶部的破损。

[0109] 又，本实施形态3的基板搬运装置1中，由于在梢端部42A上安装有线构件57，故而可抑制从基端部42B脱离的梢端部42A以及爪部41的丢失。

[0110] （实施形态4）本实施形态4的基板搬运装置是在实施形态3的基板搬运装置中，进一步具备对支柱部的梢端部从基端部脱离进行检测的传感器。

[0111] 以下，参照图20及图21，对本实施形态4的基板搬运装置的一例进行说明。

[0112] 图20及图21为表示本实施形态4的基板搬运装置的保持构件的概略结构的示意图。

[0113] 如图20及图21所示，本实施形态4的基板搬运装置1与实施形态3的基板搬运装置1基本结构相同，不同点在于进一步具备传感器50，该传感器50构成为：对梢端部42A从基端部42B脱离进行检测，且将该检测信息输出至控制装置200。

[0114] 具体而言，在本实施形态4中，传感器50由极限传感器构成。此外，关于传感器50，由于以与实施形态2的基板搬运装置1相同的形式构成，故而省略其详细说明。

[0115] 如此构成的本实施形态4的基板搬运装置1，也发挥与实施形态3的基板搬运装置1相同的作用效果。

[0116] 根据上述说明，对本领域技术人员而言，本发明的多种改良或者其他实施形态明确。因此，上述说明应仅作为例示来解释，是出于对本领域技术人员教示执行本发明的最佳形态的目的而提供的。可在不脱离本发明的精神的情况下，实质上变更其结构及/或功能的详情。

[0117] 工业应用性：与现有的基板搬运装置相比，本发明的基板搬运装置可抑制偏移的基板卡挂于石英舟的台阶部，可抑制石英舟的破损，因此在产业机器人的领域中有用。

[0118] 符号说明：1：基板搬运装置
2：机械臂
3：基板握持手
4：保持构件
4A：保持构件
4B：保持构件
4C：保持构件
4D：保持构件
4E：保持构件
9：基板
9A：基板
20：臂
21：基台
22：支持台
23：支持轴
24：轴体
30：第二筐体
31：第一筐体
41：爪部
41A：底面
41B：上表面
42：支柱部
42A：梢端部
42B：基端部
42C：中间部
43：弹性构件
43A：弹性构件
43B：弹性构件
50：传感器
51：传感器主体
52：杆
53：传感器销
54：弹性构件
55：传感器销
56：弹性构件
57：线构件
90：石英舟
91：台阶部
91A：台阶部
200：控制装置
200a：运算部
200b：存储部
200c：伺服控制部
300：搬运机器人
311：贯通孔
400A：板
421：贯通孔
422：内部空间
423：贯通孔
424：内部空间
425：凸部
426：凹部
900A：半导体基板
910：石英舟
910A：台阶部。

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基板搬运装置

基板搬运装置

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