技术领域
[0001] 本实用新型属于容器气密性试验装置领域,尤其涉及一种容器气密试验气体循环利用装置。
背景技术
[0002] 本实用新型背景技术公开的信息仅仅旨在增加对本实用新型总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的
现有技术。
[0003]
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、
质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值得高新技术产业。电子特种气体的应用领域主要在
半导体集成
电路生产制造、非晶
硅太阳能电池、
液晶显示器件、光导
纤维生产的四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20～30种。由此可以看出电子特种气体的发展直接带动高新技术产业发展。根据市场考察，气瓶内
表面处理后主要充装气体纯度在99.9999％以上的电子气体，如六氟化硫(SF6)、三氟化氮(NF3)、
氧化氮(N2O)、氦气(He)、氯化氢(HCl)、硅烷(SiH4)等介质。为保护高纯容器内表面、确保高纯度容器
密封性能，需进行密封性能试验、检漏试验等。此时采用的气体为高纯氮气，用高纯氮气进行气密性试验；然而，本
发明人发现：若保压一定时间后直接放空，造成资源浪费及增加生产成本。实用新型内容
[0004] 针对上述的现有技术中存在的问题，本实用新型旨在提供一种容器气密试验气体循环利用装置。本实用新型设计的循环利用装置，既能满足使用要求，又可以实现测试用气体的循环使用。
[0005] 为实现上述目的，本实用新型的技术方案具体如下：
[0006] 一种容器气密试验气体循环利用装置，包括：气体
蓄能器、打压系统、配气装置、气体缓冲装置和热
风机；其中：
[0007] 所述气体蓄能器分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统通过总管分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有
阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门。
[0008] 所述配气装置与所述总管连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门；且第四阀门和打压系统之间的这部分总管上设置有第五阀门。
[0009] 所述气体蓄能器、气体缓冲装置、热风机的进气口依次相连，且气体缓冲装置与气体蓄能器的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。
[0010] 与现有技术相比，本实用新型取得了以下有益效果：
[0011] (1)本实用新型设计的循环利用装置，既能满足使用要求，又可以实现测试用气体的循环使用，达到节约气体的效果。
[0012] (2)本实用新型利用氮气对气瓶内部进行加热，保证了高纯度容器内壁的洁净度。
附图说明
[0013] 构成本实用新型的一部分的
说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性
实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
[0014] 图1为本实用新型实施例1中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。
[0015] 图2为本实用新型实施例2中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。
[0016] 图3为本实用新型实施例3中容器气密试验气体循环利用装置的结构示意图。
[0017] 附图中标记分别代表：1-气体蓄能器、2-打压系统、3-配气装置、4-气体缓冲装置、5-热风机、6-总管、7-第一阀门、8-第二阀门、9-第三阀门、10-第四阀门、11-第五阀门、12-低温槽车、13-
增压泵撬、14-高压
气化器、15-高压软管、16-气瓶。
具体实施方式
[0018] 应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0019] 需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0020] 正如背景技术所述，为保护高纯容器内表面、确保高纯度容器密封性能，需进行密封性能试验、检漏试验等。此时采用的气体为高纯氮气，用高纯氮气进行气密性试验；然而，若保压一定时间后直接放空，造成资源浪费及增加生产成本。为此，本实用新型提出一种容器气密试验气体循环利用装置。
[0021] 在一些典型的实施例中，所述打压系统包括：依次相连的低温槽车、
增压泵撬、高压气化器，且上述三者之间的连通管路上设置有阀门；所述高压气化器与第五阀门连接。
[0022] 在一些典型的实施例中，所述配气装置和待测气瓶之间通过高压软管实现连接。
[0023] 在一些典型的实施例中，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门和蓄能器之间均设置有气压表。
[0024] 在一些典型的实施例中，所述配气装置的出气口设置有多根支管，以便于同时为多个待测气瓶进行配气。
[0025] 在一些典型的实施例中，所述配气装置和第四阀门之间设置有气压表。
[0026] 在一些典型的实施例中，所述蓄能器中充入的是氮气，即整个气密性测试以及对气瓶的干燥采用氮气进行。
[0027] 现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步进行说明。
[0028] 参考图1，一种容器气密试验气体循环利用装置，包括：气体蓄能器1、打压系统2、配气装置3、气体缓冲装置4和热风机5；其中：
[0029] 所述气体蓄能器1分为高、中、低压三个区域，该三个区域分别设置有支路管道，所述打压系统2通过总管6分别与上述三个区域各自的支路管道连通，且每个支路管道上均设置有阀门，即：高压区支路管道、中压区支路管道、低压区支路管道上分别设置有第一阀门7、第二阀门8、第三阀门9。
[0030] 所述配气装置3与所述总管6连接，且两者的连通管路上设置有第四阀门10；且第四阀门10和打压系统2之间的这部分总管6上设置有第五阀门11。所述打压系统2的主要作用是为蓄能器提供高压气源，并在蓄能器中气压降低到设定值以下时补充充气，以提高蓄能器中气压。
[0031] 所述气体蓄能器1、气体缓冲装置4、热风机5的进气口依次相连，且气体缓冲装置4与气体蓄能器1的高、中、低压三个区域均连接，连接管路上均设置有阀门。所述气体缓冲装置4的主要作用是用于缓存来自蓄能器中的气体，这些气体被热风机5加热后，从热风机5的出气口输出对待测气瓶16的内部进行干燥。
[0032] 可以理解的是，蓄能器在工业领域已经广泛应用，技术人员可直接采用现有的蓄能器；例如
弹簧式蓄能器，它依靠
压缩弹簧把液压系统中的过剩压
力能转化为弹簧
势能存储起来，需要时释放出去。另外，所述热风机5即为具有加热功能的
吹风机，所述加热功能可通过电热丝实现，热风机也已在工业领域广泛应用，可直接采用市售产品。
[0033] 参考图2，所述打压系统2包括：依次相连的低温槽车12、增压泵撬13、高压气化器14，且低温槽车12与增压泵撬13之间的连通管路上设置有阀门，增压泵撬13与高压气化器
14的连通管路上设置有阀门；所述高压气化器14与第五阀门11连接。低温槽车将其中存储的高压
液化气转入增压泵撬后再转入高压气化器，得到高压气体，便于对蓄能器进行充入高压气体。
[0034] 参考图3，所述配气装置5和待测气瓶16之间通过高压软管15实现连接，进而将高压气体充入待测气瓶16。
[0035] 进一步地，所述第一阀门7、第二阀门8、第三阀门9和蓄能器之间均设置有气压表，以便于检测蓄能器中气体气压。
[0036] 进一步地，所述配气装置3的出气口设置有多根支管，以便于同时为多个待测气瓶16进行配气；同时，所述配气装置3和第四阀门10之间设置有气压表，以便于检测配气时的气压。
[0037] 进一步地，采用上述气体循环利用装置进行容器气密试验的基本操作方法为：
[0038] 1、首先按照示意图连接好各部件；所有阀门均处于闭合状态。
[0039] 2、打压前关闭第一阀门7、第二阀门8、第五阀门11，其余阀门打开,启动打压系统2向蓄能器1的高、中压区充入高压气体，当蓄能器压力达到设定值(如22MPa)后，关闭打压系统和打开的阀门。
[0040] 3、打开蓄能器1和气体缓冲装置4高、中压区之间的阀门，其余阀门关闭，蓄能器1中的气体进入气体缓冲装置4,利用热风机5对气体加热到一定
温度后对高纯度容器进行烘干，烘干完毕后，关闭打开的阀门，并对高纯度容器进行封堵。
[0041] 4、打开第一阀门7和第四阀门10，将高压气体充入待测气瓶16中进行气密性试验，达到试验压力(如16.6MPa)后关闭上述阀门，通过检测气瓶内的压力变化判断气密性是否良好。
[0042] 5、试验完毕后，打开第三阀门9和第四阀门10,使气瓶内的气体返回蓄能器1的低压区内，实现对气体的回收，这些气体升压后可用于下一次的气密性试验，实现气体的循环利用。当蓄能器内气体压力不足时通过打压系统提高压力。
[0043] 以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何
修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
