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一种可实时图像拍摄的 旋涂仪 转子

阅读：184发布：2020-05-16

专利汇可以提供一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子，所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子将摄像头固在底座上方，底座由电动机带动旋转。因此，即使在高速旋转时摄像头与底座间仍保持相对静止，固定于底座上表面的载片上所发生的行为，如胶液的展开、离心、浓缩、结晶，可以被位于其上方的摄像头拍摄下来，而这些行为的快慢和剧烈程度均可作为优化旋涂参数的依据，如转速、浓度、温度、溶剂种类、溶质种类，也开辟了一种深入研究物质性质的途径。，下面是一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子，其特征在于，所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子设置有底座；所述底座固定在电动机转轴上，由电动机带动旋转；
摄像头通过支架固定在底座的上方；
所述支架上固定有光源；
所述摄像头以无线方式向计算机传输数据并接受控制，用于实时观察胶液变化；
所述摄像头将数据存储在自带的存储器内；
所述摄像头前安装有一微距光学镜头；
所述摄像头前安装有一显微镜物镜；
所述摄像头与底座间的距离可调；
所述底座和支架的材质是铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯、有机玻璃中的任意一种；
所述光源是LED贴片，与摄像头共用一个电源；
所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子，实现对高速旋转的载片上胶液的展开、离心、浓缩、结晶一系列行为进行图像拍摄和实时监控。
2.一种安装有权利要求1所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子的旋涂仪。

说明书全文

一种可实时图像拍摄的旋涂仪 转子

技术领域

[0001] 本发明属于旋涂技术领域，尤其涉及一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子。

背景技术

[0002] 旋涂是一种在载片上制备薄膜的技术，其工作原理是在载片上滴注胶液，然后用特定的装置使载片高速旋转，利用离心力使胶液涂覆在载片上形成薄膜，薄膜的厚度和形态与胶液和载片间的粘滞系数和载片的旋转速度有关。如果所用胶液是溶液，载片的旋转还会加速溶剂的挥发，最终在载片上形成一层固体薄膜。因此，旋涂过程涉及胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等一系列动力学过程，而这些过程关系到所形成的薄膜的性质。

[0003] 现有的旋涂仪一般通过程序控制旋转速度快慢变化换来调节膜的厚度和形态，控制的效果只能靠最终得到的薄膜的性质来判断。因此，一套有效的旋转速度变换程序常常需经过反复的试验才能得到，耗时费力，还要消耗大量胶液。如果能实时记录旋涂过程中胶液分散、离心、浓缩、结晶等一系列变化过程，旋转速度的调整便有据可依。然而，载片的转速通常在每分钟几百转至几千转范围，在如此高速旋转下静置的摄像机很难拍摄清晰的图像。现有的旋涂技术制备薄膜时，胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等行为尚无法观察。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子，旨在解决利用旋涂技术制备薄膜时，胶液在载片上的展开、离心、浓缩、结晶等行为无法观察的问题。

[0005] 本发明是这样实现的，一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子，所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子设置有底座；所述底座固定在电动机转轴上，由电动机带动旋转；

[0006] 摄像头通过支架固定在底座的上方；

[0007] 所述支架上固定有光源。

[0008] 进一步，所述摄像头以WIFI或蓝牙方式向计算机传输数据并接受控制，用于实时观察胶液变化。

[0009] 进一步，所述摄像头将数据存储在自带的存储器内。

[0010] 进一步，所述摄像头前安装有一微距光学镜头。

[0011] 进一步，所述摄像头前安装有一显微镜物镜。

[0012] 进一步，所述摄像头与底座间的距离可调。

[0013] 进一步，所述底座和支架的材质是铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯、有机玻璃任意一种。

[0014] 进一步，所述光源是LED贴片，与摄像头共用一个电源。

[0015] 本发明的另一目的在于提供一种安装所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子的旋涂仪。

[0016] 本发明提供的可实时图像拍摄的旋涂仪转子，实现对高速旋转的载片上胶液的展开、离心、浓缩、结晶等一系列行为进行图像拍摄和实时监控；本发明将摄像头固在底座上方，底座下方与电动机固定，即使在高速旋转时，摄像头与底座间仍保持相对静止，因此固定于底座上表面的载片上所发生的行为，如胶液的展开、离心、浓缩、结晶，可以被位于其上方的摄像头拍摄下来，而这些行为的快慢和剧烈程度均可作为优化旋涂参数的依据，如转速、浓度、温度、溶剂种类、溶质种类，也开辟了一种深入研究物质性质的途径。附图说明

[0017] 图1是本发明实施例提供的可实时图像拍摄的旋涂仪转子结构示意图；

[0018] 图中：1、底座；2、支架；3、摄像头；4、微距光学镜头或显微镜物镜；5、光源；6、载片；7、条形孔。

具体实施方式

[0019] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0020] 下面结合附图对本发明的结构作详细的描述。

[0021] 如图1所示，本发明实施例的可实时图像拍摄的旋涂仪转子包括：底座1、支架2、摄像头3、微距光学镜头或显微镜物镜4、光源5、载片6、条形孔7。

[0022] 旋涂是要在某种片状的载片上涂一层膜，通常将载片固定在底座中央，胶液滴在载片上。本发明涉及的旋涂仪转子，通过二到四个支架2将摄像头3固定于底座1上方并随底座一起旋转，确保摄像头3与底座1相对静止。底座1在电动机带动下转动时，载片6和摄像头3也一起同速转动，摄像头3可清晰地拍摄载片上液膜的行为。摄像头3通过无线方式与外界通讯，画面可在计算机上实时显示，便于操作人员观察。

[0023] 所述的摄像头3可自带存储器，将数据存起来，旋涂结束后再转移到计算机。

[0024] 支架2一端与底座1用螺丝固定，支架2另一端设计有条形孔7，螺丝穿过此条形孔7拧入摄像头3 外壳的螺丝孔，这样摄像头3与底座1间距可在条形孔7长度范围内调节。

[0025] 胶液上方是摄像头3，侧方是支架2。由于环境中的光源固定不动，转子旋转时位于底座中央的载片6会周期性地处于支架的阴影中，画面明暗交替。本发明的解决方案是在支架2上固定有LED贴片的光源5，光源随支架旋转，这样在底座1中央就有稳定的照明，保证拍摄画面质量。

[0026] 如果摄像头3画面不清晰或视野不够，在摄像头3镜头前有螺丝接口，可加装微距或广角光学镜头。

[0027] 如果需要拍摄胶液的微观变化，在摄像头镜头前有螺丝接口，可在摄像头镜头前加装显微镜物镜。

[0028] 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

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