技术领域
[0001] 本实用新型涉及
太阳能电池片加工技术领域，更具体地说，涉及一种太阳能电池片激
光刻蚀装置及其加工系统。
背景技术
[0002] 在
能源紧张的今天，太阳能电池作为一种清洁能源，其应用范围越来越广。众所周知，太阳能电池，又叫光生伏打电池，是能够将光转换成电特性的一种
半导体器件，它可以把照射在其表面的太阳能
辐射能转换成直流电，太阳能电池片是
光伏发电系统中的最基本的组件，也是太阳能
光伏发电系统中的核心部分。
[0003] 目前，太阳能电池片加工行业不断成熟，对太阳能电池片的加工生产也越来越严格，随着光伏太阳能电池片生产效率的要求越来越高的同时，行业内对如何提高太阳能电池片的转换效率也投入了大量研究，传统的太阳能电池片激光加工设备采用化学刻蚀工艺，其自动化程度低、污染环境、后期使用成本高，加工过程中投入的人
力物力较大，生产效率较低，无法满足现代市场的需求；随着科技的发展，高效的激光加工工艺不仅可以提高太阳能电池片转换效率，而且能够降低了设备整体成本、减少了对环境的污染。
现有技术中采用激光对太阳能电池片进行加工已经成为行业发展的主流，但是在激光加工过程中，仍然存在激光加工环境粉尘较多的问题，进而影响激光加工。
[0004] 经检索，中国
专利申请号：201110190744.0，授权公告日为2013年1月9日，
发明创造名称为：可提升单晶
硅太阳能电池效率的绿光激光脉冲形成硅晶片表面粗糙结构化的方法，该申请案包括
单晶硅晶片、硅晶片载具、绿光脉冲型
激光器、脉冲型激光器
定位平台、粉尘排气孔、排气管路与帮浦，其方法系将硅晶片移动至硅晶片载具，绿光脉冲型激光器开启并在硅晶片上蚀刻出粗糙结构化的凹槽，接着绿光脉冲型激光器将硅晶片整面蚀刻完成，该过程中持续以帮浦系统将硅晶片粉尘去除。该申请案在
激光切割过程中，加工过程产生的硅晶片粉尘由帮浦将粉尘从排气孔、排气管路中吸出，但该申请案只是通过帮浦系统对加工过程中产生的粉尘进行去除，其去除效果较差，需进一步改进。
[0005] 又如，中国专利申请号：201510095122.8，申请公布日为2016年2月10日，发明创造名称为：一种背
钝化太阳能电池的背面激光开膜方法及其系统，该申请案包括包括激光开槽装置和加工系统，所述加工系统为带压力气体吹扫
风刀，带压力气体吹扫风刀设置于激光开槽的起点
位置，并在激光开槽的终点位置设有抽尘装置。该申请案虽然通过加工系统进行吹扫以及抽尘装置进行抽尘，但由于加工系统采用的是带压力的气体进行吹扫，刻蚀后部分粉尘会被吹散到四周，造成环境污染，有待进一步改进。实用新型内容
[0006] 1.实用新型要解决的技术问题
[0007] 本实用新型的目的在于克服现有技术中太阳能电池片刻蚀时粉尘飞扬的问题，提供了一种太阳能电池片激光刻蚀装置及其加工系统；本实用新型在
工作台的上方设有一除尘匣，并在除尘匣的两侧分别设有吹气管和吸尘嘴，通过进气管吹气，吸尘嘴吸气，两者共同配合将激光刻蚀过程中产生的粉尘除去，同时除尘匣的设计防止了粉尘的扩散。
[0008] 2.技术方案
[0009] 为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：
[0010] 本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括用于承载太阳能电池片的工作台、用于控制激光光路从而对太阳能电池片进行刻蚀的激光组件，以及除尘机构；所述除尘机构包括除尘匣、吸尘嘴，所述除尘匣罩在工作台的上表面，该除尘匣的一
侧壁与吸尘嘴连通，除尘匣上相对的另一侧壁上设有吹气管。
[0011] 更进一步地，所述除尘匣顶部开设有光路孔，用于通过激光组件产生的激光。
[0012] 更进一步地，所述的除尘匣上设置有进风口，该进风口位于吹气管所在侧，并与吹气管相互配合。
[0013] 更进一步地，所述的吹气管上间隔设置多个吹气孔，且吹气孔的吹气方向倾斜向下。
[0014] 更进一步地，所述的吹气管的两端分别设有一挂
耳，通过该挂耳调节吹气管的高度。
[0015] 更进一步地，所述工作台为旋转工作台，该旋转工作台包括承载台、旋
转轴和旋转底盘，所述
旋转轴下端设置于旋转底盘上，该旋转轴上端设置所述承载台，该承载台用于承载太阳能电池片。
[0016] 更进一步地，所述旋转轴上端沿其周向至少等间隔设置有2个承载台。
[0017] 更进一步地，所述的激光组件包括绿光激光器、第一反射镜、第二反射镜、绿光扩束镜、整形镜、绿光振镜、绿光场镜，其激光光路传输路径为：由绿光激光器发射激光，依次经第一反射镜、第二反射镜、绿光扩束镜、整形镜、绿光振镜和绿光场镜，最终送至除尘匣中对太阳能电池片进行加工。
[0018] 本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的加工系统，包括上料机构、搬运机构、下料机构和上述的一种太阳能电池片激光刻蚀装置；其中，上料机构上的太阳能电池片通过搬运机构运至旋转工作台，并在刻蚀工位处通过激光组件进行加工；加工后的太阳能电池片由搬运机构运至下料机构。
[0019] 更进一步地，所述的搬运机构包括转动轴、摆臂和
吸盘；其中，转动轴安装于
底板上，所述的摆臂一端与转动轴相连，另一端与吸盘相连，吸盘用于
吸附太阳能电池片。
[0020] 更进一步地，所述承载台设置有4个，且4个承载台等间隔设置。
[0021] 更进一步地，所述旋转工作台的四周设有上下料工位、对位识别工位、刻蚀工位和光学检测工位；其中上下料工位用于放置待加工的太阳能电池片或加工后的太阳能电池片，便于摆臂上的吸盘吸附；刻蚀工位位于除尘匣540的下方，用于对太阳能电池片300进行刻蚀加工；对位识别工位处设有检测装置，用于检测太阳能电池片的位置；光学检测工位上设有光学检测装置，用于检测激光刻蚀后的太阳能电池片。
[0022] 更进一步地，所述检测装置设置在对位识别工位的正上方，该检测装置包括微距抗震镜头和表面
缺陷检测镜头；其中，微距抗震镜头的镜头下方设有环形
光源，用于Mark点识别，表面缺陷检测镜头位于对位识别工位中间的正上方，用于对太阳能电池片的表面缺陷进行检测。
[0023] 更进一步地，所述摆臂设有两根，两根摆臂之间通过支杆相连；转动轴转动时，两根摆臂同步转动。
[0024] 3.有益效果
[0025] 采用本实用新型提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：
[0026] (1)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其刻蚀工位处设有一除尘匣，并在除尘匣的一侧壁上设有吸尘嘴，另一侧壁上设有吹气管，两者相对设置，当吹气管向除尘匣内吹气时，处于除尘匣内部的气体在吹气管吹出的气体扰动作用下，气体运动，同时，相对侧的吸尘嘴吸气，在
负压的作用下，除尘匣内部的气体将太阳能电池片激光刻蚀时产生的粉尘全部带入到吸尘嘴中，将粉尘除去，避免了粉尘四散飞扬的问题，整个过程中，由于除尘匣的限制，也避免了粉尘扩散至工作台外而导致的环境污染。
[0027] (2)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，在除尘匣侧壁底端上设有一进风口，该进风口与吹气管相互配合，吹气管安装在进风口位置，便于进气，另一侧通过吸尘嘴向外排气，与外界相通的空间较小，能够有效避免粉尘四散飞扬的现象发生，有利于整个装置的工作。
[0028] (3)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，为了适应加工不同型号的太阳能电池片，在吹气管的两端分别设有一挂耳，通过调节挂耳的高度，使得吹气管整体的高度发生改变，有利于加工不同型号的太阳能电池片。
[0029] (4)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，其太阳能电池片位于旋转工作台的承载台上，该太阳能电池片在除尘匣下方的刻蚀工位处加工后，旋转工作台转动，使下一承载台上的待加工的太阳能电池片送至刻蚀工位进行加工，整个过程简单、快速，能够有效提高传送效率，进而提高工作效率。
[0030] (5)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，通过设有上料机构、搬运机构、下料机构，三者相互配合使用，使得太阳能电池片的传送效率更高，提高了整个系统的工作效率。
[0031] (6)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，其搬运机构的转动轴转动带动摆臂上的吸盘运动，通过吸盘将太阳能电池片吸附，便于太阳能电池片的运输传送，整个操作过程简单高效。
[0032] (7)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，其旋转工作台的四周设有上下料工位、对位识别工位、刻蚀工位和光学检测工位，通过旋转工作台的转动，使承载台转动到不同的工位，对处于承载台上的太阳能电池片进行对应的操作，该结构设计一方面能够充分利用空间，提高整个系统的集成度，另一方面，也提高整个系统的工作效率。
[0033] (8)、本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，将搬运机构的摆臂设有两根，两根摆臂之间通过支杆相连，旋转工作台转动时，两根摆臂同步运动，即其中一根摆臂的吸盘将处于上下料工位上的已加工的太阳能电池片运至下料机构，同时，另一根摆臂的吸盘将处于上料机构的待加工太阳能电池片运至上下料工位，使得太阳能电池片上下料同时进行，极大的提高了太阳能电池片的运输效率和加工效率。
附图说明
[0034] 图1为
实施例1中的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的结构示意图；
[0035] 图2为本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀装置的结构示意图；
[0036] 图3为图2的右视示意图；
[0037] 图4为本实用新型中旋转工作台的结构示意图；
[0038] 图5为本是实用新型中太阳能电池片加工流程结构示意图；
[0039] 图6为本实用新型的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统的结构示意图；
[0040] 图7为图6的俯视示意图；
[0041] 图8为图6的左视示意图。
[0042] 示意图中的标号说明：
[0043] 100、底板；
[0044] 200、旋转工作台；201、承载台；202、旋转轴；203、旋转底盘；
[0045] 300、太阳能电池片；
[0047] 500、除尘机构；510、支撑立座；511、
横杆；520、吸尘管；521、吸尘嘴；531、进气管；532、吹气管；533、挂耳；534、固定件；540、除尘匣；541、进风口；
[0048] 600、激光组件；601、绿光激光器；602、第一反射镜；603、第二反射镜；604、绿光扩束镜；605、整形镜；606、绿光振镜；607、绿光场镜；
[0049] 700、上料机构；701、上料传送带；
[0050] 800、搬运机构；801、转动轴；802、摆臂；803、支杆；804、吸盘；
[0051] 900、下料机构；901、下料传送带。
具体实施方式
[0052] 为进一步了解本实用新型的内容，结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。
[0053] 实施例1
[0054] 结合图1，本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，包括安装在底板100上的工作台，该工作台的上表面放有太阳能电池片300，激光刻蚀装置反射激光对处于工作台上的太阳能电池片300进行刻蚀加工。虽然采用加工
精度更高的激光对太阳能电池片300进行刻蚀处理，但在整个加工过程中不断产生粉尘，粉尘的不断积累，由于各方面的因素的影响，例如设备在工作时，导致工作台颤动、激光对太阳能电池片300加工时太阳能电池片300发生震动等，其结果都会造成粉尘的四处飞扬，一方面会污染加工环境，进而会对人体产生危害；另一方面，四散飞扬的粉尘会对激光加工时产生一定的影响，导致加工后的太阳能电池片300存在一定的缺陷，无法满足现代高
质量的应用市场，降低了产品合格率。
[0055] 现有技术中，采用激光对待加工
工件进行加工时，为了除去加工过程中产生的粉尘，在激光切割处设有一除尘装置，在除尘装置的除尘口处产生负压，利用负压的作用将加工过程中产生的粉尘进行收集处理，但是只是通过负压对粉尘进行处理，其处理效果并不理想，尤其是距离除尘口越远的地方越难处理，还是会造成粉尘飞扬的现象。
[0056] 本实施例中为了解决上述问题，在工作台处设有一除尘机构500，该除尘机构500包括支撑立座510、吸尘管520、吸尘嘴521、进气管531、吹气管532和除尘匣540，其中除尘匣540位于工作台的上方，该除尘匣540的底部与外界相连通，即工作台位于除尘匣540底部的下方，将工作台的上表面罩住，且在除尘匣540两侧边分别通过支撑立座510与底板100相连，将除尘匣540进行固定，此外，为了进一步提高除尘匣540的
稳定性，两支撑立座510通过一横杆511相连。值得说明的是，本实施例中除尘匣540底部与工作台的上表面之间存在一定的间隙，便于更换不同的太阳能电池片300，从而对太阳能电池片300进行加工。为了便于激光刻蚀装置产生的激光对处于工作台上的太阳能电池片300进行加工，本实施例中在除尘匣540顶端的上盖板上开设有光路孔，便于激光穿过该光路孔对太阳能电池片300进行刻蚀。为了便于说明，除尘匣540下方对太阳能电池片300进行加工的位置为刻蚀工位。
[0057] 本实施例中的吸尘嘴521与除尘匣540其中一侧壁相连通，且该吸尘嘴521通过吸尘管520与设置在底板100上的吸气装置相连，用于产生负压，对加工过程中产生的粉尘进行吸附收集；此外，吹气管532设置在吸尘嘴521相对的另一侧壁上，(吹气管532未在图1中体现)该吹气管532通过进气管531与底板100上的供气装置相连，用于提供气体，使气体从吹气管532吹向除尘匣540内，将粉尘吹向吸尘嘴521中，两者共同配合，将加工过程中的粉尘除去，避免了粉尘四散飞扬的现象发生。本实施例中的吸气装置与供气装置可以采用抽气机和
泵体，或者是与外部吸气、供气系统连接，未在
说明书附图中体现。
[0058] 实施例2
[0059] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例1，其不同之处在于：本实施例中的工作台为旋转工作台200，该旋转工作台200上放有太阳能电池片300，旋转工作台200转动时，带动太阳能电池片300运动，当太阳能电池片300转至除尘匣540下方的刻蚀工位时，通过激光对处于刻蚀工位处的太阳能电池片300进行加工。加工后，旋转工作台
200转动，便于更换不同的太阳能电池片300，提高工作效率。
[0060] 此外，本实施例中位于除尘匣540的侧壁上的吹气管532沿除尘匣540的宽度方向设置，并在吹气管532上开设有吹气孔，用于将粉尘吹向至吸尘嘴521。
[0061] 作为一种优选，本实施例中的吹气孔的吹气方向朝向吸尘嘴521，使得加工过程中产生的粉尘更加快速的进入到吸尘嘴521中，降低粉尘对激光刻蚀过程中造成的影响。
[0062] 本实施例中的激光刻蚀装置产生的激光对太阳能电池片300进行加工时，其除尘机构500也同时工作，具体过程为：吹气管532上的吹气孔向除尘匣540内吹气时，处于除尘匣540内部的气体在吹气孔吹出的气体扰动作用下，气体带动粉尘一起朝向吸尘嘴521方向运动，同时，相对侧的吸尘嘴521吸气，在负压的作用下，除尘匣540内部的气体将太阳能电池片300激光刻蚀时产生的粉尘全部带入到吸尘嘴521中，将粉尘除去。此外由于除尘匣540本身较为封闭，更加有利于吹气孔吹出的气体运动，同时也避免了粉尘从除尘匣540吹出，从而避免了粉尘四散飞扬的问题。
[0063] 实施例3
[0064] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例2，其不同之处在于：本实施例中的旋转工作台200包括承载台201、旋转轴202和旋转底盘203，其中，旋转底盘
203安装在底板100上，旋转轴202垂直设置于旋转底盘203上，该旋转轴202沿其周向至少等间隔设有2个承载台201，该承载台201用于放置太阳能电池片300。作为一种优选，本实施例中的承载台201设有4个。结合图2、图3和图4，本实施例的旋转轴202转动时，带动承载台201上的太阳能电池片300运动，使得太阳能电池片300运输至除尘匣540下方的刻蚀工位；太阳能电池片300在刻蚀工位处加工后，旋转工作台200转动，使下一承载台201上的待加工的太阳能电池片300送至刻蚀工位进行加工，整个过程简单、快速，能够有效提高传送效率，进而提高整个系统的工作效率。
[0065] 实施例4
[0066] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例3，其不同之处在于：本实施例中旋转工作台200转动时，为了不影响承载台201的转动，于除尘匣540一侧壁底端上分别设有一进风口541，且该进风口541的下端与外界相连通，吹气管532与该进风口541配合设置，有效避免加工过程中产生的粉尘从两者之间的缝隙中出来而造成粉尘飞扬的现象。
[0067] 实施例5
[0068] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例4，其不同之处在于：本实施例中的吹气管532沿进风口541的长度方向设置，且进风口541与吸尘嘴521相对。吹气管532上间隔设置多个吹气孔，且吹气孔的吹气方向倾斜向下，能够对着刻蚀部位，将刻蚀加工过程中产生的粉尘吹入到吸尘嘴521中，将粉尘除去。
[0069] 实施例6
[0070] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例5，其不同之处在于：为了便于旋转工作台200带动承载台201上的太阳能电池片300转动，其吸尘嘴521和吹气管
532的最底端的高度高于位于刻蚀工位上的太阳能电池片300的最高点所在的平面。
[0071] 此外，为了便于控制吹气管532的高度，如图3所示，本实施例中在吹气管532的两端分别设有一挂耳533，该挂耳533沿其长度方向上开设有一腰型孔或槽，固定件534穿过该腰型孔或槽并与除尘匣540的侧壁相连，将吹气管532的位置进行固定，通过调节固定件534在腰型孔或槽中的位置，即对挂耳533的位置进行调节，进而改变吹气管532的高度，有利于加工不同型号的太阳能电池片300。
[0072] 本实施例中的固定件534为固定螺钉或固定
螺栓或固定销。
[0073] 实施例7
[0074] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀装置，基本同实施例6，其不同之处在于：本实施例中的一种太阳能电池片激光刻蚀装置还包括设置在底板100上的激光组件600，该激光组件600用于控制激光光路，将激光送入到除尘匣540内，对处于刻蚀工位的太阳能电池片300进行加工。
[0075] 优选的，结合图6、图7和图8，本实施例中的激光组件600包括绿光激光器601、第一反射镜602、第二反射镜603、绿光扩束镜604、整形镜605、绿光振镜606、绿光场镜607，其激光光路传输路径为：由绿光激光器601发射激光，依次经第一反射镜602、第二反射镜603、绿光扩束镜604、整形镜605、绿光振镜606和绿光场镜607、除尘匣540顶部设置的光路孔，最终将激光送至除尘匣540中，对太阳能电池片300进行加工。
[0076] 值得说明的是，本实施例中的激光组件600的各部件的为现有技术，且第一反射镜602和第二反射镜603中的反射镜片为1064nm反射镜片，为了防止光路传输过程中光路传输路径改变，两相邻部件通过光路套筒进行连接密封。
[0077] 实施例8
[0078] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，包括上料机构700、搬运机构800、下料机构900和太阳能电池片激光刻蚀装置；其中，太阳能电池片300由搬运机构800将其从上料机构700运至旋转工作台200的承载台201上，由旋转工作台200转至刻蚀工位，通过激光对太阳能电池片300进行加工；加工后的太阳能电池片300由搬运机构800运至下料机构900。
[0079] 本实施例通过上料机构700、搬运机构800、下料机构900，三者相互配合使用，使得太阳能电池片300的传送效率更高，提高了整个系统的工作效率。
[0080] 实施例9
[0081] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，基本同实施例8，其不同之处在于：结合图5和图6，本实施例中的上料机构700主要是由两平行设置的上料传送带701组成，通过驱动装置控制上料传送带701运动，带动位于上料传送带701上待加工的太阳能电池片300移动。本实施例中的下料机构900的结构设计与上料机构700的结构设计基本相同，主要由两平行设置的下料传送带901组成，用于运输加工后的太阳能电池片300。
[0082] 此外，本实施例中的搬运机构800包括转动轴801、摆臂802和吸盘804；其中，转动轴801安装于底板100上，所述的摆臂802一端与转动轴801相连，另一端与吸盘804相连，该吸盘804用于吸附太阳能电池片300。该结构设计便于控制摆臂802转动，进而通过摆臂802上的吸盘804对太阳能电池片300进行搬运。整个操作过程简单方便高效，无需人为对太阳能电池片300进行搬运。
[0083] 实施例10
[0084] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，基本同实施例9，其不同之处在于：如图5所示，为了充分利用空间，提高整个系统的集成度，本实施例中的旋转工作台200的承载台201等间隔设有4个，且旋转工作台200的四周设有上下料工位、对位识别工位、刻蚀工位和光学检测工位，承载台201的数量与工位的数量相同，能够使各个工位同时进行工作，极大地提高太阳能电池片300的加工效率。
[0085] 值得说明的是，结合图5和图7，本实施例中上下料工位用于放置待加工的太阳能电池片300或加工后的太阳能电池片300，便于摆臂802上的吸盘804吸附，对其进行搬运；对位识别工位处设有检测装置，用于检测太阳能电池片300的位置；光学检测工位上设有光学检测装置，用于检测激光刻蚀后的太阳能电池片300。
[0086] 本实施例中的检测装置设置在对位识别工位的正上方，通过四周的支撑架与底板100相连，将检测装置进行固定。该检测装置包括微距抗震镜头和表面缺陷检测镜头；其中，微距抗震镜头的镜头下方设有环形光源，用于Mark点识别，优选的，本实施例中的微距抗震镜头设有4个，分别位于检测装置的四周，用于对检测位于对位识别工位上的待加工太阳能电池片300上的位置；表面缺陷检测镜头位于对位识别工位中间的正上方，用于对太阳能电池片300的表面缺陷进行检测。
[0087] 此外，本实施例中的光学检测装置位于光学检测工位的正上方，该光学检测装置上设有一相机，该相机对加工后的太阳能电池片300进行拍摄并，其拍摄出的照片进行比对，核实加工后的太阳能电池片300是否满足生产要求。
[0088] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，其一个太阳能电池片300的加工流程为：首先由上料机构700的上料传送带701将待加工的太阳能电池片300进行运输，然后由搬运机构800的吸盘804对待加工的太阳能电池片300进行吸附，转动轴801带动摆臂802转动，将待加工的太阳能电池片300运至处于上下料工位处的承载台201上，旋转工作台
200、转动，带动承载台201转动，在转动过程中，待加工的太阳能电池片300首先运动至对位识别工位，对太阳能电池片300的位置进行检测，方便后续太阳能电池片300的加工；检测后的太阳能电池片300随承载台201运至刻蚀工位，由激光对其进行刻蚀加工；加工后的太阳能电池片300运至光学检测工位进行质检，质检后的太阳能电池片300运至上下料工位，由搬运机构800将太阳能电池片300运至下料机构900，由下料传送带901运输至下一工序。整个过程自动化程度高，使得太阳能电池片300的加工效率大大提高。
[0089] 值得说明的是，本实施例中的各工位同时进行工作。此外，本实施例中的光学检测工位对加工后的太阳能电池片300质检时，其不符合质检要求的太阳能电池片300在运输至下料机构900后，人为将其搬运至收集处，或者通过
机械臂等搬运装置将其搬运至收集处，进行集中处理。此外，结合图8，本实施例中在光学检测工位的下方设有一光源支撑架400，该光源支撑架400上设有一光源，用于相机拍摄时，提供一定的光照强度，使得拍出照片更加清晰。
[0090] 实施例11
[0091] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，基本同实施例10，其不同之处在于：本实施例中的搬运机构800的摆臂802设有至少1根，便于搬运机构800对太阳能电池片300进行搬运。
[0092] 实施例12
[0093] 本实施例的一种太阳能电池片激光刻蚀加工系统，基本同实施例11，其不同之处在于：结合图5和图7，本实施例中的摆臂802设有两根，且两根摆臂802之间通过支杆803相连，保证转动轴801转动时，两根摆臂802同步转动，即其中一根摆臂802的吸盘804将处于上下料工位上的已加工的太阳能电池片300运至下料机构900，同时，另一根摆臂802的吸盘804将处于上料机构700的待加工太阳能电池片300运至上下料工位，使得太阳能电池片300上下料同时进行，极大的提高了太阳能电池片300的运输效率和加工效率。
[0094] 以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
