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反应性离子蚀刻用掩膜材料、掩膜以及干蚀刻方法 | 2020-05-11 | 635 |
三维蚀刻方法 | 2020-05-12 | 967 |
经涂覆之石墨物件及石墨物件之反应性离子蚀刻制造及整修 | 2020-05-11 | 262 |
反应性离子蚀刻 | 2020-05-11 | 23 |
通过反应性离子蚀刻使表面结构化的方法、结构化表面和用途 | 2020-05-11 | 282 |
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半导体制造系统中的离子源清洁方法 | 2020-05-17 | 236 |
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使用氢等离子体进行原子层蚀刻的方法 | 2020-05-14 | 479 |
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